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[实用新型]微动开关、微动开关装配结构和断路器-CN202121327468.3有效
发明人：杨安;顾斌斌;卢科军 -专利权人：浙江正泰电器股份有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01H23/04 文献下载
摘要：微动开关、微动开关装配结构和断路器，微动开关装配结构和断路器包括本实用新型的微动开关，所述微动开关包括伸出外壳外的引脚，还包括设置在外壳上的至少一个定位凸台，用于与线路板上的定位孔或定位槽进行定位，所述引脚的自由端与定位凸台均凸出位于外壳的同一侧面；通过定位凸台与线路板的定位孔进行定位配合，保证进行大批量机器焊接时，微动开关不会从线路板上脱落，以及在焊接的同时可以对微动开关进行可靠、稳定的定位。
微动开关装配结构断路器

[发明专利]一种具有永磁重力支撑结构的微动台-CN201210434531.2无效
发明人：张鸣;朱煜;刘召;许玉洁;李玉洁;田丽;张利;杨开明;徐登峰;秦慧超;王平安;尹文生;胡金;穆海华 -专利权人：清华大学
申请日： 2012-11-02 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定部分是空心圆柱永磁体，其空心圆柱永磁体沿轴向充磁下底面为
一种具有永磁重力支撑结构微动

[发明专利]阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台-CN201510312707.0在审
发明人：白有盾;杨志军;陈新;陈新度;高健;贺云波;陈云;陈超然 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：阻尼弹片式刚度频率可调微运动平台，包括基座、弹片组、外框架、驱动器、工作平台、张紧力调节机构和微位移传感器；所述基座固定于底板，所述弹片组设于所述微动工作台的两侧，且所述弹片的长度方向垂直于所述微动工作台的运动方向，并将所述微动工作台固定于所述基座内；所述微动工作台在进给方向设有位移传感器，用于位移精密检测；同时在弹片上附设阻尼材料，使微动平台具有一定的阻尼，使微动平台在共振点也不会产生无穷的振幅；通过调节弹片的张紧力来调节机构的刚度和固有频率，满足不同工况的要求，并通过设置阻尼器，实现微动平台靠近共振区域时振幅仍然可控。
阻尼弹片刚度频率可调运动平台

[发明专利]一种电磁驱动微动工作台-CN201610568906.2在审
发明人：李杨 -专利权人：苏州誉衡昌精密机械有限公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种电磁驱动微动工作台，包括微动工作台，微动工作台底部的四角均安装有垂直向下的片簧，微动工作台的端部安装有强磁体，微动工作台的一侧设置滑动基座，滑动基座上设置有滑轨，滑轨上设置有刻度，滑轨内卡接有电磁铁本发明通过调整电磁铁的磁力输出，对微动工作台的位置进行吸附微调，以便调整微动工作台上的工件位置，便于显微镜进行观察，无需操作工件，使用方便，结构简单，容易实现，具有良好的应用前景。
一种电磁驱动微动工作台

[实用新型]微动试验装置-CN201820859270.1有效
发明人：袁新璐;任平弟;唐旭旺;张晓宇;蔡振兵;魏驰翔 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01N19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及微动摩擦试验领域，旨在解决现有的微动试验装置不能很好地模拟微动摩擦或参数无法精确测量的问题，提供微动试验装置，其包括：机架和样品台，样品台滑动配合于机架；微动装置包括微动发生器和摩擦件；微动发生器被构造成传动连接摩擦件并能够带动摩擦件在样品的表面做往复微动摩擦运动；荷载施加装置被构造成对应于摩擦件，并能够将设定的压荷载通过摩擦件施加于试验样品的表面，以产生摩擦件和试验样品之间的摩擦力；摩擦力测量装置；摩擦力测量装置配合连接于样品台，并能够测量摩擦件和试验样品之间的摩擦力本实用新型的有益效果是本能够实现模拟微动摩擦情形，获得的受微动摩擦损伤的试验样品用于微动摩擦损伤机制的研究。
微动摩擦件试验样品试验装置样品台摩擦力测量装置本实用新型摩擦损伤发生器摩擦测量荷载施加装置传动连接滑动配合摩擦试验摩擦运动配合连接微动装置荷载施加研究

[发明专利]载置台装置、光刻装置以及物品制造方法-CN202010964290.7在审
发明人：栗原孝史 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：[课题]提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。[解决方法]载置台装置具有：粗动载置台；微动载置台；电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上对所述微动载置台提供推力；以及控制部，控制所述电磁致动器，所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置
载置台装置光刻以及物品制造方法

[实用新型]一种钢丝微动摩擦磨损试验机-CN201220346145.3有效
发明人：运向勇;潘海宁;王保卫;尹建利;贺习福 -专利权人：深圳市特种设备安全检验研究院
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： G01N3/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钢丝微动摩擦磨损试验机，包括底板及机架，钢丝微动摩擦磨损试验机还包括下工作台、上工作台、微动驱动机构和加载机构；所述上工作台和下工作台分别固定有试样钢丝，两个所述试样钢丝接触；所述微动驱动机构设置有用于检测所述下工作台运动位移的位移传感器，所述加载机构设置有用于检测所述上工作台承受的压力的压力传感器，所述机架上固定有拉压传感器，所述拉压传感器连接所述上工作台；所述钢丝微动摩擦磨损试验机还设置有用于分别对所述微动驱动机构与所述加载机构进行无级控制并接收所述位移传感器本实用新型的钢丝微动摩擦磨损试验机结构简单、可以进行无级控制。
一种钢丝微动摩擦磨损试验

[发明专利]一种光刻机硅片台双台交换系统-CN200910131505.0有效
发明人：朱煜;张鸣;汪劲松;田丽;徐登峰;尹文生;段广洪;胡金春 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-04-03 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，每个硅片台各由一个六自由度微动台承载，硅片台和六自由度微动台构成一个硅片台组，两个硅片台组设置在同一长方形的基台上在基台每边分别设有一组双自由度驱动单元，两个硅片台组通过气浮轴承悬浮在基台上表面；硅片台组的六自由度微动台结构分上下两层，可实现6自由度控制，基台长边的双自由度驱动单元与六自由度微动台外壳连接，驱动整个硅片台组在水平面上运动，基台短边的双自由度驱动单元与六自由度微动台上层定子线圈骨架连接，驱动六自由度微动台上层定子线圈在水平面上运动。本发明避免了因硅片台交换采用对接导轨所带来的要求极高的加工和装配精度，以及需增加对接辅助装置等缺陷，大大简化了系统结构。
一种光刻硅片台双台交换系统

[发明专利]一种高压直流继电器微动开关安装结构-CN201811553042.2在审
发明人：周吉自;何敏杰;胡东奇;虞瑞晨 -专利权人：浙江宏舟新能源科技有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01H50/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高压直流继电器微动开关安装结构，包括高压直流继电器的内支撑罩，该内支撑罩外部设有微动开关的支撑台，该支撑台设有可供微动开关的针脚向上穿过的针脚孔；所述支撑台底面设有两限位件，该两限位件相对设置，并允许微动开关向上装入该两限位件之间；还包括固定件，该固定件设有可与微动开关侧面设置的定位孔插接配合的定位凸部，该固定件与两限位件相连接。本发明采用所述两限位件、固定件对微动开关进行安装限位，不仅安装便捷，不会破坏磁钢，内支撑罩内不会产生焊渣、松香、塑料屑等异物，还使微动开关安装非常牢靠，不存在微动开关受力下坠的风险。
微动开关限位件固定件继电器高压直流内支撑安装结构支撑台支撑台底面针脚安装限位侧面设置插接配合定位凸部相对设置松香定位孔塑料屑针脚孔下坠异物磁钢焊渣受力装入穿过外部

[发明专利]一种压力机移动台体感应式夹紧机构-CN201310451807.2有效
发明人：李彬;靳栩彬;闵建成;李鹏德 -专利权人：江苏省徐州锻压机床厂集团有限公司
申请日： 2013-09-27 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： B21J13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力机移动台体感应式夹紧机构，包括夹紧结构，所述夹紧结构包括活塞杆（5）、活塞（28）、上缸盖（2）、下缸盖（21）以及缸体（27）；还包括微动开关（17）、支架（16）和PLC；微动开关固定在支架上，支架用螺钉（15）固定在下缸盖（21）上，微动开关触头（18）顶在活塞杆下端的凹槽处，微动开关通过电线与PLC连接。本发明在下缸盖下侧安装有微动开关，微动开关触头顶在活塞杆下端的凹槽中，活塞杆只要向上移动，微动开关就能够迅速检测到，从而判断移动台体是否被夹紧，信号通过与微动开关连接的电线与PLC连接并传输到触摸屏上，操作手从电器触摸屏上就能了解移动台体的状态。
一种压力机移动感应夹紧机构

[实用新型]一种高压直流继电器微动开关安装结构-CN201822132048.4有效
发明人：周吉自;何敏杰;胡东奇;虞瑞晨 -专利权人：浙江宏舟新能源科技有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01H50/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高压直流继电器微动开关安装结构，包括高压直流继电器的内支撑罩，该内支撑罩外部设有微动开关的支撑台，该支撑台设有可供微动开关的针脚向上穿过的针脚孔；所述支撑台底面设有两限位件，该两限位件相对设置，并允许微动开关向上装入该两限位件之间；还包括固定件，该固定件设有可与微动开关侧面设置的定位孔插接配合的定位凸部，该固定件与两限位件相连接。本实用新型采用所述两限位件、固定件对微动开关进行安装限位，不仅安装便捷，不会破坏磁钢，内支撑罩内不会产生焊渣、松香、塑料屑等异物，还使微动开关安装非常牢靠，不存在微动开关受力下坠的风险。
微动开关限位件固定件继电器高压直流内支撑本实用新型安装结构支撑台支撑台底面针脚安装限位侧面设置插接配合定位凸部相对设置松香定位孔塑料屑针脚孔下坠异物磁钢焊渣受力装入穿过外部

[发明专利]一种带升降真空爪的六自由度微动台-CN201310239699.2有效
发明人：张鸣;朱煜;刘召;成荣;杨开明;徐登峰;张利;赵彦坡;秦慧超;胡清平;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件本发明与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该六自由度微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
一种升降真空自由度微动

[实用新型]一种带升降真空爪的六自由度微动台-CN201320346617.X有效
发明人：张鸣;朱煜;刘召;成荣;杨开明;徐登峰;张利;赵彦坡;秦慧超;胡清平;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件本实用新型与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
一种升降真空自由度微动

[实用新型]微动升降台-CN201320312037.9有效
发明人：江志忠 -专利权人：江志忠
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： B23B47/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种微动升降台，主要包括有工作枱、机座以及传动机构，该工作枱安装于该机座上，两者之间具有导引单元使工作枱能平稳地升降，该工作枱底部具有升降坡块，该传动机构安装于该机座处，包括有螺杆、第一滑块
微动升降台

[实用新型]一种微动开关的固定结构-CN201821961865.4有效
发明人：植秀俊;廖波;黎润祥 -专利权人：广东格兰仕集团有限公司;广东格兰仕微波生活电器制造有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： H01H9/02 文献下载
摘要：一种微动开关的固定结构，包括安装支架和微动开关，微动开关装配于安装支架上，微动开关上有相互对立的第一侧面、第二侧面和限位孔；安装支架上设有限位轴柱、第一限位卡钩和具有一定弹性的限位凸台；微动开关组装时，限位轴柱可转动的插设于微动开关上的限位孔内，第一限位卡钩限位作用于第一侧面上，且第一限位卡钩上部的爪部卡扣作用于微动开关的上表面，限位凸台限位作用于第二侧面上。本实用新型中的微动开关通过第一限位卡钩和限位凸台和/或第二限位卡钩即可完成稳固可靠的安装；限位轴柱、第一限位卡钩和限位凸台三者的位置布局合理，保证微动开关三点受力，确保安装稳固可靠；本固定结构简单合理、
微动开关限位卡钩限位凸台安装支架固定结构侧面限位轴柱限位作用限位孔稳固本实用新型位置布局弹性的防呆性可转动上表面插设拆装卡扣受力轴柱爪部装配组装对立保证