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[发明专利]在钨材料表面制备微纳结构的方法和表面具有微纳结构的钨材料及其应用-CN201910495103.2有效
发明人：马玉田;刘俊标;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2019-06-10 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C23F4/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种在钨材料表面制备微纳结构的方法和表面具有微纳结构的钨材料及其应用，属于材料表面微结构技术领域。本发明提供的在钨材料表面制备微纳结构的方法，包括以下步骤：在真空条件下，采用氦离子显微镜在钨材料的表面进行第一离子刻蚀，得到刻蚀微区；在真空条件下，采用氦离子显微镜对所述刻蚀微区进行第二离子刻蚀，在所述刻蚀微区内形成纳米条纹，在钨材料表面得到微纳结构。本发明提供的制备方法在真空条件下操作，不易受污染；氦离子显微镜具有超高精度的多功能的加工能力，采用氦离子显微镜进行制备的微纳结构精确高；能够实现对微纳结构的定量控制；而且工艺简单、成本低。
材料表面制备结构方法具有及其应用

[发明专利]微纳光纤微型实验结构及其制作方法和测量仪-CN201410241197.8有效
发明人：靳伟;金娃;宣海锋;汪超 -专利权人：香港理工大学深圳研究院
申请日： 2014-05-30 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及微纳光纤的技术领域，公开了微纳光纤微型实验结构及其制作方法和测量仪，微型实验结构包括单模光纤以及毛细玻璃直管，毛细玻璃直管的两端分别具有端口；单模光纤的中间部位具有拉制的微纳光纤，单模光纤穿设在毛细玻璃直管中，且与毛细玻璃直管固定连接，整个微纳光纤置于毛细玻璃直管内，且呈悬空布置。微纳光纤整个置于毛细玻璃直管内，且悬空布置，在毛细玻璃直管的保护下，保护微纳光纤不会受污染，避免外界的灰尘及水蒸气等接触微纳光纤，不会影响微纳光纤的光学性质，其光学性能不会随着时间快速的消退，易于进行进一步加工，实现微纳光纤的长期，稳定的实际应用，并且易于与其它光纤器件兼容。
光纤微型实验结构及其制作方法测量仪

[发明专利]一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法-CN201710027272.4有效
发明人：曹宇;何安;薛伟;刘文文;杨焕;孙轲;赵秀菊 -专利权人：温州大学激光与光电智能制造研究院
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于润湿性调控的微纳自组装结构制备方法，包括如下步骤通过激光填充刻蚀在基底表面的微纳自组装结构图形内部制备出具有微纳粗糙结构的微纳自组装结构图形；将基底表面用N‑异丙基丙烯酰胺薄膜改性；将第一步中未填充扫描过的区域，采用脉冲激光束扫描抛光工艺，进行填充抛光，使得被扫描区域的N‑异丙基丙烯酰胺薄膜被烧蚀而完全去除且其表面粗糙度小于激光填充刻蚀所获得的微纳粗糙结构的表面粗糙度，从而制备出一种自定义图形化的微纳自组装结构相比传统基于IC工艺的微纳自组装结构制备工艺，本发明所述的方法具有步骤简单、工艺成本低、效率高的优点，尤其适合于单件/小批量、自定义的微纳自组装结构样品制备。
一种基于润湿调控组装结构制备方法

[发明专利]一种基于微纳光纤的空间磁场传感器及其制作方法-CN201611072437.1有效
发明人：李仙丽 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G01R33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微纳光纤的空间磁场传感器及其制作方法，该基于微纳光纤的空间磁场传感器至少包括：微纳光纤（1）和磁光玻璃薄片（2），所述的微纳光纤（1）由单模光纤（4）通过熔融拉锥工艺制成两端直径不变，中间为微纳量级的腰区结构，将制的中间为微纳光纤（1）的腰区与磁光玻璃薄片（2）通过光学胶（3）黏贴制成波导耦合结构。本发明的结构紧凑、体积微小、无光路耦合环节，同时还具有较高磁场测量灵敏度。
一种基于光纤空间磁场传感器及其制作方法

[发明专利]一种高深宽比微纳复合结构制作方法-CN201210169057.5有效
发明人：马志波;姜澄宇;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高深宽比微纳复合结构制作方法，属于微纳电子机械系统加工领域。本发明通过先制作微米结构后制作纳米结构的方法实现有序可控高深宽比微纳复合结构制作。以金属层作为纳米结构刻蚀掩膜，工艺过程中首先将纳米结构图形转移到金属层上，再以光刻胶为掩膜制作微米结构，最后以金属层为掩膜制作纳米结构，通过刻蚀掩膜与刻蚀材料的高选择比以及先制作微米结构后制作纳米结构的顺序，实现高深宽比的微纳复合结构制作。工艺过程简单，易于实现微纳结构集成，将广泛应用于仿生微纳复合结构的制作以及超疏水结构的制作中。
一种高深复合结构制作方法

[发明专利]具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器及其制备-CN202011488706.9有效
发明人：许晓斌;叶子龙;胡焱;徐秀真;方明赫;熊煜婷;吉振凯;王家宝;严文远 -专利权人：同济大学
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H10K30/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器及其制备，制备方法包括以下步骤：1)制备具有沟槽阵列微纳结构的硅模板；2)采用热压印方式将硅模板上的沟槽阵列微纳结构转移至柔性基底上；3)在柔性基底上制备钙钛矿微纳单晶；4)在柔性基底的钙钛矿微纳单晶上磁控溅射Cu电极，即得到具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器。
具有沟槽阵列结构微纳单晶柔性光电探测器及其制备

[发明专利]一种基于激光直写的微纳区域液晶定向的方法及其系统-CN201410108057.3有效
发明人：张心正;许京军;李威;伊瑞娜;崔伟;石彬;王振华;吴强;孔勇发 -专利权人：南开大学
申请日： 2014-03-19 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光直写的微纳区域液晶定向方法及其系统。本方法利用通过激光直写系统构建微纳结构；微纳结构区域内的液晶分子实现自定向；液晶的定向源于构成微纳结构的聚合物条带侧壁上的精细结构；所述微纳区域的尺寸从微米量级一直到超衍射极限的纳米量级。本发明方法及系统操作简单，不需要使用机械或光诱导的方式在基板上形成定向诱导膜，能在微纳区域内实现液晶的自定向，定向方向可微区域调控，有利于基于液晶器件的小型化和复杂三维液晶结构的定向，可广泛的推广应用。
一种基于激光区域液晶定向方法及其系统

[发明专利]基于仿生银蚁毛发微纳结构的透明辐射制冷薄膜及其制备方法与应用-CN202211357387.7在审
发明人：陈星;洪念成;徐增辉;李响;邹亚男;向阳;李飞;殷术林;王富强;张鑫平 -专利权人：中建中环新能源有限公司;中建中环生态环保科技有限公司;哈尔滨工业大学（威海）
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于仿生银蚁毛发微纳结构的透明辐射制冷薄膜及其制备方法与应用，属于辐射制冷技术领域。为解决现有辐射制冷技术无法兼顾采光和制冷双重需求的问题，本发明提供了一种基于仿生银蚁毛发微纳结构的透明辐射制冷薄膜，包括自上而下设置的仿生银蚁毛发微纳结构层和多层介质薄膜层，所述仿生银蚁毛发微纳结构层由PET材料制备而成，所述仿生银蚁毛发微纳结构层的表面呈阵列分布有锥体微纳结构，所述锥体微纳结构表面呈阵列分布有微球褶皱结构。
基于仿生毛发结构透明辐射制冷薄膜及其制备方法应用

[发明专利]应用微纳沟槽表面结构的叶栅数值模拟与湍流控制方法-CN202111486780.1在审
发明人：王立悦;王聪;孙刚;王舒悦;游波 -专利权人：复旦大学
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明属于发动机流动控制技术领域，具体为一种应用微纳沟槽表面结构的叶栅数值模拟与湍流控制方法。本发明方法包括微纳沟槽表面的叶栅数值模拟和微纳沟槽表面对叶栅流道的湍流控制两个部分。本发明通过对表面近壁区域的大量微观模拟结果，得到由表面微纳沟槽引起的沿周向不同雷诺数区域的速度修正；将这些速度修正单元整合为滑移等效边界条件，并将其施加在叶栅边界，即完成简化的覆盖微纳沟槽的跨尺度数值模拟；通过对模拟所得的流场特征分析，研究表面微纳沟槽结构的湍流控制效果。本发明可以很好地平衡精度和效率，适于工程应用；应用本发明方法进行覆盖微纳沟槽表面结构叶栅的数值模拟，证明微纳沟槽表面的湍流控制作用。
应用沟槽表面结构数值模拟湍流控制方法

[实用新型]一种制备装饰薄膜模具及装饰薄膜-CN201720234838.6有效
发明人：高育龙;亢红伟;洪莘;杨广舟 -专利权人：昇印光电（昆山）股份有限公司
申请日： 2017-03-11 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备装饰薄膜模具及装饰薄膜，其特征在于，包括承载体；光学元件，所述光学元件形成于所述承载体一表面，所述光学元件为凸起结构或凹陷结构；微纳结构，所述微纳结构设于所述光学元件表面，所述微纳结构为凸起结构或凹陷结构本实用新型提供的一种装饰薄膜在光学元件表面设有微纳结构，这样的结构使的该装饰薄膜在观察的时候可以看到很绚丽的光影，也可以看到另一种纹理结构效果；本申请中还公开了一种制备装饰薄膜模具，可以同时制备光学元件以及微纳结构，模具可以是完全采用压印技术来制备光学元件以及微纳结构，也可以采用曝光和压印的方式进行制备，工艺上变的非常简单。
一种制备装饰薄膜模具

[发明专利]一种微纳结构印刷设备、印刷方法及印刷品-CN202010496284.3在审
发明人：吕伟;张研;罗万里;何小虎 -专利权人：深圳劲嘉集团股份有限公司;中丰田光电科技（珠海）有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳结构印刷设备、印刷方法及印刷品。其中，微纳结构印刷设备包括多功能印刷设备、真空蒸镀设备和铸造设备，由多功能印刷设备在基膜上模压镭射图文信息、及印刷图文信息；之后由真空蒸镀设备在基膜的一侧真空蒸镀材料镀层，所述镀层为镀铝层或者镀硫化锌层；由铸造设备在印刷图文信息上模压微纳结构图文，制得微纳结构膜，从而可在印刷品上呈现镭射、微纳立体效果。本发明的微纳结构印刷设备具有印刷速度快、印刷品信息量多、环保、智能化程度高等特点。
一种结构印刷设备方法印刷品

[发明专利]一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置-CN202010942358.1在审
发明人：李文望;王翔 -专利权人：厦门理工学院
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B29C64/295 文献下载
摘要：一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置。涉及微纳制造领域。光源加热组件的灯源为用于加热的线光源。其结构简单，能够在微纳成型过程中有效地进行固化速率调控、优化成型精度、提高立体成型质量，对于改善和优化微纳成型工艺具有积极意义。制备装置借助于光源加热组件，结构简单、成型精度高、制备效率高，能够实现多种复杂微纳结构的快速、准确成型，立体成型效果好。
一种用于三维结构成型光源加热组件制备装置

[实用新型]一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置-CN202021962746.8有效
发明人：李文望;王翔 -专利权人：厦门理工学院
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： B29C64/295 文献下载
摘要：一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置。涉及微纳制造领域。光源加热组件的灯源为用于加热的线光源。其结构简单，能够在微纳成型过程中有效地进行固化速率调控、优化成型精度、提高立体成型质量，对于改善和优化微纳成型工艺具有积极意义。制备装置借助于光源加热组件，结构简单、成型精度高、制备效率高，能够实现多种复杂微纳结构的快速、准确成型，立体成型效果好。
一种用于三维结构成型光源加热组件制备装置

[发明专利]一种新的硅基微纳结构的修饰方法-CN202110769121.2在审
发明人：郑德印;王玮 -专利权人：北京大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅基微纳结构的修饰方法，包括：提供具有微纳结构的重度掺杂硅衬底；对所述重度掺杂硅衬底进行电化学腐蚀，从而在所述微纳结构上形成多孔层；以及用碱性溶液进行清洗，从而去除所述多孔层。本发明方法通过精确控制电化学腐蚀工艺的过程参数，可以对已经成型的硅基微纳结构进行灵活修饰，弥补了常规微纳加工技术无法对微纳结构进行有效修饰的不足。本发明方法为功能表面的制备提供了新的思路，即通过对已经成型的硅基微纳结构进行灵活修饰来制备具有更优性能或者特殊性能的功能表面。
一种硅基微纳结构修饰方法

[发明专利]一种微纳光栅结构的抛光装置及抛光方法-CN202310025247.8在审
发明人：叶青;郑美玲 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微纳光栅结构的抛光装置及抛光方法，工作方法包括以下操作步骤：S1.微纳结构设计；S2.被抛光件标记定位；S3.装夹与位置调整；S4.微纳结构代码输入；S5.抛光。本发明利用磁性柔性流变体与各种微纳光学被抛光件表面高度贴合，实现被抛光件表面微纳结构抛光；同时借助磁流变抛光的去除效率与驻留时间的控制得到更深层的微纳结构；借助磁流变抛光的特殊优势，抛光过程中不会对被抛光件表面产生任何划痕缺陷；完全抛弃传统机械刻划方式，提供一种高效率和高精度的抛光装置工作方法，实现了对任意形貌被抛光件、任意材质被抛光件、任意被抛光件区域进行微纳光学结构抛光。
一种光栅结构抛光装置方法

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