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[发明专利]投影物镜像差检测装置及检测方法-CN201811288720.7有效
发明人：孙慧慧;李天鹏 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种投影物镜像差检测装置及检测方法，包括测定模块和计算模块；测定模块包括沿光线传播路径依次设置的光源、照明系统、物方掩模版、待测投影物镜和像方掩模版以及波前传感器；物方掩模版包括多个第一通光孔和多个第一衍射孔；像方掩模版包括多个第二通光孔和多个第二衍射孔；波前传感器用于检测标定状态下的波前信息和检测状态下的波前信息；计算模块与波前传感器连接，用于基于标定状态下的波前信息以及检测状态下的波前信息，得到待测投影物镜的波像差，以实现提供一种对光源相干性要求低、结构简单、标定时效性较佳、环境变化对测量结果影响较小的投影物镜像差检测装置。
投影物镜检测装置方法

[发明专利]一种光刻投影物镜-CN201811648652.0有效
发明人：郭银章;马克·欧斯可特斯凯 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-12-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包括沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，所述第一透镜组、所述第三透镜组均具有负光焦度，所述第二透镜组和所述第四透镜组具有正光焦度，所述第五透镜组的光焦度为0，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组、所述第四透镜组和所述第五透镜组的光焦度的和为0；所述光刻投影物镜还包括光阑；所述第一透镜组、所述第三透镜组和所述第四透镜组均包括非球面透镜本发明实施例提供一种光刻投影物镜，以实现减少非球面透镜的数量，降低加工成本。
一种光刻投影物镜

[发明专利]光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法-CN202110767175.5有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝;李鹏;刘洋;曹译莎 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法，装置包含：光源及照明系统、被测投影物镜、物面衍射光栅版、第一三维位移台、像面衍射光栅版、第二三维位移台、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测投影物镜的物面和像面。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版上制作有两套小周期(对应的s1和s2剪切率均大于等于12.5％)的物面光栅和光栅像面，两套光栅方向不同、测量得到两组不同剪切方向的差分波前，采用组合剪切波前重建算法，可精确重建待测投影物镜的波像差
光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置方法

[发明专利]一种大视场高数值孔径投影光刻物镜-CN202210282522.X有效
发明人：路雨桐;朱咸昌;周吉;康霞;刘文静 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明提供一种大视场高数值孔径投影光刻物镜，包括：第一透镜组，具有正光焦度；第二透镜组，具有负光焦度；第三透镜组，具有正光焦度；第四透镜组，具有负光焦度；第五透镜组，具有正光焦度；第六透镜组的具有正光焦度；所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组的光焦度的和为0；大视场高数值孔径投影光刻物镜共包含5个非球面透镜，每个非球面透镜包含一个非球面表面及一个球面表面；大视场高数值孔径投影光刻物镜最大像方数值孔径为本发明提供一种大视场高数值孔径投影光刻物镜，采用非球面以在实现系统高性能的同时降低结构复杂度，缩短光学系统结构长度，提高系统性能。
一种视场数值孔径投影光刻物镜

[发明专利]一种光刻机投影物镜镜头的装调装置-CN201110212283.2无效
发明人：巩岩;张巍;倪明阳;赵磊;王学亮;袁文全 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2011-07-27 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。所述上检测头通过上检测头架固定在上检测立柱上，调整机构固定在可动调整平台的上表面，所述可动调整平台通过调整平台连接支架固定在Z轴立柱上，水平大理石平台通过四个隔振支撑腿支撑在隔振地基上本发明装置具有良好的实时性，极大的提高了光刻投影物镜的装调效率
一种光刻投影物镜镜头装置

[实用新型]一种激光直瞄镜-CN201820613357.0有效
发明人：陈爱军;毕鹏;高保存;赵艳斌;曹彦宁;刘新建;朱滨;梁智勇;徐永强;靳红生;鹿海;张冬升;郭永辉;毕璐璐;沈向华 -专利权人：陈爱军
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： F41G1/473 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光直瞄镜，属于观测设备技术领域，包括内设昼视望远光学系统、激光测距光学系统和OLED显示投影系统的瞄具壳体，昼视望远光学系统包括物镜、斜方棱镜、分划板、场镜转像透镜组和目镜，激光测距光学系统包括激光发射物镜、激光接收物镜和激光测距传感器；激光测距传感器通过模数转换器与OLED显示器相连，可将测定的目标距离自动解算出方位、高低及角度并生成光标；OLED显示投影系统包括用于发光显示的OLED显示器、投影物镜及与昼视望远光学系统共用的斜方棱镜、分划板、场镜转像透镜组和目镜，观测到的距离及光标经过OLED显示器投影进入人眼，炮手用光标中心压住目标即可进行射击，操作简单、精度高。
望远光学系统激光测距传感器转像透镜组光学系统激光测距投影系统斜方棱镜分划板场镜光标目镜物镜激光激光接收物镜本实用新型模数转换器发光显示观测设备光标中心激光发射目标距离投影物镜解算壳体人眼压住投影观测射击

[发明专利]反射折射投影物镜-CN201110158145.0有效
发明人： D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·-J·曼;A·埃普勒 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2005-01-13 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板
反射折射投影物镜

[发明专利]超短焦投影物镜-CN201310139790.7无效
发明人：张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2013-04-20 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种超短焦投影物镜，包括具有正光焦度的透镜组、具有负光焦度的反射镜以及显示芯片，所述透镜组包括第一子镜组、光阑和第二子镜组，其中，由显示芯片所反射的光经过透镜组被反射镜反射到指定屏幕上，从而形成清晰画面图像本发明的超短焦投影物镜所采用的镜片数量较少，结构简单，具有超低投射比、超低畸变、体积适中、公差适中、工艺性良好等一系列优点。
超短投影物镜

[实用新型]超短焦投影物镜-CN201320204260.1有效
发明人：张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2013-04-20 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G02B13/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超短焦投影物镜，包括具有正光焦度的透镜组、具有负光焦度的反射镜以及显示芯片，所述透镜组包括第一子镜组、光阑和第二子镜组，其中，由显示芯片所反射的光经过透镜组被反射镜反射到指定屏幕上，从而形成清晰画面图像本实用新型的超短焦投影物镜所采用的镜片数量较少，结构简单，具有超低投射比、超低畸变、体积适中、公差适中、工艺性良好等一系列优点。
超短投影物镜

[实用新型]连续变焦投影物镜-CN200720089627.4无效
发明人：马永珍;王海湘;王天州 -专利权人：利达光电股份有限公司
申请日： 2007-03-06 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： G02B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适应于前投影机上使用的连续变焦投影物镜。该物镜中的透镜组合是由在同一光轴上从成像方顺次排列的9组10片透镜组成，其中，前三个透镜固装在调焦镜筒内，其余透镜依次固装在主体镜筒内，在调焦镜筒与主体镜筒套装连接的外圆周部位装有调焦手轮和变焦手轮，变焦手轮通过紧固件与套装在主体镜筒外圆周上的外壳连接该物镜具有连续缩放屏幕图像尺寸而始终保持图像清晰的连续变焦功能，并通过旋转调焦手轮可补偿由于零件加工误差以及装配误差带来的像面移动，使其调焦、变焦操作更为简单化、使用更加方便，同时具有成像质量优良、投影图象清晰
连续变焦投影物镜

[发明专利]反射折射投影物镜-CN200580002499.9有效
发明人： D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·－J·曼;A·埃普勒 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份公司
申请日： 2005-01-13 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： G02B17/00 文献下载
摘要：一种反射折射投影物镜(200)，用于将提供在投影物镜的物面(201)中的图形成像在投影物镜的像面(202)上，包括：第一物镜部分(210)，用于将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分(220)，用于将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分(230)，用于将第二中间图像直接成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜(221)和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜(222)布置在第二中间图像的上游
反射折射投影物镜

[实用新型]显微特征投影机械装置-CN201220088104.9有效
发明人：王跃宗;殷文佳;杨才智 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2012-03-09 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：显微特征投影机械装置属于在用于重构三维物体视觉时使用的机械装置。本装置包括投影支架、盒体和物镜盒；投影支架由支撑臂和底座两部分组成，支撑臂安置在底座上，在支撑臂的其中一侧开有至少两个长的条状通孔；盒体是空心的柱体结构，盒体分为上下两个盒体，上盒体内部装有光源，下盒体内部装有物镜盒，盒体的侧壁上开有调节槽，盒体和支撑臂通过螺栓连接，上下盒体之间夹有光栅；物镜盒是正方体结构，内部开有空心圆柱孔，用于固定物镜。该装置透过光栅照射物体，光栅与物体之间安装有显微物镜，从而在被测物体表面映射形成形状可选的特征，可以更简便的提取物体的表面特征，最终实现三维物体的视觉重构。
显微特征投影机械装置

[发明专利]具有变焦和聚焦的以合理的大角度进行短距离投影的设备-CN201180006724.1无效
发明人：帕斯科尔·伯努瓦;奎海姆·杜伯劳卡;哈立德·萨拉耶德戴恩 -专利权人：奥普特发明公司
申请日： 2011-01-11 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： G02B15/00 文献下载
摘要：本发明提出短距离正面投影系统，也就是说，具有宽角度，占用小体积并提供聚焦以及变焦功能的可能。该投影系统能够获得对角线大于2米的图像，整个光学系统距离图像的平面至少50cm。该投影机以三个光学元件为基础构造：目镜、无焦透镜系统和构成物镜的最终组，物镜用于在凹面镜前形成中间图像。
具有变焦聚焦合理角度进行短距离投影设备

[发明专利]低倍投影仪之光学系统-CN96117205.3无效
发明人：王兢;王璐 -专利权人：王佛性
申请日： 1996-12-09 - 公布日： 1998-06-17 - 主分类号： G02B27/18 文献下载
摘要：本发明涉及低倍投影仪之光学系统,它由透明玻璃板(4)、平面反光镜(3)及投影物镜(2)组成,透明玻璃板(4)上之物体(1)经过光学系统形成一个放大的像(14)于墙上。本发明同时设计有相同物距不同象距之物镜(2)各二组。
投影仪光学系统

[发明专利]降低光刻投影物镜环境热效应影响的方法-CN201410729220.8在审
发明人：郭银章;刘国淦;朱立荣 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-04 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种降低光刻投影物镜环境热效应影响的方法，包括：步骤一、根据环境温度变化，计算该投影物镜的热折变焦面漂移与热变形焦面漂移以及总焦面漂移灵敏度三者值的大小和符号关系；步骤二、计算该投影物镜的单个镜片在环境温度变化下的热折变焦面灵敏度
降低光刻投影物镜环境热效应影响方法