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[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法-CN201810835176.7在审
发明人：汪孝军;廖平强;张胜 -专利权人：中山新诺科技股份有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法，双面曝光机包括工作台；曝光机构，曝光机构包括第一曝光组件和第二曝光组件，第一曝光组件和第二曝光组件在工作台形成曝光区；及装载机构，装载机构包括第一装载台和第二装载台，第一装载台和第二装载台均能够沿工作台移动。第一装载台移动、并通过曝光区进行第一待曝光件的曝光，第二装载台装载第二待曝光件，第一待曝光件曝光完成后第一装载台回退，第二装载台移动、并通过曝光区进行第二待曝光件的曝光，进而利用第二装载台曝光的同时进行第一装载台上第一待装载件的卸载和装载，不仅便于实现自动化曝光，而且还提高了曝光效率，同时无需翻转，减少了曝光流程，提高了曝光精度。
装载台曝光曝光组件双面曝光机曝光区装载曝光机构双面曝光装载机构工作台工作台移动曝光流程曝光效率装载件翻转回退卸载移动自动化

[发明专利]曝光机构、曝光装置及曝光系统-CN201711306712.6有效
发明人：张迅;易伟华;刘芳;刘松林 -专利权人：江西沃格光电股份有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种曝光机构、曝光装置及曝光系统，曝光系统包括：光罩；支撑台，包括第一支撑台及第二支撑台，所述第一支撑台与所述第二支撑台之间的间距可调，以适应不同尺寸的曝光平台，所述第一支撑台及所述第二支撑台远离所述支架的表面用于承载所述光罩的两端；曝光平台，位于所述光罩下方并位于所述第一支撑台及第二支撑台之间，用以放置待曝光元件；支架，位于所述曝光装置底部以用于支撑所述曝光平台及所述支撑台。上述曝光机构、曝光装置及曝光系统，实现了对待曝光元件的多尺寸兼容，节省了曝光成本。
曝光机构装置系统

[发明专利]双装载部的双面曝光机及双面曝光方法-CN201810836043.1有效
发明人：汪孝军;廖平强;张胜 -专利权人：中山新诺科技股份有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种双装载部的双面曝光机及双面曝光方法。包括工作台；曝光机构包括均能够沿工作台移动的第一曝光组件和第二曝光组件、并在工作台形成曝光区；装载机构包括装载台，装载台设有第一装载部和第二装载部，第一装载部和第二装载部呈间距设置，装载台能够沿工作台移动、并使第一装载部或第二装载部移动至曝光区。通过可移动的第一曝光组件和第二曝光组件的设置，曝光时，装载台移动到预设位置，使第一装载部或第二装载部位于曝光区，之后第一曝光组件和第二曝光组件移动、从而对对应的第一待曝光件或第二待曝光件进行曝光，由于同时双面曝光，避免了翻转等操作，减少了曝光流程及对位等问题，提高了曝光效率和曝光精度。
装载双面曝光方法

[发明专利]悬臂式双台面的双面曝光机及双面曝光方法-CN201810836042.7有效
发明人：汪孝军;廖平强;张胜 -专利权人：中山新诺科技股份有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种悬臂式双台面的双面曝光机及双面曝光方法，包括安装架；分别设于安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件；第一装载台和第二装载台；及驱动机构，驱动机构包括驱动组件，第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过曝光区当曝光时，第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过曝光区、以对第一待曝光件进行曝光，而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过曝光区、以对第二待曝光件进行曝光，第一装载台和第二装载台均循环运动，且第二待曝光件曝光时还能进行第一曝光成品的卸载或下一个第一待曝光件的装载，曝光效率更高，相比传统采用翻转双面曝光的方式，曝光精度也更高。
悬臂台面双面曝光方法

[发明专利]一种多工件台协作直写光刻方法-CN201410539501.7在审
发明人：曹旸;李阳 -专利权人：江苏影速光电技术有限公司
申请日： 2014-10-13 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种多工件台协作直写光刻方法，采用并行曝光控制技术，属于直写式光刻机曝光技术领域。首先对A工件台进行上板、对准操作，后将A工件台移动至曝光起始位置进行扫描曝光；同时对B工件台进行上板、对准操作，后将B工件台移动至曝光起始位置，等待扫描曝光；A工件台完成扫描曝光后，退出A工件台，并对A工件台进行下板、上新板、对准的扫描曝光准备工作，同时开始对B工件台进行扫描曝光流程。本发明大幅降低了结构的复杂性，多个工件台在各自的工作区域内互不干扰，使原本按顺序串行进行的曝光流程变为并行的曝光流程，极大地缩短了曝光时间。此外本发明提高了曝光品质及生产良率，在保证光刻精度的同时，不会增加任何耗时。
一种工件协作光刻方法

[发明专利]一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机-CN201410429450.2在审
发明人：李会丽;林彬;李志丹 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机，其特征在于：包括框架以及设置在所述框架上的曝光光源模块、掩膜台模块、镜筒及物镜模块、基板曝光载台模块、预对准台模块、机械手模块和边缘曝光模块；所述基板曝光载台模块和预对准台模块并排间隔放置；所述镜筒及物镜模块位于所述基板曝光载台上方；所述掩膜台模块位于所述镜筒及物镜模块的上方；所述曝光光源模块设置在所述掩膜台模块上方；所述边缘曝光模块位于所述预对准台模块的上方；所述边缘曝光模块包括边缘曝光光源、光学镜组及调整装置；在玻璃基板预对准的同时，边缘曝光模块对基板进行边缘曝光。
一种提供玻璃边缘曝光多功能

[实用新型]一种印刷电路板曝光机-CN201120340641.3有效
发明人：林锐群;孙名伟;冯锰;林秀娜 -专利权人：汕头市锐科电子有限公司
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种印刷电路板曝光机，其特征在于：包括放板台、曝光室、输送轨道、曝光平台和曝光灯；上述放板台设在曝光室上，上述放板台的台面与曝光室的入口相对应；上述输送轨道可来回输送地设在放板台和曝光室上，上述输送轨道分别位于放板台的台面上和曝光室的室内；上述曝光平台包括曝光平台座和透明盖，上述曝光平台座固定安装在输送轨道上，上述透明盖可转动打开或合上地安装在曝光平台座上；上述曝光灯设在曝光室内，上述曝光灯位于进入曝光室内的曝光平台的上方所以，本印刷电路板曝光机的结构简单、曝光效果好。
一种印刷电路板曝光

[发明专利]一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质-CN201910522070.6有效
发明人：周畅;朱岳彬;陈超;廖飞红 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质，光刻设备包括两个运动台；运动台的工作区包括曝光区和非曝光区，光刻设备的控制方法包括：控制一运动台在曝光区进行第一工序的过程中，控制另一运动台在非曝光区进行第二工序，且当第一工序完成时，非曝光区的运动台运动到非曝光区和曝光区的交界处，第一工序包括曝光，因曝光时间较长，进而可以使得在非曝光区进行第二工序的运动台向曝光区运动的速度较慢，进而不会造成光刻设备和承载两个运动台的导轨的振动，则不会对正在曝光的运动台造成串扰，有利于提高曝光精度，并有利于提高光刻设备的产率。
一种光刻设备及其控制方法装置存储介质

[发明专利]双面扩印装置-CN200810040820.8有效
发明人：侯锋 -专利权人：侯锋
申请日： 2008-07-22 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： G03B27/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种双面扩印装置，包括相纸输入机构、曝光台、曝光器、相纸传送机构、翻面机构和选择机构。相纸输入机构输入曝光用相纸。曝光台设于相纸输入机构之后以容纳曝光用相纸。相纸传送机构具有绕经曝光台的传送带，以传送相纸至曝光台。曝光器投射光束以对曝光台上的相纸的迎光面曝光。翻面机构对进入其中的相纸进行翻面后回送至曝光台，使相纸未被曝光的一面成为迎光面。选择机构设置于曝光台与翻面机构之间，用以选择相纸进入翻面机构或是直接输出。本双面扩印装置只需要1个曝光器，并且可充分利用原有单面扩印设备。
双面扩印装置

[实用新型]双面扩印装置-CN200820058753.8无效
发明人：侯锋 -专利权人：侯锋
申请日： 2008-05-22 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： G03B27/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双面扩印装置，包括相纸输入机构、曝光台、曝光器、相纸传送机构、翻面机构和选择机构。相纸输入机构输入曝光用相纸。曝光台设于相纸输入机构之后以容纳曝光用相纸。相纸传送机构具有绕经曝光台的传送带，以传送相纸至曝光台。曝光器投射光束以对曝光台上的相纸的迎光面曝光。翻面机构对进入其中的相纸进行翻面后回送至曝光台，使相纸未被曝光的一面成为迎光面。选择机构设置于曝光台与翻面机构之间，用以选择相纸进入翻面机构或是直接输出。本双面扩印装置只需要1个曝光器，并且可充分利用原有单面扩印设备。
双面扩印装置

[发明专利]一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机-CN201910388456.2在审
发明人：蔡志国;王友车 -专利权人：苏州微影激光技术有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及曝光机技术领域，公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置，用于对待曝光卷材的卷放和卷收；与工作台连接的移动装置，被配置为能带动工作台相对曝光系统移动，以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本发明通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。
直写曝光机工作台曝光机曝光卷材卷放装置工作台卷收装置曝光系统间隔设置卷轴装置曝光材料曝光区域相对静止移动装置直接安装组件包括卷收拉扯平行移动配置

[实用新型]一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机-CN201920671311.9有效
发明人：蔡志国;王友车 -专利权人：苏州微影激光技术有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及曝光机技术领域，公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置，用于对待曝光卷材的卷放和卷收；与工作台连接的移动装置，被配置为能带动工作台相对曝光系统移动，以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本实用新型通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。
直写曝光卷材曝光机工作台卷放装置曝光机工作台本实用新型卷收装置曝光系统间隔设置卷轴装置曝光材料曝光区域相对静止移动装置直接安装组件包括卷收拉扯平行移动配置

[发明专利]一种晶圆曝光管理方法、装置、电子设备和系统-CN202211726592.6在审
发明人：姜坤 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及半导体领域，公开了一种晶圆曝光管理方法，包括以目标光刻机作为晶圆的当前曝光层曝光时所用的光刻机；目标光刻机为参考层曝光时所用的光刻机；确定所述目标光刻机中的目标工件台和其他工件台；目标工件台为参考层曝光时所用的工件台；根据目标光刻机中其他工件台与目标工件台的套刻误差差异值，确定目标光刻机中其他工件台与当前曝光层对应的当前套刻误差下货值；发送当前套刻误差下货值至目标光刻机，以便目标光刻机中其他工件台对当前曝光层进行曝光本申请固定当前曝光层曝光所用的光刻机，但不固定工件台，可使目标光刻机中所有工件台均参与曝光，提升光刻机产能。
一种曝光管理方法装置电子设备系统

[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法-CN201810836041.2在审
发明人：汪孝军;廖平强;张胜 -专利权人：中山新诺科技股份有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法，双面曝光机包括安装架；相对设置的第一曝光组件和第二曝光组件、且均能够沿安装架移动；及均能够沿安装架移动的第一装载台和第二装载台。双面曝光方法应用于双面曝光机。通过第一曝光组件和第二曝光组件的设置，在第一运动状态时形成第一曝光区，第一装载台在第一曝光区移动并进行第一待曝光件的曝光，同时，第二装载台装载第二待曝光件，第二运动状态时形成第二曝光区，第二装载台在第二曝光区移动并进行第二待曝光件的曝光，同时，第一装载台卸载或装载下一个第一待曝光件，不仅无需翻转即可实现正反面曝光，同时，充分利用曝光过程的时间，提高曝光效率，并利于实现自动化操作。
装载台曝光双面曝光机曝光组件曝光区双面曝光安装架移动运动状态装载自动化操作曝光过程曝光效率相对设置正反面翻转卸载

[发明专利]一种自动化双面曝光机及其曝光方法-CN202010581542.8在审
发明人：钱志斌;胥涛棚;张雷;李伟成 -专利权人：苏州源卓光电科技有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种自动化双面曝光机及其曝光方法，其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置，其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧，依次移动至所述曝光系统进行曝光，所述翻转搬运组件翻转移动所述基件，所述转移搬运组件移动所述基件。本发明的第一台面和第二台面共用一个曝光系统，所述曝光装置呈直线形设置，配合转移搬运组件和翻转搬运组件，对第一台面和第二台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的第一曝光面和第二曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，通过一个曝光系统一次流转完成基件的双面曝光。
一种自动化双面曝光及其方法

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