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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种掩膜版抬版治具-CN202320834992.2有效
发明人：熊启龙;王亚腾 -专利权人：深圳清溢光电股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B65G7/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及掩膜版用治具技术领域，公开了一种掩膜版抬版治具，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架转动设置在支撑梁架上的卡爪组件，所述卡爪组件设置有四组，所述卡爪组件包括持握部，所述支撑梁架的外伸端均设置有所述持握部，人员通过握紧所述持握部，使得卡爪组件互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，所述卡爪组件在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部后，卡爪组件松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。本实用新型，2名人员即可轻松完成对于掩膜版的下料操作，同时移动过程中掩膜版夹持稳固不易发生碰撞以至于损坏。
一种掩膜版抬版治具

[发明专利]一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法-CN202310458582.7在审
发明人：蔡则凡;张蔡星;李成林 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23G3/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法，涉及金属掩膜版清洗领域。该伴洗治具包括框体，框体的中部为上下贯通的开口；还包括吸附杆，吸附杆具有磁性，若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处；吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。清洗方法步骤包括：准备上述的伴洗治具；将伴洗治具与掩膜版共同浸没在清洗池中的清洗液内；优选地，将伴洗治具水平置于掩膜版下方，掩膜版水平置于伴洗治具的上方，或者掩膜版竖立置于伴洗治具的上方；清洗。将本发明应用于金属掩膜版的清洗，能够优化金属掩膜版清洗的效率和效果，降低清洗液的更换频次以及更换清洗液所投入的成本。
一种金属掩膜版伴洗治具清洗方法

[发明专利]一种用于治具自动剥离掩膜版的机构及其工作方法-CN201910510461.6有效
发明人：黄光华;曾杰;方华 -专利权人：无锡吉微精密电子有限公司
申请日： 2019-06-13 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于治具自动剥离掩膜版的机构及其工作方法，所述治具内装有由磁铁吸附的两个掩膜版；其特征在于：包括剥离机构、驱动机构、定位机构、拆装机构、放料机构和压料机构；所述治具安装于所述定位机构内；所述压料机构压住所述治具；所述拆装机构插入所述定位机构内吸附所述治具的磁铁；所述剥离机构负压吸住所述掩膜版；所述驱动机构驱动所述剥离机构移动将所述掩膜版放入所述放料机构内。解决了现有方案造成的需要雇佣大量的劳动力、剥离质量不可控报废率高、剥离掩膜版的效率低和增加了掩膜版的制造成本等问题。
一种用于自动剥离掩膜版机构及其工作方法

[实用新型]一种掩膜版曝光压合固定治具-CN202220457981.2有效
发明人：孟洋;殷明春 -专利权人：廊坊晶正光电技术有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜版曝光压合固定治具，包括：底座，具有承载面，所述承载面的四角设置有旋转下压件；平台，位于所述承载面上，用于放置基材和掩膜版，所述基材、掩膜版向远离平台的方向依次紧贴放置；当依次放置好基材和掩膜版后，所述旋转下压件旋转至掩膜版上方，并对掩膜版进行挤压，使得基材和掩膜版进行紧密贴合；曝光完毕，所述旋转下压件松开对掩膜版的挤压，并旋转至远离掩膜版的上方。本申请所述的固定治具，自动化程度提高，保证了掩膜版和基材之间的紧密贴合。
一种掩膜版曝光固定

[实用新型]一种用于半导体掩膜版磨边的装置-CN202222167324.7有效
发明人：周荣梵;林超;林伟 -专利权人：成都路维光电有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体掩膜版磨边的装置，包括连接组件和打磨机构，连接组件包括连接机构、底座和机架，机架连接于底座上，连接机构一端连接于机架上部，另一端连接打磨机构；打磨机构包括机架本体、砂带和掩膜版装载治具，掩膜版装载治具上部设置有用于嵌入固定非常规尺寸半导体掩膜版的固定卡槽，其下部设置有通槽并固定于机架本体上方的两侧，而砂带设置于机架本体的表面并穿设于掩膜版装载治具下部的通槽，砂带通过连接机构驱动进行往复运动对固定在固定卡槽中的非常规尺寸半导体掩膜版磨边，不仅实现非常规尺寸半导体掩膜版的磨边，而且有效降低了非常规尺寸半导体掩膜版生产报废的风险，从而提高了设备稼动率。
一种用于半导体掩膜版磨边装置

[实用新型]一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置-CN202321344685.2有效
发明人：李伟 -专利权人：合肥清溢光电有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，下烘烤组件和上烘烤组件分别设置于掩膜版支撑架的下方和上方，掩膜版支撑架与上烘烤组件和下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；上烘烤组件固定安装于烘烤室内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件与掩膜版支撑架之间距离；本技术方案通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版，实现掩膜版近距离烘烤，受热均匀，烘干快速，烘干效率高。
一种尺寸掩膜版光刻烘干装置

[实用新型]一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具-CN202320367789.9有效
发明人：李文;熊启龙;徐智俊;徐兵;杜晓威 -专利权人：合肥清溢光电有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻技术领域，公开了一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪、可移动的第二夹爪和连接块，待固定掩膜版置于第一夹爪和第二夹爪之间，并被第一夹爪和第二夹爪由两相对的侧面固定；第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，第一导气槽靠近连接块的内端面上穿透有第二导气孔，第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面；本实用新型的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。
一种适用于尺寸掩膜版固定

[实用新型]一种高精度掩膜版的加工治具-CN202121943551.3有效
发明人：张明华;龙江;黄国章 -专利权人：福州金珂光学科技有限公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了加工治具领域，具体为一种高精度掩膜版的加工治具，包括固定架、控制架以及夹持架，固定架为倒T字型板，固定架竖板中心转动插接有控制架，控制架左侧面内安装有夹持架，控制架包括转动结构，转动结构内设有控制夹持架伸缩的伸缩结构；有益效果为：本实用新型提出一种高精度掩膜版的加工治具对传统的加工治具进行结构优化，使其更方便使用。
一种高精度掩膜版加工

[实用新型]一种掩膜版薄膜膜盒上料治具-CN202220640029.6有效
发明人：王亚腾 -专利权人：合肥清溢光电有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版薄膜膜盒上料治具，包括膜盒平台、设置在膜盒平台前侧的挡板和设置在膜盒平台后侧的可移动的固定组件，挡板和固定组件分别由膜盒的前端面和后端面对膜盒夹紧固定；固定组件包括设置在膜盒平台后侧的安装座、穿过安装座并朝向膜盒的螺杆和套设在螺杆上的可调夹紧组件；本实用新型的掩膜版薄膜膜盒上料治具，解决现有技术中掩膜版贴膜机不能适用各种尺寸、型号的膜盒的问题，不能对具有圆角或倾斜侧面的膜盒进行稳定的夹紧的问题
一种掩膜版薄膜膜盒上料治具

[实用新型]一种掩膜版上下料装置-CN202222054763.7有效
发明人：虞栋;李国祥;王明芳 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种掩膜版上下料装置，涉及掩膜版清洗辅助设备领域。该掩膜版上下料装置包括升降台和掩膜版载具，掩膜版载具设置在升降台上；所述掩膜版载具包括支撑架，支撑架上设置有限位滚轮组和驱动机构，限位滚轮组设置在支撑架的上部，且配置为受驱动机构驱动并执行沿竖直方向的移动本实用新型掩膜版上下料装置，用于掩膜版清洗装置前的上料或者下料，不仅能够降低掩膜版上下料难度、劳动强度和人员成本，同时能够提高上下料效率和过程中的安全性。
一种掩膜版上下装置

[发明专利]一种掩膜版、制造方法及设备-CN201811430512.6在审
发明人：柯于军;管林立;李龙;郭平 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明提出一种掩膜版、制造方法及设备，显示治具的技术领域，包括相对设置的第一基板和第二基板，第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区，第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区，第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应；其中，掩膜版还包括有框胶，第一基板和第二基板通过框胶连接。本发明的掩膜版、制造方法及设备，可用于紫外光固化装置，通过使用两片同机型的掩膜版，经过相关工艺流程，使之形成合板的掩膜版，有效的保护膜面。
掩膜版遮光区第二基板第一基板多个阵列框胶排布制造紫外光固化装置相对设置工艺流程保护膜上表面下表面合板可用治具机型

[实用新型]一种掩膜版清洗装置-CN201721009862.6有效
发明人：殷大山;高威;尹春月 -专利权人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
申请日： 2017-08-14 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型提一种供掩膜版清洗装置，包括：用于存放清洗液的清洗槽、承载清洗槽的移动承载台、用于固定掩膜版的掩膜版夹具、以及传动杆；其中，所述承载台两端设有支架，所述的掩膜版夹具的两端通过传动杆与所述支架连接；所述的传动杆能绕自身轴转动并带动掩膜版夹具转动。通过本实用新型的技术方案有效的解决了清洗机台的掩膜板固定治具只有一种尺寸，不能满足小尺寸要掩膜版清洗的需求的问题。
啮合齿轮掩膜版传动杆旋转摇杆夹具本实用新型清洗装置承载台清洗槽支架啮合传动杆转动固定掩膜固定治具夹具转动啮合转动清洗机台支架连接清洗液掩膜板轴转动摇动清洗承载移动

[发明专利]一种金属掩膜版加工用治具-CN202011603749.7在审
发明人：钱超;杨波;洪明;王有朋 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明属于半导体制作技术领域，尤其是一种金属掩膜版加工用治具，针对现有技术存在的问题，现提出以下方案，包括底盘，所述底盘的顶部外壁固定连接有支撑圈，且支撑圈的顶部外壁通过轴承圈转动连接有顶盘，顶盘的顶部外壁设置有环形均匀分布的加工工位本发明节省了装卸料时间，提高了掩膜版的生产效率，能提高操作时的安全性，能固定不同尺寸规格的掩膜版，提高了装置的适用范围，防止烟气飘散到空气中，优化了工作环境，防止水中的颗粒杂质沉淀，防止水滴残留在掩膜版的底部而导致掩膜版损坏
一种金属掩膜版加工用

[发明专利]一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法-CN202310089665.3在审
发明人：叶大成;朱友宏;赵敏;沈洵;徐华伟;夏金晓 -专利权人：浙江众凌科技有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种金属掩膜版光罩组件及金属掩膜版基材的曝光方法，包括：光罩，具有第一平面和第二平面，所述第一平面具有切角，所述切角宽度D1小于光罩厚度T的一半；夹爪治具，贴合于光罩上下端面，包括治具本体和设置于治具本体一侧且贴合切角设置的贴合部；所述夹爪治具的治具本体挤压于光罩上下端面致使光罩朝向第一平面形成微小凸起。本发明设置了切角和与之对应的夹爪治具，实现了挤压力的分散，同时使得光罩产生定向的微小形变将光罩与基材之间的空气由中心往外挤出，减少空泡产生。
一种金属掩膜版光罩组件掩膜版基材曝光方法

[发明专利]一种半导体掩膜版上下机对载具寿命影响的管理方法-CN202310766888.9在审
发明人：沈晓;付斌;胡堂林;田浩元 -专利权人：江苏道达智能科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体掩膜版上下机对载具寿命影响的管理方法，包括如下过程：用户在MES系统创建掩膜版载具时给载具定义寿命上限值；载具运载掩膜版上下机时自动化设备通过HSMS通信协议上报信息给EAP，EAP本发明能够进行管理智能化，根据掩膜版上下机时信息流自动统计载具开合次数，并进行寿命管理，有利于数据化提升效率，人员可直观看到超过寿命上限的载具数据，并与实物对比，针对性检查载具开合连接处，有利于降低生产风险，机器视觉检测系统和传感器识别单元同时工作，对载具及掩膜版进行实时检测，保证其正常运行，降低因载具破损而导致的掩膜版质量下降产生的生产风险。
一种半导体掩膜版上下机寿命影响管理方法

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