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- [发明专利]真空压差式微加工装置及方法-CN201210060636.6有效
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江朝宗;康禄坤
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海纳微加工股份有限公司
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2012-03-09
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2013-09-18
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B24C5/00
- 本发明为一种真空压差式微加工装置及方法,包含一真空腔、至少一第一、第二压力控制泵、加工移动平台及至少一微加工机构,其中,该真空腔连结第一压力控制泵,以将该真空腔内压力控制于-100托(TORR,mmHg)以下,形成第一压力,该加工移动平台设于该真空腔内,供至少一工件安置及进行该工件至少一轴向方向的移动,该微加工机构设于该真空腔内,该第二压力控制泵连结该微加工机构,以形成第二压力,该第二压力值大于该真空腔的第一压力值,以令该微加工机构内部的微粉粒磨料借第一、第二压力值差,而以高速喷出射向加工移动平台上的工件进行撞击冲蚀微加工。
- 真空式微加工装置方法
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