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- [发明专利]一种加速度传感器及其制作方法-CN201610032044.1有效
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周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华
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广东合微集成电路技术有限公司
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2016-01-18
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2018-10-26
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G01P15/125
- 本发明公开了一种加速度传感器及其制作方法,所述方法包括:在衬底中形成空腔和位于所述空腔上方的与衬底绝缘并依次相互绝缘连接的第一悬空薄膜、第二悬空薄膜和第三悬空薄膜;在所述第一悬空薄膜上形成与之电连接的第一电极,在所述第二悬空薄膜上形成与之电连接的第二电极,在所述第三悬空薄膜上形成与之电连接的第三电极,以及在衬底上方形成与之电连接的第四电极;形成扭转梁结构,所述第一悬空薄膜、第二悬空薄膜和第三悬空薄膜通过所述扭转梁结构与所述衬底连接,且所述第一悬空薄膜和第二悬空薄膜沿所述扭转梁结构对称;所述第一悬空薄膜和第二悬空薄膜与所述衬底形成差分电容式检测结构;所述第三悬空薄膜与所述衬底构成晶圆级检测电容结构,实现了晶圆级自检测功能,避免采用离心机测试
- 一种加速度传感器及其制作方法
- [发明专利]一种悬空结构翘曲的检测方法-CN201911307602.0有效
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康晓旭;钟晓兰
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上海集成电路研发中心有限公司
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2019-12-18
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2021-11-02
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G01B11/16
- 本发明公开了一种悬空结构翘曲的检测方法,包括如下步骤:S01:在衬底上设置结构相同的悬空结构和非悬空结构;S02:在悬空结构的正上方对悬空结构和非悬空结构进行俯视成像,根据成像图形得到微桥的长度CD1和宽度CD2;S03:若微桥的长度CD1小于非悬空结构中微桥的长度CD1’,或者微桥的宽度CD2小于非悬空结构中微桥的宽度CD2’,则表明微桥发生翘曲,进入步骤S04;S04:测量悬空结构中微桥不同位置的焦距,若焦距大于非悬空结构中对应位置的焦距,则该位置发生向下的翘曲;若焦距小于非悬空结构中对应位置的焦距,则该位置发生向上的翘曲。本发明提供的一种悬空结构翘曲的检测方法,可以简单快捷地检测出悬空结构中悬梁臂和微桥的翘曲情况。
- 一种悬空结构检测方法
- [发明专利]一种增材制造方法及增材制造设备-CN201910785414.2在审
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赵仁洁
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2019-08-23
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2020-04-28
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B23K26/342
- 本发明涉及一种增材制造方法及增材制造设备,用于制造具有悬空结构的工件,所述增材制造方法包括以下步骤:建立工件的工艺模型;根据悬空结构的位置和数量,以悬空结构的下表面为分割界面,将所述工艺模型从下而上地拆分为多个部分,使每个分割界面下方部分的工艺模型均包括非悬空结构,且每个分割界面上方部分的工艺模型均包括悬空结构;成形所述非悬空结构;在已成形的所述非悬空结构的上设置基材并在所述基材上进行增材制造以形成所述悬空结构。本发明的优点在于,通过在已成形的非悬空结构上设置基材,以该基材作为工件的一部分,同时所述基材还作为成形悬空结构时的支撑基体,从而简化了具有悬空结构的工件的成形步骤。
- 一种制造方法设备
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