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[发明专利]一种镀膜质量检测方法、系统、设备及存储介质-CN202311062621.8有效
发明人：林晓坤;相宇阳;俞胜武;陈剑 -专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
申请日： 2023-08-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种镀膜质量检测方法、系统、设备及存储介质，包括：获取预设数量个待检测晶圆的测量信息集，以及待检测晶圆的检测参数信息；其中，各测量信息集对应的待检测晶圆直径均匀全覆盖于待检测晶圆表面；针对每个测量信息集，根据检测参数信息和测量信息集中各测量点的测量位置信息，确定各测量点对应的镀膜前弓高、镀膜后弓高和应力值；根据各测量信息集对应的当前旋转角度、各测量位置信息、各镀膜前弓高、各镀膜后弓高和各应力值确定待检测晶圆的镀膜质量检测结果增加了镀膜质量检测结果中检测类型的丰富程度，从覆盖率和检测类型两方面提升了针对晶圆镀膜质量检测的准确性和可靠性，提升了镀膜质量检测的稳定性。
一种镀膜质量检测方法系统设备存储介质

[发明专利]3D NAND混合键合工艺中补偿晶圆应力的方法-CN201710775886.0有效
发明人：陶谦;胡禺石;吕震宇;陈俊;朱继锋;肖莉红;戴晓望;姚兰 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明提出一种3D NAND混合键合工艺中补偿晶圆应力的方法，包括：在3D NAND晶圆正面沉积光阻层；在3D NAND晶圆背面沉积的张力膜；然后除去所述光阻层，并执行3D NAND晶圆与CMOS芯片的键合，最后将所述3D NAND晶圆背面张力膜粗糙化去除。本发明的方法可使得3D NAND晶圆与COMS芯片之间的晶圆弓差控制在+/‑30微米之内，使得在键合时错位减小，错位控制在150nm之内，大大提高键合成功率。且在3D NAND晶圆的正面形成光阻层，避免了整个键合工艺过程中对于3D NAND晶圆的损坏。
dnand 混合工艺补偿应力方法

[实用新型]一种晶圆加工用传送装置-CN202123301096.X有效
发明人：胡建军 -专利权人：苏州英尔捷半导体有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加工用传送装置，其技术要点是：包括传送台，所述传送台的表面上开设有第一安装槽，所述第一安装槽内安装有输送带，所述传送台的一侧表面上开设有两个对称的第二安装槽，所述第二安装槽内安装有移动机构，所述移动机构上安装有两个第一伺服电缸，所述第一伺服电缸上安装有弓型板，所述弓型板上安装有无杆气缸；所述无杆气缸的输出端上安装有第一安装板，所述第一安装板上固定安装有角度调节机构，通过角度调节机构方便调节真空吸盘的转动角度，从而调节了晶圆的传送角度，保持晶圆的输送角度一致，提高下一步工序的加工效率，通过视觉传感器大大提高晶圆角度调整的精度。
一种晶圆加工用传送装置

[发明专利]一种用于正畸弓丝弯制规划的圆域划分方法-CN201711121473.7有效
发明人：姜金刚;马雪峰;左思浩;张永德;黄致远;闵兆伟 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： A61C7/02 文献下载
摘要：一种用于正畸弓丝弯制规划的圆域划分方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明基于患者的正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人运动信息集，结合机器人弯制正畸弓丝时与正畸弓丝的运动关系，建立一种用于正畸弓丝弯制规划的圆域划分方法技术要点为：圆域划分数据导入；定义圆域区间；判断是否继续圆域划分正畸弓丝曲线；将各圆域区间降序排列。
一种用于正畸弓丝弯制规划划分方法

[发明专利]晶圆承载装置-CN202010030108.0有效
发明人：陈辉;张文杰;杨震 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆承载装置，包括：第一支撑结构，具有第一支撑面和多个第一吸附孔；设置在所述第一支撑结构上的多个间隔排布的吸盘，用于吸附放置在第一支撑面上的晶圆；与第一吸附孔、吸盘连接的真空装置，使第一吸附孔的内部与吸盘的内腔气压为负压通过第一吸附孔调压阀与吸盘调压阀精确地把控了吸附孔与吸盘对晶圆的吸附强度，使得吸盘在减小晶圆弓度值保证吸附孔固定住晶圆的同时，不会因吸盘的吸附力过大造成对晶圆的损伤。
承载装置

[发明专利]一种正畸弓丝弯制规划等半径圆域划分半径确定方法-CN202010485501.9有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;郭亚峰;张永德;左晖;曾阳 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明根据患者的个性化正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种正畸弓丝弯制规划等半径圆域划分半径确定方法技术要点为：等半径确定圆域划分数据导入及正畸弓丝曲线转换；计算等半径确定圆域初始试划分个数；试划分等半径确定圆域；以圆域限制参数为限制条件，寻找最佳试划分个数；输出合理等半径圆域划分半径r圆域的划分半径值，提高了等半径圆域划分的效率，进而提高正畸弓丝弯制规划的效率，避免了机器人弯制正畸弓丝过程中出现干涉及弯制复杂的问题。
一种正畸弓丝弯制规划半径划分确定方法

[发明专利]一种基于正畸弓丝弯制点密度的平面等半径圆域划分半径确定方法-CN202010485146.5有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;张永德;郭亚峰;姚亮;王磊 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于正畸弓丝弯制点密度的平面等半径圆域划分半径确定方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明根据患者的个性化正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种基于正畸弓丝弯制点密度的平面等半径圆域划分半径确定方法。技术要点为：等半径确定圆域划分数据导入及正畸弓丝曲线转换；计算等半径确定圆域初始试划分个数；试划分等半径确定圆域；寻找最佳试划分个数；输出合理密度等半径圆域划分半径requal圆域个数，确定合理密度等半径圆域的划分半径值，提高等半径圆域划分的效率，进而提高正畸弓丝弯制规划的效率，避免了机器人弯制正畸弓丝过程中出现干涉的问题。
一种基于正畸弓丝弯制点密度平面半径划分确定方法

[发明专利]一种用于正畸弓丝弯制顺序规划的平面变半径圆域划分方法-CN202010486729.X有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;郭亚峰;闵兆伟;张永德;唐德栋 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面变半径圆域划分的正畸弓丝弯制顺序规划方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明根据患者的个性化正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种平面变半径圆域划分的正畸弓丝弯制顺序规划方法。技术要点为：将正畸弓丝曲线T转换为平面曲线T′；设定圆域限制参数的上限值；确定划分圆域的半径和圆心；定义合理弯制圆域；判断是否继续进行圆域划分；以圆域弯制点密度圆域的弯制点顺序，输出最终弯制点弯制顺序T1和R1。本发明以变半径圆域划分区域，可以提高正畸弓丝弯制规划的效率，避免了机器人弯制正畸弓丝过程中出现干涉的问题。
一种用于正畸弓丝弯制顺序规划平面半径划分方法

[发明专利]一种基于弯制点密度的正畸弓丝变半径圆域划分方法-CN202010485874.6有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;曾阳;闵兆伟;郭亚峰;张永德 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于弯制点密度的正畸弓丝变半径圆域划分方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明针对弯制点角距比相对较小的一类正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种基于弯制点密度的正畸弓丝变半径圆域划分方法。技术要点为：将正畸弓丝曲线T转换为平面曲线T′；圆域限制参数的设定及简化；确定划分圆域的半径和圆心；定义合理密度弯制圆域；判断是否继续进行圆域划分；以圆域弯制点密度圆域的弯制点顺序，输出最终弯制点弯制顺序T1和R1。本发明以变半径圆域划分区域，将圆域弯制点密度作为判断条件，可以提高正畸弓丝弯制规划的效率，避免了机器人弯制正畸弓丝过程中出现干涉的问题。
一种基于弯制点密度正畸弓丝变半径划分方法

[发明专利]一种基于正畸弓丝弯制点角距比和的平面等半径圆域划分半径确定方法-CN202010484782.6有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;姚亮;郭亚峰;张永德;曾阳 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于正畸弓丝弯制点角距比和的平面等半径圆域划分半径确定方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明针对弯制点密集程度较小的一类正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种基于正畸弓丝弯制点角距比和的平面等半径圆域划分半径确定方法。技术要点为：导入圆域划分数据并将正畸弓丝曲线T转换为平面曲线T′；根据弯制点角距比信息确定等半径圆域划分个数初始值n；划分等半径确定圆域；寻找最佳划分个数；输出合理角距比等半径圆域划分半径r圆域个数，确定合理角距比等半径圆域的划分半径值，提高等半径圆域划分的效率，进而提高正畸弓丝弯制规划的效率，避免了机器人弯制正畸弓丝过程中出现干涉及弯制复杂的问题。
一种基于正畸弓丝弯制点角距平面半径划分确定方法

[发明专利]一种基于弯制点角距比和的正畸弓丝变半径圆域划分方法-CN202010485676.X有效
发明人：姜金刚;吴殿昊;郭亚峰;张永德;闵兆伟;曾阳 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： A61C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于弯制点角距比和的正畸弓丝变半径圆域划分方法，它涉及正畸弓丝弯制技术领域，本发明针对弯制点密集程度较小的一类正畸弓丝曲线，基于正畸弓丝曲线弯制点信息集、弯制点的机器人弯制信息集，结合机器人弯制正畸弓丝的运动特点，建立一种基于弯制点角距比和的正畸弓丝变半径圆域划分方法。技术要点为：将正畸弓丝曲线T转换为平面曲线T′；圆域限制参数的设定及简化；确定划分圆域的半径和圆心；定义合理角距比弯制圆域；判断是否继续进行圆域划分；以圆域弯制点角距比一种基于弯制点角距正畸弓丝变半径划分方法

[发明专利]一种两用弹弓-CN201610132007.8在审
发明人：罗福仲 -专利权人：罗福仲
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： F41B3/02 文献下载
摘要：包括弓把、左弓臂、右弓臂、左皮筋、右皮筋和弹兜，本发明的主要特点是：弓把的上端中部设有圆凹孔，圆凹孔的下部设有相通的喇叭形开口，弓把的下端部设有上橡胶软磁片圈，圆凹孔内设有用于撞击弹丸的圆杆，圆杆的下端设有一体成型的圆锥形连接部和手柄，手柄的上端部设有与上橡胶软磁片圈的磁性相吸的下橡胶软磁片圈；弹丸的直径与圆凹孔的内径相同，弹丸的材质为弹性橡胶球；圆杆的长度尺寸小于圆凹孔的长度尺寸。
一种两用弹弓

[发明专利]一种两用弹弓-CN201711357282.0在审
发明人：孙玮锋 -专利权人：孙玮锋
申请日： 2017-12-16 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： F41B3/02 文献下载
摘要：包括弓把、左弓臂、右弓臂、左皮筋、右皮筋和弹兜，本发明的主要特点是：弓把的上端中部设有圆凹孔，圆凹孔的下部设有相通的喇叭形开口，弓把的下端部设有上橡胶软磁片圈，圆凹孔内设有用于撞击弹丸的圆杆，圆杆的下端设有一体成型的圆锥形连接部和手柄，手柄的上端部设有与上橡胶软磁片圈的磁性相吸的下橡胶软磁片圈；弹丸的直径与圆凹孔的内径相同，弹丸的材质为弹性橡胶球；圆杆的长度尺寸小于圆凹孔的长度尺寸。
圆凹孔橡胶软磁弹丸弹弓弓把圆杆手柄皮筋弹性橡胶球喇叭形开口一体成型的磁性相吸上端上端部下端部右弓臂原有的左弓臂下端子筒相通改进

[实用新型]弓片-CN201720027666.5有效
发明人：尹桂花 -专利权人：惠州市羿龙体育用品有限公司
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： F41B5/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种弓片，组装在弓把手上，所述弓片沿远离所述弓把手的方向依次包括组装段、第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段、第四圆弧段及弓弦安装段，所述第一圆弧段与所述第二圆弧段相切，所述第三圆弧段分别与所述第二圆弧段及第四圆弧段相切，所述第一圆弧段至第四圆弧段的圆心呈同侧布置且半径呈递减设置，所述弓弦安装段的左右两侧各开设有相对该弓弦安装段倾斜的弓弦容置槽，所述弓弦容置槽的槽深大于所述弓弦的直径，所述弓弦容置槽将所述弓弦安装段的末端分隔出一防脱倒钩，使得安装于弓把手上的本实用新型的弓片拉感更好，且在超拉时弓弦不会脱落，有效地防止使用者被脱落的弓弦打伤。
弓片

[发明专利]一种整体式套管扶正器及其制造方法-CN201510178334.2在审
发明人：李富平;刘明;郭朝辉;阮臣良;吴姬昊;袁大勇;徐飞;苏同 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： E21B17/10 文献下载
摘要：所述整体式套管扶正器，采用统一壁厚材质管材或者板材加工而成，包括两端的圆箍，以及位于两端圆箍之间的弓片；所述弓片在圆周上均布，每个弓片的两端分别与两端的圆箍连接；每个弓片均向外拱起；所有弓片构成的扶正器外径小于或者等于上层的套管的内径
一种整体套管扶正及其制造方法

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