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[发明专利]一种平滑微透镜结构表面的制备系统-CN202110265377.X有效
发明人：黄胜洲;谢芳琳;王雷;王风涛;韦山;吴中平;孙家乐 -专利权人：安徽工程大学
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种平滑微透镜结构表面的制备系统，包括：曝光光源，用于提供曝光光线，沿所述曝光光线照射方向顺次设置有匀光准直元件、DMD芯片、投影物镜以及三维精密平台，其中，所述匀光准直元件用于将曝光光线处理为均匀光束；所述DMD芯片用于将所述均匀光束反射至投影物镜；所述投影物镜用于将所述均匀光束聚焦至三维精密平台的精准曝光位置，以在工件表面生成曝光图形；其中，还包括连接至所述投影物镜的机械振动辅助机构，所述机械振动辅助机构驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动
一种平滑透镜结构表面制备系统

[发明专利]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法-CN201310032880.6有效
发明人：刘广义;齐月静;张清洋;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-29 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差本发明只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。
一种光刻投影物镜波像差在线测量装置方法

[实用新型]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置-CN201320047881.3有效
发明人：刘广义;齐月静;张清洋;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-29 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差本实用新型只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。
一种光刻投影物镜波像差在线测量装置

[实用新型]一种对称式双远心光刻投影物镜-CN202222857367.8有效
发明人：黄鑫;吴昌力;郑军 -专利权人：聚时科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本本实用新型公开了投影光刻技术领域的一种对称式双远心光刻投影物镜，包括沿其光轴方向从物面一侧到像面一侧依次包括前组、孔径光阑和后组，前组和后组关于孔径光阑完全对称设置，前组的后焦点和后组的前焦点与孔径光阑中心重合，本实用新型增大投影物镜的数值满足亚微米中小基底光刻领域的较高分辨率要求，降低透镜物镜的畸变，提高光刻的精度，有利于投影物镜的紧凑性的结构设计，减小投影物镜模块的体积，较长的投影物镜工作距里有利于降低对工件台和掩模台的尺寸限制
一种对称式双远心光刻投影物镜

[实用新型]大屏反射式投影光学显微镜-CN201920836959.7有效
发明人：鲍鹏飞;鲍金权 -专利权人：宁波湛京光学仪器有限公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： G02B21/36 文献下载
摘要：大屏反射式投影光学显微镜，属于光学技术领域，包括显微镜底座、显微镜镜臂、载物台、物镜装置、头部罩壳、投影屏、调焦手轮、反光镜A、反光镜B、齿杆；物镜装置包括后固定组物镜座、后固定组物镜镜片、前组物镜镜片、大底座物镜主座、物镜转换盘、转动罩；大底座物镜主座包括大底座、物镜筒、中心下凸头；所述反光镜A向后倾斜、与水平方向的夹角为57°，所述反光镜B与水平方向的夹角为90°，所述投影屏向后倾斜、与水平方向的夹角为
反光镜大底座夹角为物镜后固定组物镜装置向后倾斜投影屏显微镜主座光学技术领域本实用新型反射式投影光学显微镜显微镜底座调焦手轮高度降低前组物镜头部罩壳物镜镜片物镜筒物镜座载物台转动罩转换盘镜片齿杆大屏镜臂下凸观察

[实用新型]一种补偿色散DMD投影装置-CN202320915077.6有效
发明人：杨佳苗;沈阳;邵荣君;王冬梅;何巧芝;曲元 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种补偿色散DMD投影装置，包括投影光源、色散棱镜、DMD、投影物镜和投影像面：色散棱镜的一端正对投影光源的输出端，另一端正对DMD的入射端，DMD的出射端正对投影物镜，投影物镜的投影端正对投影像面与现有技术相比，本实用新型首次提出补偿色散技术，采用色散棱镜使投影光束产生的色散与DMD因衍射效应引起的色散相抵消，具有出光效率更高，投影色彩还原度高、光谱信息完整、图案更清晰的优点。
一种补偿色散 dmd 投影装置

[实用新型]复合式实物投影机-CN99207619.6无效
发明人：杜侑达 -专利权人：穆宗南;杜侑达
申请日： 1999-04-01 - 公布日： 2000-05-10 - 主分类号： G03B21/00 文献下载
摘要：一种复合式实物投影机,包括一聚光反射式装置、一影像通道光罩、一投影物镜组及一放置台,该放置台置放待投影物,该待投影物可为任意黑白或彩色的纸张或实物,借由该聚光反射式装置,将光源所射出的光线集中于待投影物上,并射向投影物镜,再以该投影物镜组调整欲投射的影像焦距,使投射于屏幕上的影像达到清晰范围,并可再组设透射式投影机结构,以构成一兼具聚光反射/透射式功能的复合式投影机装置。
复合实物投影机

[发明专利]一种曝光设备的物镜光轴位置确定方法、装置及电子设备-CN202210237477.6在审
发明人：曲越奇;张叶;王镇辉;向松;秦建新 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种曝光设备的物镜光轴位置确定方法、装置及电子设备，该方法包括：利用传感器检测第一投影光斑的能量值，确定处于第一投影光斑范围内的物镜光轴的基准位置；利用传感器检测第二投影光斑的能量值，确定处于第二投影光斑范围内的目标位置；基于目标位置，利用搜索算法确定处于第二投影光斑范围内的物镜光轴的偏移位置；确定偏移位置相对于基准位置的偏移距离，利用偏移距离确定单独使用第二掩模版时物镜光轴的位置。通过采用上述物镜光轴位置确定方法、装置及电子设备，解决了在测量物镜光轴位置时，因每次都使用工装掩模版进行测量而带来的测量过程繁琐以及测量效率低的问题。
一种曝光设备物镜光轴位置确定方法装置电子设备

[发明专利]一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜-CN201410543114.0有效
发明人：刘俊伯;程依光;赵立新;胡松 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-10-14 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其采用了双远心、14片结构，工作波长为i线(365nm)。该物镜光学共轭总长(物方到像方)L＝500mm，物方、像方工作距均为60mm。经过面型优化和机械结构微调后，该光刻投影物镜像方分辨力能达到<5mm。该光刻机的投影物镜的数值孔径较高，可以有效提高光刻分辨力；该光刻机的投影物镜的总片数较少，且未采用非球面，可以在有效平衡像差的同时，降低加工装配的难度；该光刻机的投影物镜的光学共轭距较短，可以很好地集成入小型化光刻设备之中
一种用于桌面 stepper 光刻投影物镜

[实用新型]一种磁共振兼容的影像传输和显示装置-CN201720982771.4有效
发明人：杨基春;张强;李迎新;陈珠英;刘胜林;张叙天;冯庆敏 -专利权人：华中科技大学同济医学院附属协和医院;中国医学科学院生物医学工程研究所
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： A61B90/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁共振兼容的影像传输和显示装置，包括由左至右依次设置的PC机、投影仪、前置物镜组、传像光纤束、中继物镜组、投影像面和目镜组，PC机和投影仪构成输出虚拟现实场景的影像终端，影像终端和前置物镜组均设置于核磁检查室外部，中继物镜组、投影像面和目镜组均设置于核磁检查室内的核磁成像磁体腔内部；影像终端产生动态影像，通过前置物镜组、传像光纤束和中继物镜组完成动态影像从核磁检查室外到核磁检查室内的传输，人眼通过目镜组观察到投影像面上的动态影像
动态影像核磁检查影像终端中继物镜目镜组投影像物镜组前置虚拟现实场景投影仪本实用新型传像光纤束显示装置影像传输磁共振兼容室内幽闭恐惧症核磁成像依次设置磁体腔室外部从核人眼室外传输输出缓解观察检查帮助

[发明专利]投影仪-CN94190262.5无效
发明人：汉斯·Ｈ·克努慈恩 -专利权人：罗雷摄影技术有限公司
申请日： 1994-05-03 - 公布日： 2000-06-07 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：具有至少一投影物镜、一配属于投影物镜的滑架和至少一配属于投影物镜的聚光系统的投影仪，滑架可与投影物镜的光轴平行地由投影位置向更换位置移动，并支承至少一用以固定影像原版的幻灯片台架；聚光系统用于照明可透射照明的影像原版，其特征在于，聚光系统包括一个固定在投影仪中的第一组件灯托架和第二个设在滑架上的第二个组件，第一个组件至少包括灯、凹面镜、和一个聚光透镜，第二个组件至少包括幻灯片台架。
投影仪

[实用新型]一种大视角鱼眼镜头成像检测装置-CN201520514278.0有效
发明人：谭少沛;邓英韬;王瑶;叶晓辉;李琼;张晓峰 -专利权人：中山依瓦塔光学有限公司
申请日： 2015-07-15 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大视角鱼眼镜头成像检测装置，包括机架，其技术方案的要点是：所述机架上设有球形的物镜投影面，所述机架上还设有能水平移动的支架，所述支架上架设有用于通过鱼眼镜头向所述物镜投影面上投影的投影装置，当所述投影装置沿所述支架移动时鱼眼镜头的中心轴沿所述的物镜投影面的球心所在的水平直线移动。本实用新型提供一种大视角鱼眼镜头成像检测装置，利用支架带动配有待检测鱼眼镜头的投影装置移动，根据球形的物镜投影面上投影变化，判断鱼眼镜头的视场角度大小，以便寻找到镜头的透镜光心与投影面的球心重合的位置，
一种视角眼镜成像检测装置

[实用新型]一种透射比为0.46：1的变焦附加镜头组-CN201922480338.2有效
发明人：陈勇;张维强 -专利权人：武汉慧视智享科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G02B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透射比为0.46:1的变焦附加镜头组，自近物侧至远物侧方向依次设置第一光学物镜、第二光学物镜、第三光学物镜和第四光学物镜，所述第一光学物镜、第二光学物镜、第三光学物镜和第四光学物镜均为弯月透镜，本实用新型结构简单、镜头总数少，适合大批量生产，并且无色差、成像效果好，适合应用在各种大画面投影的的投影机上。
一种透射 0.46 变焦附加镜头

[发明专利]车灯系统及其组装方法-CN201910944202.4有效
发明人：黄国林;谢前森;樊坚;张恩鑫;杨佳;郎海涛;张鹤腾 -专利权人：宁波舜宇车载光学技术有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：本发明提供一车灯系统及其组装方法，其中所述车灯系统包括一投影照明模块、一采集反馈模块以及一投影物镜组，其中所述采集反馈模块采集至少一成像光束，以产生该车辆周边环境的一环境图像，所述采集反馈模块将所述环境图像反馈至所述投影照明模块，以使所述投影照明模块产生至少一投影光束，以根据该车辆周边的环境信息投影，其中所述投影照明模块和所述采集反馈模块共用所述投影物镜组，所述成像光束和所述投影光束分别自所述投影物镜组相对的两侧出射。
车灯系统及其组装方法

[实用新型]一种用于高亮度工程投影机的投射比为0.7的短焦镜头-CN202221606008.9有效
发明人：王杰 -专利权人：济南中创光电科技有限公司
申请日： 2022-06-25 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及短焦镜头技术领域，具体地说就是一种用于高亮度工程投影机的投射比为0.7的短焦镜头。一种用于高亮度工程投影机的投射比为0.7的短焦镜头，包括镜框，在所述镜框内自近物侧向远物侧依次设置的非球镜面、第一光学物镜、第二光学物镜、第三光学物镜、第四光学物镜、第五光学物镜、第六光学物镜、第七光学物镜、第八光学物镜、第九光学物镜和第十光学物镜，第七光学物镜和第八光学物镜均为胶合镜片。具有结构简单、生产成本低、易加工适合大批量生产等特点，能够代替进口短焦镜头进行使用，节省大量成本，且光斑小、在镜头上的占比小，可偏移量大，能适应多种角度的投影需求，具有成像效果好、无色差、低畸变率以及高透光率等特点
一种用于亮度工程投影机投射 0.7 镜头