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[发明专利]形状测定系统、形状测定装置以及形状测定方法-CN201710086151.7有效
发明人：宫田薰 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2017-02-17 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测定系统、形状测定装置以及形状测定方法。抑制对测定对象物的形状进行测定时的多重反射的影响。形状测定装置(3)具有：图像获取部(321)，其获取多个摄像图像，该多个摄像图像是通过拍摄依次被投射各不相同的多个投影图案的测定对象物而生成的；量化部(322)，其通过将多个摄像图像的各像素的亮度值与规定的基准值进行比较，来生成亮度值的量化值；选择部(323)，其根据多个摄像图像中的同一坐标的多个像素的亮度值与基准值的关系，从与多个摄像图像对应的多个量化值中选择在测定对象物的形状的确定中使用的量化值；以及形状确定部(324)，其根据选择部所选择出的量化值，来确定测定对象物的形状。
形状测定系统装置以及方法

[发明专利]形状测定装置及形状测定方法-CN202010190997.7在审
发明人：高娜;宫武勤 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本发明的课题在于减少外部温度变化的影响从而实现高精度的形状测定。本发明的形状测定装置(40)使沿扫描方向排列设置的三个测头(41)沿扫描方向进行扫描从而测量测定对象物(W)的表面形状，其中，三个测头(41)被绝热部件(43)包围在内。通过在三个测头(41)被绝热材料(43)包围在内的状态下进行测定，即使在各个测头(41)的温度特性互不相同的情况下，也能够抑制外部温度变化的影响，从而能够确保高精度的形状测定。
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN202010744789.7在审
发明人：石井一成;竹村文宏 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测定装置和形状测定方法。形状测定装置(100)是对包括多个已知形状部和多个未知形状部且已知形状部隔着未知形状部周期性地配置的测定对象进行测定的测定装置。该形状测定装置(100)具备具有能够接触测定对象的触头的仿形测头、使仿形测头移动的移动机构、控制移动机构来实施自主仿形测定的自主仿形测定部(143)、运算仿形测头的移动路径的测定路径计算部(23)以及控制移动机构来使仿形测头沿着移动路径移动并实施设计值仿形测定的设计值仿形测定部(142)，其中，测定路径计算部(23)基于由自主仿形测定部(143)测定出的未知形状部的测定结果和已知形状部的设计数据，来计算针对测定对象的移动路径。
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定装置以及形状测定方法-CN201510753225.9有效
发明人：石川修弘;中川英幸 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2015-11-06 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部
形状测定装置以及方法

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN200910145323.9有效
发明人：吉住惠一;土居正照;仓田隆行 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定方法及形状测定装置-CN201310631384.2有效
发明人：土居正照 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2013-12-02 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测定方法及形状测定装置，其使触针沿着测定面平滑地扫描，从而实现高精度且快速的形状测定。重复包括平行移动和正交移动在内的测头(26)的相对于测定面的相对移动(步骤4、5)，该平行移动使触针(20)相对于测定面而向与测定面平行的方向移动指定的距离，该正交移动以在包括触针(20)的位置相对于测头(26)的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量(D_i)的测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值(C)的方式，使测头(26)向根据当前的触针位置(S_i)与过去的触针位置(S_i-1)之差而算出的测定面的法线方向移动。
形状测定方法装置

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN201780012696.1在审
发明人：高桥裕树 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2017-05-29 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：形状测定装置(1)具有：保持架(45)，其对测定对象物W进行保持；传感器(30)，其测定被测定面W1的加压状态下的形状并输出测定值；驱动装置，其使传感器(30)绕中心轴R1旋转；滑轨(20)和杆(21)上移动，并且能够在轴(R2)与中心轴(R1)的交点的两侧范围内移动；XYZ载台，其能够使保持架(45)沿Z轴移动，并且能够使保持架(45)在XY面内移动；以及控制装置(60)，其根据从传感器(30)输出的测定值来计算被测定面
传感器保持架中心轴形状测定装置球心测定面测定对象物加压状态控制装置驱动装置形状测定旋转中心输出垂直的上移动移动滑轨载台

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN201780003819.5在审
发明人：赤木俊夫;今野雄介;日比厚裕;古家顺弘;园田贵之;中崎昭仁 -专利权人：新日铁住金株式会社
申请日： 2017-01-19 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：提供一种形状测定装置，能够在测定对象物的整个面整个宽度上高速地检测微小的粗糙度不均。提供一种形状测定装置，具备：光源，其针对移动的带状体的表面，从带状体的移动方向上游侧倾斜地照射线状光；屏幕，线状光在带状体的表面上的反射光投射于该屏幕；摄像部，其对投射于屏幕的线状光的反射光进行拍摄；以及运算处理部
带状体形状测定装置反射光线状光投射屏幕粗糙度光源表面粗糙度测定对象物运算处理部目标表面形状测定移动方向入射角摄像部射线状整个面光带上游检测拍摄移动

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN201780002621.5在审
发明人：今野雄介;小林尊道;赤木俊夫;日比厚裕;古家顺弘;中崎昭仁 -专利权人：新日铁住金株式会社
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：抑制斑点噪声的产生并更高速且更高精度地测定由金属体构成的带状体的表面形状。本发明所涉及的形状测定装置具备线状光源，其由超发光二极管构成，对所述带状体的表面照射在所述带状体的宽度方向上扩散的线状光；屏幕，其被投射所述带状体的表面上的所述线状光的反射光；面阵摄像机，其对投射在所述屏幕上的所述线状光的反射光进行拍摄；以及运算处理装置，其使用由所述面阵摄像机拍摄到的所述线状光的反射光的摄像图像来计算所述带状体的表面形状，其中，所述线状光源的光谱半宽为20nm以上，并且所述线状光源被配置为所述线状光源的光轴同所述带状体的表面法线方向所形成的角
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN201680030479.0在审
发明人：日比厚裕;今野雄介;赤木俊夫;古家顺弘;黑岩朋广;中崎昭仁 -专利权人：新日铁住金株式会社
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供一种能够更高灵敏度地测定带状体的在宽度方向上的翘曲量的形状测定装置。提供一种形状测定装置，具备光源，其以规定的入射角向移动的带状体的表面照射线状光；屏幕，带状体的表面上的线状光的反射光被投射到该屏幕上；摄像部，其对被投射到屏幕上的线状光的反射光进行拍摄；以及运算处理部，
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定装置及形状测定方法-CN200880011148.8有效
发明人：山田智明 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-03-18 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测定装置及形状测定方法。使狭缝光和被检测物(20)在与狭缝光的狭缝基线方向不同的方向上相对移动的XYZ载物台驱动部(12)；按照狭缝基线方向的每个像素比较各狭缝图像的亮度，按照狭缝基线方向的每个像素选择亮度最适于求出被检测物(20)的形状的狭缝图像，取得用于求出被检测物(20)的形状的狭缝图像数据的狭缝图像选择部(8)；以及利用狭缝光相对于被检测物(20)的相对位置和狭缝图像数据来计算被检测物(20)的形状的形状运算部(9)。
形状测定装置方法

[发明专利]形状测定装置及形状测定方法-CN201580064614.9有效
发明人：植木伸明 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以最小的测定阶数高精度地测定透镜面的整体形状的形状测定装置及形状测定方法。本发明的一方式所涉及的形状测定装置获取按每一个区域测定包括透镜面的面中心的第1区域的形状及一部分与第1区域重合且包括透镜面的外周部的一部分的第2区域的形状而得的形状测定结果。将第2区域的形状测定结果通过以面中心作为中心具有旋转对称性的配置在透镜面配置多个，并对配置有多个的第2区域的形状测定结果实施开口合成处理。对通过开口合成处理得到的形状进行拟合运算，从而运算透镜面的旋转对称成分。对第1区域的形状测定结果进行拟合运算，从而运算透镜面的旋转非对称成分。根据第1运算部及第2运算部的运算结果运算透镜面的整体形状。
透镜形状测定结果运算形状测定装置合成处理形状测定整体形状面中心运算部拟合开口配置旋转对称性旋转非对称区域测定区域重合旋转对称运算结果透镜面外周部阶数

[发明专利]形状测定装置以及形状测定方法-CN201580049986.4有效
发明人：甘中将人;田原和彦;松冈英毅;森冈哲隆;纲木英俊 -专利权人：株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研
申请日： 2015-07-31 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明所涉及的形状测定装置以及形状测定方法分别测定第一距离测定部及第二距离测定部在相向方向上的第一位移及第二位移，基于所述第一距离测定部及第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果，求出用所述测定出的第一位移及第二位移修正过的被测定物沿所述相向方向的厚度来作为被测定物的形状，其中，所述第一距离测定部及第二距离测定部隔着测定对象的所述被测定物互相相向地被配置，分别测定至所述被测定物为止的距离。
形状测定装置以及方法

[发明专利]形状测定装置以及形状测定方法-CN201680036936.7有效
发明人：日比厚裕;今野雄介;古家顺弘;黑岩朋广 -专利权人：日本制铁株式会社
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：即使在输送时发生高度方向的平行移动、绕长度方向轴的旋转以及绕宽度方向轴的旋转这三个干扰中的任一个的情况下，也更准确地测定被测定刚体的表面高度。本发明所涉及的形状测定装置利用形状测定用光切线、第一校正用光切线以及第二校正用光切线，其中，该形状测定用光切线是沿被测定刚体的宽度方向延伸的光切线，用于计算被测定刚体的表面形状，该第一校正用光切线与被测定刚体的长度方向平行且与形状测定用光切线交叉，用于对作用于被测定刚体的干扰的影响进行校正，该第二校正用光切线与被测定刚体的长度方向平行，且与形状测定用光切线交叉，且存在于被测定刚体的与第一校正用光切线不同的宽度方向位置。基于两种校正用光切线来估计形状测定用光切线与校正用光切线的交点处的干扰的大小，对根据形状测定用光切线得到的形状数据进行校正。
形状测定装置以及方法

[发明专利]形状测定装置和形状测定方法-CN201680036376.5有效
发明人：梅村纯;山地宏尚 -专利权人：日本制铁株式会社
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供一种形状测定装置，该形状测定装置在通过光切法来对测定对象物的凹凸形状进行测定时，即使测定对象物与摄像装置之间的距离发生变动，也能够高精度地对测定对象物的形状进行测定。形状测定装置具备：线状光位置检测部，其根据利用摄像装置对由线状光照射装置照射到测定对象物的线状光进行拍摄所得到的摄像图像，来检测线状光的线状光位置；距离运算部，其基于由线状光位置检测部检测出的线状光位置与基准线状光位置之间的距离差、规定的基准距离以及摄像装置的光轴与线状光的出射方向所成的角，来运算从摄像装置至测定对象物的距离，该基准线状光位置是在测定对象物位于与摄像装置相距基准距离的位置时由线状光位置检测部检测出的；焦点调整部，其基于从摄像装置至测定对象物的距离来调整摄像装置的焦点；以及形状运算部，其基于摄像图像来运算测定对象物的形状。
形状测定装置方法

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