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[发明专利]基于齐次坐标方法的微动台动态可靠性分析方法-CN201410820168.7在审
发明人：黄洪钟;付国忠;刘宇;李彦锋;米金华;罗大双;张龙龙;杨圆鉴;彭卫文 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： G06F19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于齐次坐标方法的微动台动态可靠性分析方法；其包括以下步骤：建立微动台几何模型，建立微动台运动误差模型，建立微动台运动可靠性模型并计算运动可靠度，微动台动态可靠度分析。本发明以微动台作为研究对象，通过运动解析法分析其运动方案，建立微动台几何模型；再通过齐次坐标方法建立其运动误差模型；最后利用Monte-Carlo方法计算微动台运动可靠度并分析其驱动电机原始误差均值与各方向动态精度可靠度的关系；在基于微动台动态精度可靠性模型的非线性和精度要求较高的情况下，实现微动台动态可靠性分析。
基于坐标方法微动动态可靠性分析

[实用新型]一种微动台、工件台和光刻装置-CN201820928559.4有效
发明人：宋光辉;魏银雷;宋兴龙;张飞;廖飞红;许伍 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种微动台、工件台和光刻装置，其中微动台包括微动盘，设置于微动盘一侧的电机，以及冷却装置；冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管设置于微动盘上。本实用新型实施例实现了对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。
微动盘微动台本实用新型光刻装置冷却装置工件台水冷管散热电机

[发明专利]一种微动台刚度测量装置及其刚度测量方法-CN201510032284.7有效
发明人：赵荣丽;陈新;李克天;陈新度;刘强;王素娟 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2015-01-22 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： G01N3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种微动台刚度测量装置，用于测量微动台的刚度，微动台包括方形的微动平台、静态框架、柔性铰链，微动台刚度测量装置包括隔震固定平台、与隔震固定平台和静态框架均固定连接的滑轮支架、安装于滑轮支架的定滑轮、有间隙地穿过静态框架预留的通孔并连接于微动平台的平行于微动平台的运动方向的牵引轴、与牵引轴尾端连接并绕过定滑轮的悬空牵引组件，微动平台设有移动标，微动台刚度测量装置还包括可探测移动标的位移采集器。该装置安装方便、操作简单，具有通用性并且施加的力不随微动台的移动而变化使该装置具有高精度。本发明还公开了一种使用上述微动台刚度测量装置对微动台直接施力进行刚度测量的方法。
一种微动刚度测量装置及其测量方法

[发明专利]一种超薄3自由度微动工作台-CN200710111591.X有效
发明人：朱煜;张鸣;李广;尹文生;徐登峰 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-06-22 - 公布日： 2007-11-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种超薄3自由度微动工作台，属于超精密微动工作台领域。本发明由微动台基座，微动台动子以及微动台定子组成，含有3组电磁力驱动单元。3组驱动单元的线圈嵌入单一的线圈骨架中，组成微动台定子；微动台动子包含两部分，分别为动子下滑盖和动子上滑盖，两者固定联接，并通过气浮或磁浮轴承悬浮在微动台基座之上。本发明整体结构简单、紧凑，微动台动子惯量小，重心低，具备实现高速、高加速的可能。该微动工作台采用电磁力直接驱动，致使微动台在运动方向不存在机械摩擦，无阻尼，具有较高的位移分辨率。
一种超薄自由度微动工作台

[发明专利]一种无接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法-CN201210180140.2有效
发明人：杨开明;朱煜;李鑫;苏哲欣;尹文生;胡金春;张鸣;徐登峰;穆海华;余东东;崔乐卿 -专利权人：清华大学
申请日： 2012-06-01 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种无接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法，该定位装置包括一个微动台和对称布置在微动台两侧的两个粗动台，微动台利用音圈电机悬浮在两个粗动台上方，各粗动台之间、各粗动台与微动台之间无机械连接。微动台能够实现六自由度运动，两个粗动台沿Y轴方向运动。沿Y轴方向运动的控制方法中，以激光尺信号为微动台沿Y轴方向位置反馈，利用音圈电机驱动实现微动台沿Y轴方向运动。以电涡流传感器信号为粗动台与微动台之间沿Y轴方向位置偏差，以该偏差为控制器反馈实现粗动台与微动台沿Y轴方向的同步运动。
一种接触式粗精动叠层定位系统及其运动控制方法

[发明专利]一种宏微复合平台耦合误差消除方法-CN201910744790.7有效
发明人：高健;谭令威;张金迪;张揽宇;钟永彬 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-08-13 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明公开一种宏微复合平台耦合误差消除方法，检测宏动台的宏动位移误差；判断宏动位移误差是否在宏动误差阈值范围内，若判断结果为是，则根据宏动位移误差确定微动台的微动补偿位移，也即微动台应移动的距离，以弥补宏动台的误差；根据微动补偿位移确定微动台对宏动台的微动反作用力；根据微动反作用力，宏动驱动器对宏动台同时施加方向相反的宏动补偿作用力。在对微动台施加位移作用力的同时，对宏动台施加方向相反的反作用力，以抵消微动台对宏动台的作用力，宏动台基本不会因微动的作用力产生位移，使位移控制更加精准。
一种复合平台耦合误差消除方法

[发明专利]基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法-CN201510474801.6有效
发明人：刘杨;陈震宇;付雪微;陈兴林 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差它用于微动台的机械参数求取。
基于 compact differential evolution 算法光刻机掩模台微动

[实用新型]一种微动台刚度测量装置-CN201520044705.3有效
发明人：赵荣丽;陈新;李克天;陈新度;刘强;王素娟 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2015-01-22 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G01N3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微动台刚度测量装置，用于测量微动台的刚度，微动台包括方形的微动平台、静态框架、柔性铰链，微动台刚度测量装置包括隔震固定平台、与隔震固定平台和静态框架均固定连接的滑轮支架、安装于滑轮支架的定滑轮、有间隙地穿过静态框架预留的通孔并连接于微动平台的平行于微动平台的运动方向的牵引轴、与牵引轴尾端连接并绕过定滑轮的悬空牵引组件，微动平台设有移动标，微动台刚度测量装置还包括可探测移动标的位移采集器。该装置安装方便、操作简单，具有通用性并且施加的力不随微动台的移动而变化使该装置具有高精度。
一种微动刚度测量装置

[发明专利]一种多自由度宏微混合的精密运动台-CN202111110623.0在审
发明人：吴剑威;王继尧;郑健;王辉;李昌其;赵鹏越;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动台在Z向上做精密移动，提高了工件台在Z向上的精密运动控制，满足光刻机在微动台移动中的精度需求
一种自由度混合精密运动

[发明专利]基于CompactParticleSwarmOptimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法-CN201510474805.4有效
发明人：刘杨;陈震宇;付雪微 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤步骤一根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二步骤二给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差它用于微动台的机械参数求取。
基于 compact particle swarm optimization 算法光刻机掩模台

[实用新型]一种电化学加工装置-CN201620838641.9有效
发明人：钟博文 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：电解槽以及朝向电解槽的加工电极；所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台，以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台，所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台，所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台，以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台，所述X向微动平台、Y向微动平台与Z向微动平台均包括台体和设置在台体内的动台体，所述动台体的各外侧壁与所述台体的各内侧壁之间均连接有柔性铰链，所述台体上连接有驱动所述动台体直线微动的压电陶瓷。
一种电化学加工装置

[发明专利]微动台系统-CN202310848963.6在审
发明人：唐艳文;袁嘉欣;梁冰 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种微动台系统，包括：移动模块，移动模块包括底座和移动驱动部，移动驱动部安装在底座上；旋转模块，旋转模块包括旋转驱动部、旋转座和安装座，旋转座可转动地设置在安装座上，移动驱动部与安装座驱动连接通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中的微动台的定位精度较差的技术问题。
微动系统

[发明专利]解耦机构及使用所述解耦机构的曝光台-CN200910200946.1有效
发明人：吴立伟;郑乐平 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-12-25 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种实现粗动台与微动台的Rz向旋转解耦的解耦机构，所述解耦机构在所述粗动台与所述微动台之间形成浮动连接。根据本发明的解耦机构使得粗动台和微动台之间为浮动轴承连接，从而实现粗微动在Rz向自由度的完全解耦。
机构使用述解耦曝光

[实用新型]一种全自动光纤切割刀-CN201520931705.5有效
发明人：赵博阳 -专利权人：山东天瑞光电技术有限公司
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： G02B6/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动光纤切割刀，包括控制器，第一电机，第二电机和微动开关；控制器与第一电机、第二电机相连，第一电机与夹具平移台相连，第二电机与切割刀平移台相连；控制器与微动开关相连，微动开关包括第一微动开关、第二微动开关和第三微动开关；第一微动开关、第二微动开关分别设置在夹具平移台、切割刀平移台的初始位置处，第三微动开关设置在夹具台上。
一种全自动光纤切割

[实用新型]一种电动修枝机双微动开关装置-CN201420667903.0有效
发明人：马永兴;霍小辉;覃荣聂;李剑波;陈干 -专利权人：常州格力博有限公司
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： H01H13/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电动修枝机双微动开关装置，包括开关压板、第一微动开关和第二微动开关，所述开关压板的前端设置有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面与所述第一微动开关相对应，所述第二台阶面与所述第二微动开关相对应，所述第一台阶面表面的最高点与所述第二台阶面表面的最高点的距离为所述第一微动开关启动状态时与所述第二微动开关未启动状态时之间的距离。通过上述方式，本实用新型的电动修枝机双微动开关装置，利用开关压板前端的两个圆弧面按压微动开关上的按键，使微动开关启动，两个微动开关触发具有延迟功能，结合驱动控制板可以达到控制大电流的作用，该大电流并未作用于微动开关
一种电动修枝微动开关装置

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