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[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068595.6有效
发明人： M·伍;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05K3/28 文献下载
摘要：一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。
mems 系统方法

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011023508.5在审
发明人：王桂芹;马修·恩格;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN201980007529.7有效
发明人：王桂芹;刘晓蕾;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011026391.6在审
发明人：王桂芹;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和包括多形态压电致动器的平面外MEMS致动器；以及连接到该平面外MEMS致动器的镜筒组件。
mems 系统

[发明专利]数字驾驶舱显示器-CN202010439623.4在审
发明人： D·霍施勒;J-N·赫尔巴赫;M·哈比卜;M·布劳恩;M·施特劳布 -专利权人：保时捷股份公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B60K35/00 文献下载
摘要：一种用于车辆的数字驾驶舱显示器(1)，其包括：具有多个电子显示元件(3a‑3n)的显示设备，这些电子显示元件以矩阵形式布置并且借助于这些电子显示元件能够使信息可视化；以及控制装置(4)，借助于该控制装置能够控制用于使信息可视化的显示元件，该显示设备(2)具有多个微机电致动器(5a‑5n)，这些微机电致动器与这些显示元件连接并且这些微机电致动器能够由该控制装置选择性地以如下方式控制，使得这些微机电致动器实现这些显示元件在收缩位置与完全展开的位置之间的线性运动，在该收缩位置中这些微机电致动器的纵向伸展尺寸最小，在该完全展开的位置中这些微机电致动器的纵向伸展尺寸最大。
数字驾驶舱显示器

[发明专利]扬声器以及其微机电致动器-CN201811319124.0有效
发明人：蒋铠宇;陈振颐;李帅 -专利权人：美律电子(深圳)有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H04R9/06 文献下载
摘要：一种扬声器包含一振动膜以及一微机电致动组件。微机电致动组件包含一力耦合件与至少一个第一封闭悬臂环，第一封闭悬臂环环绕于力耦合件周围且以多个第一桥接件连接彼此，且力耦合件连接至振动膜。微机电致动组件经施加电压使力耦合件致动振动膜产生轴向振动。
扬声器及其微机电致动器

[发明专利]MEMS致动系统-CN201880081365.8有效
发明人：王桂芹;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。
mems 系统

[发明专利]微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法-CN201710307929.2有效
发明人： A.德赫;M.多夫迈斯特;T.格里勒;U.黑德尼希;M.卡尔滕巴赫尔;U.施密德;M.施奈德 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：在这里讨论了如下方面：微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法。该微机电设备可以包括：衬底；机械耦合至该衬底的隔膜，该隔膜包括用以使隔膜弯曲到两个几何稳定位置之一中的应力区；机械耦合至隔膜的致动器，该致动器包括在隔膜之上的压电层；控制器，其被配置成响应于数字声音输入来提供电控制信号；其中该致动器被配置成接收电控制信号来经由压电层将机械压电力施加于隔膜上，以使隔膜移动来创建声波。
微机设备阵列制造方法以及操作

[发明专利]具有复数面梳状电极的微机电致动器及其制造方法-CN200410039670.0有效
发明人：洪昌黎 -专利权人：先进微系统科技股份有限公司
申请日： 2004-03-12 - 公布日： 2005-09-14 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明是有关一种具有复数面梳状电极的微机电致动器及其制法，而该微机电致动器为一微机电组件，包括一具有梳状电极的可动件，及二具有梳状电极的固定件，且彼此间对齐堆栈但由一绝缘层而电性绝缘；而可动件为复数扭转式枢纽支撑而悬置于一腔体中，使可动件能以该枢纽为转轴而摆动；又可动件的梳状电极与一固定件的梳状电极在一平面上互相交叉，而形成一水平梳状电极驱动致动器；而可动件的梳状电极亦与另一固定件的梳状电极在一垂直面上互相交叉，而形成一垂直梳状电极驱动致动器；由此，该微机电组件为一水平兼垂直的梳状致动器，或一复数面致动器。本发明并包括制造上述梳状致动器的制造方法。
具有复数面梳状电极微机电致动器及其制造方法

[实用新型]微机电致动器、光学快门和电子系统-CN202121455959.6有效
发明人： D·朱斯蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及微机电致动器、光学快门和电子系统。一种微机电致动器，包括主体，该主体具有中心部分和外围部分，中心部分能够耦合到衬底，外围部分当中心部分耦合到衬底时悬挂在衬底上方。微机电致动器包括承载结构和对应的压电致动器。承载结构在该承载结构的顶部处被固定到可变形结构并且横向地界定对应的空腔，每个空腔具有面向主体的中心部分并且在顶部处由膜封闭的横向开口。本实用新型的实施例提供了微机电致动器和光学快门的改进，例如具有小尺寸、在低偏置电压下操作、并且从功耗的观点看是高效的。
微机电致动器光学快门电子系统

[发明专利]校正装置、校正系统与校正方法-CN201110427134.8有效
发明人：黄俊谚;粘金重;张理渊;李振铭;游雅仲 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2011-12-19 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：校正装置、校正系统与校正方法，该校正装置用以校正一辐射计的增益，包括一致动器，用以接收从一控制单元所输出的一校正信号；以及一微机电装置，耦接至致动器，其中致动器根据校正信号，致使微机电装置遮蔽辐射计的一天线，使得辐射计根据来自微机电装置的一等效辐射温度产生一环境信号，以便控制单元根据环境信号对辐射计的增益进行校正。
校正装置系统方法

[发明专利]微机电挡片及其制备方法、微机电挡片组件、图像传感器-CN202211217943.0在审
发明人：蒋康力;丁金玲;刘建华 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H04N23/65 文献下载
摘要：本发明提供一种微机电挡片及其制作方法、微机电挡片组件及其制作方法、图像传感器及其制备方法，涉及图像设备领域，用于降低微机电挡片的功耗。微机电挡片包括微机电结构图案。微机电结构图案包括具有开口的支撑结构图案、遮挡部分开口的挡片结构图案、以及连接支撑结构图案与挡片结构图案之间的致动结构图案；挡片结构图案包括两个挡片；微机电挡片具有第一工作模式和第二工作模式；在微机电挡片处于第一工作模式的情况下，致动结构图案带动两个挡片相对移动，以使两个挡片之间有间隔；在微机电挡片处于第二工作模式的情况下，致动结构图案带动两个挡片相对移动，以使两个挡片之间无间隔。微机电挡片用于控制红外辐射信号的透过。
微机电挡片及其制备方法组件图像传感器

[发明专利]微机电系统器件及其封装结构-CN202210661976.8在审
发明人：雷永庆;彭瑞钦 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种微机电系统器件及其封装结构，微机电系统器件包括基衬底、盖衬底以及器件层，所述盖衬底与所述基衬底对应间隔设置，所述器件层设于所述基衬底和所述盖衬底之间；所述器件层包括相互连接的连接部和致动部，所述连接部环绕所述致动部设置，且所述连接部分别与所述基衬底和所述盖衬底固定连接，所述致动部与所述基衬底电性耦合连接，所述致动部与所述盖衬底之间具有间隙。本发明的微机电系统器件通过在致动部与盖衬底之间设置间隙，以使得盖衬底与致动部之间无相互作用力，从而使得微机电系统器件的内部应力较小，保证了微机电系统器件的结构和功能。
微机系统器件及其封装结构

[发明专利]压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备-CN202311029811.X在审
发明人： D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开涉及压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备。微机电致动器装置包括固定结构和移动结构。移动结构包括第一可变形带、第二可变形带和第三可变形带，均在第一可变形带的相对侧上延伸，每个带均承载压电致动器。
压电微机电致动器装置集成设备

[发明专利]压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备-CN201811430201.X有效
发明人： D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开涉及压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备。微机电致动器装置包括固定结构和移动结构。移动结构包括第一可变形带、第二可变形带和第三可变形带，均在第一可变形带的相对侧上延伸，每个带均承载压电致动器。
压电微机电致动器装置集成设备

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