专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抛光垫清洗装置-CN201911404911.X在审
  • 杨兆明;颜凯;中原司 - 浙江芯晖装备技术有限公司
  • 2019-12-31 - 2020-04-28 - B24B37/34
  • 本发明为一种抛光垫清洗装置,包括毛刷结构,毛刷结构包括能周向旋转的盘面毛刷,盘面毛刷用于抵靠接触且旋转清洁抛光垫;盘面毛刷安装于毛刷臂上,毛刷臂的一端连接升降部上,升降部上设置能驱动毛刷臂在水平方向上摆动和能驱动盘面毛刷周向旋转旋转驱动部;盘面毛刷的一侧设置压力清洗结构,压力清洗结构用于修复抛光垫;抛光垫清洗装置还包括控制部,控制部用于盘面毛刷旋转状态、毛刷旋转状态、升降部升降状态和压力清洗结构清洗状态的控制。该装置能利用盘面毛刷冲洗清洁、保湿抛光垫,利用压力清洗结构修整抛光垫,防止抛光垫脏污和磨损造成新硅片的损伤。
  • 抛光清洗装置
  • [实用新型]抛光垫清洗装置-CN201922496223.2有效
  • 杨兆明;颜凯;中原司 - 浙江芯晖装备技术有限公司
  • 2019-12-31 - 2020-11-06 - B24B37/34
  • 本实用新型为一种抛光垫清洗装置,包括毛刷结构,毛刷结构包括能周向旋转的盘面毛刷,盘面毛刷用于抵靠接触且旋转清洁抛光垫;盘面毛刷安装于毛刷臂上,毛刷臂的一端连接升降部上,升降部上设置能驱动毛刷臂在水平方向上摆动和能驱动盘面毛刷周向旋转旋转驱动部;盘面毛刷的一侧设置压力清洗结构,压力清洗结构用于修复抛光垫;抛光垫清洗装置还包括控制部,控制部用于盘面毛刷旋转状态、毛刷旋转状态、升降部升降状态和压力清洗结构清洗状态的控制。该装置能利用盘面毛刷冲洗清洁、保湿抛光垫,利用压力清洗结构修整抛光垫,防止抛光垫脏污和磨损造成新硅片的损伤。
  • 抛光清洗装置
  • [发明专利]带电装置、图像形成装置旋转毛刷及其清洗装置和制造方法-CN200510062758.9无效
  • 竹泽洋一;石井洋 - 夏普株式会社
  • 2005-03-25 - 2005-09-28 - G03G15/02
  • 本发明的目的在于提供一种可以防止旋转毛刷的毛被搅乱的旋转毛刷的制造方法、旋转毛刷、使用该旋转毛刷的带电装置、使用该旋转毛刷的图像形成装置旋转毛刷的清洗装置。本发明的旋转毛刷的制造方法,是在旋转中心的周围设置有许多毛的圆柱状的旋转毛刷的制造方法,包括:利用平滑构件将设在轴心周围的发泡弹性构件的外周表面覆盖的表面覆盖工序;以及利用静电在所述平滑构件的表面上栽植上述许多毛的静电栽毛工序当使用上述旋转毛刷使静电潜像载体带电时,可以使静电潜像载体表面均匀带电。此外,当使用上述旋转毛刷对静电潜像载体进行除静电或清洗时,可以使静电潜像载体表面均匀地除静电或均匀地清洗。
  • 带电装置图像形成旋转毛刷及其清洗制造方法
  • [实用新型]一种调节毛刷装置-CN201621278490.2有效
  • 黄秀华;毛连茂;汪春雷;毛新强 - 慈溪市普高塑料有限公司
  • 2016-11-26 - 2017-06-13 - A46D9/00
  • 本实用新型公开了一种调节毛刷装置,解决了由于毛刷固定,拉丝不断的扫过毛刷的刷毛上后导致毛刷的刷毛变形,使用起来效率低下同时还造成材料浪费的问题,其技术方案要点是一种调节毛刷装置,包括支撑架和毛刷板,还包括固定连接于支撑架上用于支撑毛刷板的支撑板,毛刷板的刷毛与拉丝抵触连接,毛刷板的下端面一体连接有穿设于支撑板的旋转杆,旋转杆上套设有用于驱动旋转旋转并驱动毛刷板联动旋转的驱动组件,本实用新型的一种调节毛刷装置,能够对毛刷的刷毛的进行方向的调整,避免毛刷的刷毛被拉丝磨压严重变形,延长毛刷的使用寿命。
  • 一种调节毛刷装置
  • [实用新型]一种毛刷自清洗装置-CN202022577197.9有效
  • 王孝军;范亚飞 - 上海允哲机电科技有限公司
  • 2020-11-10 - 2021-08-06 - B08B3/04
  • 本申请公开了一种毛刷自清洗装置。该自清洗装置包括升降组件、旋转组件、摆臂机构、毛刷自转组件和储液机构。升降组件为旋转组件提供升降的动力。旋转组件为摆臂机构提供旋转的动力。摆臂机构的一端连接第二连接轴的上端,其另一端连接毛刷毛刷旋转机构为毛刷自清洗时提供旋转的动力。储液机构用于储存清洗液。在晶圆清洗的过程中,通过升降组件上升旋转组件,通过摆臂机构抬升毛刷,通过旋转组件的旋转使毛刷正对储液机构,最后再通过升降组件将毛刷下降至清洗液中,最后毛刷旋转机构使毛刷旋转来完成毛刷的自清洗。在晶圆清洗的过程中适时的对毛刷进行清洗,能够有效确保晶圆的良好品质,提高企业的工作效率,节约人力和时间。
  • 一种毛刷清洗装置
  • [实用新型]一种杯具清洁枪-CN201921358141.5有效
  • 林熙 - 林熙
  • 2019-08-21 - 2020-09-18 - A47L17/00
  • 本实用新型涉及一种杯具清洁枪,包括枪体和旋转毛刷器,所述枪体与所述旋转毛刷器连接;所述枪体包括枪柄,枪口,清洁剂进口,档位开关,电池和充电接口,所述清洁剂进口设置于枪体左侧顶部,所述档位开关设置于清洁剂进口下方,所述充电接口设置于枪柄底部,所述电池设置于充电接口上方;所述旋转毛刷器包括侧毛刷,底毛刷旋转装置,伸缩杆和清洁剂出口,所述侧毛刷设置于旋转毛刷器外侧,所述底毛刷设置于侧毛刷内部,所述旋转装置设置于底毛刷内部,所述清洁剂出口设置于旋转毛刷器中心位置,所述伸缩杆一端连接旋转毛刷器,另一端与枪体连接,位于枪口正中心。
  • 一种清洁
  • [发明专利]用于晶圆的刷洗装置-CN201110161250.X有效
  • 路新春;裴召辉;梅赫赓;何永勇 - 清华大学
  • 2011-06-15 - 2011-10-12 - H01L21/00
  • 本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置,所述用于晶圆的刷洗装置包括:机架;支撑件,支撑件设在机架上以用于使晶圆可旋转地支撑于支撑件上;以及第一和第二毛刷组件,第一和第二毛刷组件相对地且间隔开地安装在机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面,其中第一毛刷组件和第二毛刷组件各自包括:主动旋转盘,主动旋转盘可旋转地安装在机架上;毛刷毛刷旋转地安装在主动旋转盘上且主动旋转盘的旋转轴线平行于毛刷旋转轴线;和驱动组件,驱动组件分别与主动旋转盘和毛刷相连以分别驱动主动旋转盘和毛刷绕各自的旋转轴线旋转根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置可以保持毛刷的表面润湿,从而提高晶圆的清洗效果。
  • 用于刷洗装置

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