“扩束系统”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5071646个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]三维振镜扫描系统-CN201920833258.8有效
发明人：刘梅军;黄再福;杨林;冯建华;胡柳平;邓彩珍;周雯霞 -专利权人：深圳市吉祥云科技有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三维振镜扫描系统，包括激光发射器、聚焦镜系统、X轴扫描头以及Y轴扫描头，激光发射器发射光束，光束通过聚焦镜系统，经X轴扫描头、Y轴扫描头到达焦点工作平面，所述聚焦镜系统包括扩束镜以及聚焦镜片组，光束经所述扩束镜扩束后被聚焦镜片组聚焦，所述扩束镜相对聚焦镜片组可移动以调节焦点在Z轴的位置。本实用新型提供的三维振镜扫描系统，体积小、制作成本低廉。
三维扫描系统

[发明专利]一种双通道式抗振动干涉测量装置及方法-CN201910285098.2有效
发明人：李建欣;段明亮;宗毅;陈国梁;卢文倩;朱日宏;陈磊;何勇;郭仁慧;马俊 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-04-10 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种双通道式抗振动干涉测量装置及方法，装置包括依次设置的用于对光源进行扩束准直的光源扩束准直系统，用于检测被测件振动相位平面的辅助干涉测量系统，用于结合辅助干涉测量系统测量被测件相位分布的主干涉测量系统，以及被测件光路系统；光源扩束准直系统与被测件光路系统同光轴，记为第一光轴，辅助干涉测量系统与主干涉测量系统的光轴分别记为第二光轴、第三光轴，均与第一光轴垂直；光源扩束准直系统、主干涉测量系统与被测件光路系统构成主泰曼—格林干涉光路；光源扩束准直系统、辅助干涉测量系统与被测件光路系统构成辅助泰曼—格林干涉光路。
一种双通道振动干涉测量装置方法

[实用新型]一种激光电动扩束移动装置-CN202020843189.1有效
发明人：杜刚;李冠青 -专利权人：深圳能升科技有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光电动扩束移动装置，包括固定底板、直线移动模组、小扩束安装板，所述直线移动模组设于固定底板上，所述小扩束安装板设于直线移动模组上，所述小扩束安装板设置有用于安装小扩束的小通孔，所述固定底板上设置有用于安装大扩束的大通孔本实用新型在固定底板上设置固定块，导轨设置在固定块上，小扩束安装板置于导轨上且能够沿导轨滑动，整个调节过程不会产生任何晃动，保证的光斑调节系统的稳定。
一种激光电动移动装置

[发明专利]一种深紫外光刻照明系统-CN201110436392.2有效
发明人：李艳秋;魏立冬 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2011-12-22 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种深紫外光刻照明系统，包括深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、聚光镜子系统、圆形光阑以及孔径光阑；上述各部件沿激光光路前进方向的顺序关系为：深紫外激光光源、柱面扩束镜子系统、圆形光阑、球面扩束镜子系统、复眼匀光子系统、孔径光阑、聚光镜子系统，其中孔径光阑位于聚光镜子系统的前焦面上，且上述各部件的中心与激光光束的中心重合。本发明采用球面和柱面结构，结果简单，且可满足光刻照明系统的需要。
一种深紫光刻照明系统

[发明专利]一种产生普适非均匀关联光束的装置-CN202010175443.X有效
发明人：余佳益;朱新蕾;刘永雷;王飞;蔡阳健 -专利权人：山东师范大学
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本公开提供了一种产生普适非均匀关联光束的装置，包括依次布设的激光器、扩束镜、数字微镜器件、第一透镜、滤波片、第二透镜、朗奇光栅和电荷耦合元件，所述扩束镜对所述激光器发出的激光光束进行扩束的扩束系统，扩束后的光斑大小需要覆盖后续的计算全息图，所述数字微镜器件加载变化的全息图，使后续得到的光强为不同模式连续变化的光束；第一透镜、滤波片和第二透镜形成4f系统，朗奇光栅将4f系统中滤出的正负一级衍射光合成一束光；所述数字微镜器件连接有计算机，控制所述的数字微镜器件上的加载
一种产生普适非均匀关联光束装置

[发明专利]一种干涉仪扩束准直装置-CN202211211570.6在审
发明人：马骏;丁辉;朱日宏 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉仪扩束准直装置，包括扩束镜组、第一折转镜、第二折转镜和准直物镜。干涉仪输出的准直光依次经扩束镜组扩束，第一折转镜折转，第二折转镜折转和准直物镜准直后，输出大口径平面波。所述的干涉仪扩束准直装置，透射波前PV值优于1/10λ且系统无遮拦。
一种干涉仪扩束准直装置

[发明专利]一种位相共轭成像光刻系统-CN200710119960.X无效
发明人：赵立新;唐小萍;胡松;邢薇 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2007-08-06 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种位相共轭成像光刻系统包括：激光器、第一分光镜、第二分光镜、反射镜、第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜、非线性介质、对称分光棱镜、掩膜和硅片，激光器发出的光经第一分光镜分成两路：一路经第二分光镜后又分成两路，其中一路经过第一扩束镜扩束后作为一束泵浦光进入非线性介质，其中另一路经过反射镜、第三扩束镜扩束后作为另一束泵浦光进入非线性介质；经过第二分光镜后的另一路由第二扩束镜进行扩束，经过振幅掩模后，携带着掩模的成像信息被对称分光棱镜反射进入非线性介质中，与上述的两束泵浦光发生位相共轭，产生的位相共轭光透过对称分光棱镜在感光基片上成像，完成位相共轭成像光刻。本发明实现了大口径无像差投影成像，大大降低光学系统的技术难度和成本。
一种位相共轭成像光刻系统

[实用新型]可用于制作光子晶体掩膜层的双光束曝光系统-CN201220287264.6有效
发明人：丁海生;李东昇;马新刚;江忠永;张昊翔;王洋;李超;黄捷;黄敬 -专利权人：杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2012-06-15 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可用于制作光子晶体掩膜层的双光束曝光系统，包括激光光源、扩束准直系统、分束合光装置和两个可转动晶片夹持器,分束合光装置包括第一分束合光棱镜、第二分束合光棱镜和两个反射镜，激光光源、扩束准直系统和第一分束合光棱镜由前至后依次设置，两个反射镜分别位于第一分束合光棱镜的后面和侧面，第一、第二分束合光棱镜和两个反射镜所在的位置组成平行四边形，两个可转动晶片夹持器分别位于第二分束合光棱镜的后面和侧面，电动快门设置于激光光源和扩束准直系统之间或者设置于扩束准直系统和第一分束合光棱镜之间
用于制作光子晶体掩膜层光束曝光系统

[发明专利]通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法-CN201810489193.X有效
发明人：魏劲松;丁晨良;王正伟 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法，通过将单光束点扫描光刻或者成像系统中的扩束镜替换为电动可调倍率扩束镜，进而根据相关计算公式，调节扩束比例来实现聚焦光斑直径的连续可调。本发明可以在单光束点扫描光刻或者成像系统中提供直径连续可调的光斑，快速、简便地实现跨尺度的光刻和多分辨率光学成像。
光刻多分辨率跨尺度扩束成像系统连续可调单光束点扫描扩束镜成像光斑电动可调光学成像计算公式聚焦光斑替换

[发明专利]激光装置-CN201680088177.9有效
发明人：宫本浩孝;若林理 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01S3/137 文献下载
摘要：在具有窄带化光学系统的放电激励式的激光装置中，减少对窄带化光学系统施加的热负荷。激光装置具有在内部配置有一对放电电极(11a、11b)的激光腔(10)、以及包含配置在激光腔(10)外的光栅(14e)的窄带化光学系统(14)。激光装置还具有扩束光学系统，该扩束光学系统针对从激光腔(10)输出且朝向光栅(14e)行进的光束(B)，在与放电电极(11a、11b)之间的放电方向平行的第1方向和与放电方向垂直的第2方向上放大波束直径扩束光学系统保持在与激光腔(10)和光栅(14e)分开形成的保持台(41)上。通过保持台(41)和扩束光学系统构成扩束单元(40)。
激光装置

[发明专利]扩束系统偏角测量及动态监视装置-CN201010615562.9无效
发明人：张磊;郭劲 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2010-12-30 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：扩束系统偏角测量及动态监视装置涉及光学扩束机械领域。本发明包括发射系统，基准反射镜组件、监测组件、第一固定架和第二固定架，第一固定架的一端和第二固定架的一端旋转相连，基准反射镜组件安装在第一固定架的另一端，监测组件安装在第二固定架的另一端，发射系统放置在基准反射镜组件的外侧本发明在装调态下提供装调基准；工作状态下，实时监测扩束系统的角度偏差，为激光发射系统提供了通过扩束系统的激光偏角的动态监视，使激光器出光波动及扩束系统机械结构等结构件在温度变化等环境的变化对激光出射角度的影响提供反馈及调整方向
系统偏角测量动态监视装置

[发明专利]一种激光扩束系统及激光加工设备-CN201410459300.6有效
发明人：施宏艳;周朝明;彭金明;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明适用于激光加工技术领域，提供了一种激光扩束系统，包括沿激光传输方向依次设置的前透镜组和后透镜组；前透镜组包括第一透镜，后透镜组包括第二透镜和第三透镜，第一透镜为双凹型或平凹型负透镜，第二透镜为弯月型或平凹型负透镜，第三透镜为双凸型或平凸型正透镜；前透镜组和后透镜组共焦构成伽利略望远镜系统结构；前透镜组和后透镜组可相对移动，使激光扩束系统对不同波长的激光进行等倍率扩束。本发明可实现多波长等倍率扩束，可将其兼容到多种波长的高功率激光系统中，应用范围广；并且在本扩束系统兼容的多种波长工作下，输出光斑均可达到衍射极限，聚焦点能量密度高，加工效率高；且该扩束系统结构紧凑，调节方便且占用空间小
一种激光系统加工设备

[实用新型]一种多波长激光源切换系统-CN202021249544.9有效
发明人：刘招佐;靳鹏举;周思雨;米进博;吴桐;尚明轩;刘思桐;马亮;杨和睿;野倩文;许龙昭;王延杰;吴慎将 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01S3/23 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多波长激光源切换系统，包括三组激光器扩束光学系统；第一组激光器扩束光学系统包括第一激光器、第一扩束光学系统和第一反射镜M1，第一反射镜M1在该光路上固定设置；第二组激光器扩束光学系统包括第二激光器、第二扩束光学系统和第二反射镜M2，第二反射镜M2设置在起落支撑架上；第三组激光器扩束光学系统包括第三激光器、第三扩束光学系统、第三反射镜M3和第四反射镜M4，第三反射镜M3设置在起落支撑架上，第四反射镜
一种波长激光切换系统

[实用新型]垂直度检测装置及垂直度检测系统-CN201820020765.5有效
发明人：于祥升 -专利权人：青岛镭创光电技术有限公司
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种垂直度检测装置及垂直度检测系统，涉及激光测量技术领域，该垂直度检测装置包括激光器、二维调整架、透明片和扩束镜，透明片的两个平行面的平行度小于设定阈值；激光器和扩束镜同轴设置，透明片设置于激光器和扩束镜之间；待测样品固定在二维调整架上，透明片的一个平行面与待测样品的检测面紧密接触；激光器发出的激光穿透透明片的两个平行面进入扩束镜，经扩束镜扩束放大后射出。本实用新型提供的垂直度检测装置及垂直度检测系统，可以简化操作过程，缩短检测时间，提高检测效率。
扩束镜透明片垂直度检测装置激光器垂直度检测本实用新型二维调整架待测样品平行面激光测量技术简化操作过程同轴设置检测面平行度检测扩束射出穿透平行激光放大

[实用新型]一种高速激光扫描旋切钻孔系统-CN202022329019.4有效
发明人：朱建发;梁飞龙 -专利权人：深圳市捷智造科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：一种高速激光扫描旋切钻孔系统，包括激光发生器，该钻孔系统还包括扩束镜和旋切模块，在激光发生器出光光路上设置一个变倍扩束镜，保持变倍扩束镜和激光光路同心；变倍扩束镜出光方向设置了旋切模块，通过旋切模块的激光射向待加工产品本实用新型在加工PCB/FPC铜箔、PI薄膜时，选用合适的激光器工艺参数，通过扩束镜实现扩束，配备调试好旋切模块的不同孔径偏心光束距离即可实现40‑200um直径微孔的钻孔，由于旋切模块能提供更高的转速
一种高速激光扫描钻孔系统