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- [发明专利]光刻投影物镜-CN201110353697.7有效
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张品祥;黄玲
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上海微电子装备有限公司
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2011-11-10
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2013-05-15
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G02B13/06
- 一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包含：第一平面反射镜，具有正光焦度的第一球面反射镜，具有负光焦度的镜片组，具有负光焦度的第二球面反射镜，第二平面反射镜；光线沿传播方向，依次经过第一平面反射镜，第一球面反射镜本发明的投影物镜具有较大的曝光视场，非扫描方向500mm；使用多波长曝光，增加了曝光照度，提高光刻机的产率；在光瞳面附近使用若干片小口径镜片控制像差，使得在保证物镜的制造、成本、重量等前提下，获得优异的曝光像质
- 光刻投影物镜
- [实用新型]背投影物镜-CN200820149278.5有效
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马永珍;王海湘;王天洲
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利达光电股份有限公司
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2008-09-18
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2009-07-29
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G02B7/04
- 本实用新型公开了一种在背投影机上使用的背投影物镜，包括物镜主体、镜片组、镜头盖和调焦定位机构，所述镜片组设置在物镜主体内，调焦定位机构设置在物镜主体上，其特征在于：所述镜片组由8个透镜组成，从左到右依次为单负透镜通过调整物镜主体与法兰在导套的导向作用下前后相互移动，补偿由于零件加工误差带来的像面位移，保证像面图像清晰，来实现调焦目的，具有光学性能高，像面照度均匀性高，分辨率高，结构简单的优点，而且采用常用普通环保光学玻璃
- 投影物镜
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