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[发明专利]具有经减小聚焦误差灵敏度的光学度量-CN201680009293.7有效
发明人： S·克里许南;G·V·庄;D·Y·王;刘学峰 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-02-10 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本文中呈现用于执行对聚焦误差具有经减小灵敏度的宽带光谱度量的方法及系统。通过将测量光点成像到检测器上以使得晶片表面上的与入射平面对准的方向定向成垂直于检测器表面上的波长色散方向来实现对聚焦位置误差的灵敏度的显著减小。聚焦误差灵敏度的此种减小在不危及测量准确度的情况下实现经减小聚焦准确度及可重复性要求、较快聚焦时间及经减小的对波长误差的灵敏度。在另一方面中，基于受测量目标的本质而调整在垂直于所述入射平面的方向上投影到晶片平面上的照射光场的尺寸以优化所得测量准确度及速度。
具有减小聚焦误差灵敏度光学度量

[发明专利]一种导轨平面周期往复式摆动研磨控制方法、系统及介质-CN201910171755.0有效
发明人：王建敏 -专利权人：湖南大敏尚东精密机械有限公司
申请日： 2019-03-07 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种导轨平面周期往复式摆动研磨控制方法、系统及介质，本发明根据被加工平面导轨的导轨平面度误差h(x)、研磨工具的去除特性通过驻留时间解算和转换获得被加工平面导轨的长度方向上的驻留速度分布v(x)；控制研磨工具沿着被加工平面导轨的宽度方向做等速等距的周期往复摆动，且控制研磨工具沿着被加工平面导轨的长度方向以驻留速度分布v(x)做变速运动进行研磨修正，直至被加工平面导轨的平面误差度满足要求。本发明能够实现平面度误差的修正，实现大长宽比平面导轨的高效无边缘快速加工，解决加工效率低、边缘效应明显、中高频误差严重等问题，提升大长宽比米级尺寸导轨的加工能力。
一种导轨平面周期往复摆动研磨控制方法系统介质

[发明专利]一种用于惯性测量单元的角度编码器安装校准方法-CN202111020529.6有效
发明人：曹潇嵘;赵来先;李迪琪;高爽;刘美玲;吕微;曹振兴 -专利权人：湖南航天机电设备与特种材料研究所
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于惯性测量单元的角度编码器安装校准方法，包括如下步骤：(A)在销轴安装孔或销轴安装槽中安装柱状转动轴；(B)令惯性测量单元台体转动至少一圈，测量安装片表面的平面度误差，且测量柱状转动轴的垂直度误差，若平面度误差不大于平面度误差预设阈值且垂直度误差不大于垂直度误差预设阈值，则执行(D)，否则，执行(C)；(C)调整K1个第一紧固件、K2个第二紧固件旋入或旋出相应安装孔的深度，返回(B)；(D)将柱状转动轴取下
一种用于惯性测量单元角度编码器安装校准方法

[发明专利]环件平面度检测方法-CN202310592419.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;吴浩;厉达 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01B5/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种环件平面度检测方法，属于平面度检测技术领域。环件平面度检测方法包括以下步骤：工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每个凸起部与标准平面度检测面之间，得到凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距；当每个凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件合格；当存在凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件不合格只需将待测的环件放到工装夹具上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。
平面检测方法

[发明专利]具有平面度误差补偿的微机电镜器件-CN202111151326.0在审
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及具有平面度误差补偿的微机电镜器件。微机电镜器件包括半导体材料的支撑框架和半导体材料板。板被连接到支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向。反射层被布置在板的第一区域上。
具有平面误差补偿微机器件

[发明专利]焊脚共平面度误差在线测量仪-CN200610013157.3无效
发明人：樊玉铭 -专利权人：天津大学
申请日： 2006-02-09 - 公布日： 2006-07-26 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明属于精密检测技术与仪器范畴，特别涉及焊脚共平面度误差在线测量仪。为提供用于现实生产中要求对罩焊脚共平面度误差进行在线检测、而且在线检测的速度快，检测精度高、使用方便、结构简单的检测装置，本发明采用的技术方案是，由测量光源、反射镜、光电接收器、测量电路、计算机及处理电路本发明主要用于焊脚共平面度误差在线测量。
焊脚共平面误差在线测量仪

[发明专利]用于提取阀门阀座的面对面垂直度误差的方法-CN201610627341.0在审
发明人：林晔;夏祖林;金亮;刘海芳;叶伟峰;陈鹏飞 -专利权人：北京机电工程研究所
申请日： 2016-08-03 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明实施例公开的一种用于提取阀门阀座的面对面垂直度误差的方法，能够基于阀门的有限元模型的变形数据提取出其阀座平面对于基准平面的垂直度误差。该方法选取阀门变形后的有限元模型中阀座平面上n个点；根据基准面任意选取的三个节点确定阀门变形后基准面π1的平面方程及法向量τ1，计算被测阀座平面上A、B两点确定的向量τ2；计算τ1和τ2确定的平面的法向量τ＝τ1×τ2，τ和A或B确定平面方程π2；计算被测阀座平面上各点到平面π2的距离，将正的最大值和负的最小值的绝对值之和记为f1＝|li|max+|lj|max，得f2,f3,…,fn，最小值作为所求面对面垂直度误差
用于提取阀门面对面垂直误差方法

[发明专利]基于有限元分析提取机械结构平面的平面度误差的方法-CN201310173759.5有效
发明人：王骄阳;林晔;崔卫民;张柁;李航帅;郭伟 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于有限元分析提取机械结构平面的平面度误差的方法，首先运用CAD技术建立阀门的三维实体模型，通过有限元软件对其进行复合工况下的仿真分析，测得变形后阀座平面所有节点的坐标；运用空间解析几何知识，结合一定的评定方法，确定阀座平面的评定基面（也即理想平面）的位置，以使阀座平面所有节点到该评定基面的最大变动量为最小；计算出阀座平面每个节点到评定基面的距离，得出高极点和低极点，最后得出平面度误差。本发明的优点是可在阀门等机械产品的有限元分析的结果中提取出平面度误差，检测其是否满足图纸要求，从而判断出阀门在复合工况下的变形对诸如密封等性能的影响。
基于有限元分析提取机械结构平面误差方法

[发明专利]平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台移动方法及装置-CN201510641040.9在审
发明人：张君安;刘锡尧;刘波;赵晓龙 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2015-09-30 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B23Q1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台移动方法，当高压高速气体在静平面气浮导轨和动平面气浮导轨的接触表面之间高速流过时，产生具有压力的气膜把所述动平面气浮导轨撑起，当气膜厚度h大于两个表面的平面度误差之和时，所述动平面气浮导轨会处于悬浮状态，达到纯气体摩擦；当所述动平面气浮导轨在静平面气浮导轨上移动时，相当于在一个高刚度高平整度的气膜上移动；本发明还公开了一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台，本发明利用气体作为均化介质，以共基面平面气浮导轨运动原理来实现二维X-Y平面内的气体误差均化，更大限度发挥误差均化效应，从而指导实践，大大提高气浮导轨的运行精密度。
平面导轨误差共基面运动平台移动方法装置

[发明专利]一种相对于基准面的平面平行度快速评定方法-CN201910620598.7有效
发明人：裴永琪;黄美发;唐哲敏 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：本发明属于精密计量与计算机应用领域，涉及一种快速、简单的相对于基准平面的平面平行度评定方法，本发明包含以下步骤：步骤1：获取测点集，并根据测点集构造状态元素集、特征行向量集、边界元素集和确定量规位置；步骤用关键点集构造分析矩阵；步骤4：进行秩分析，决定是否继续寻优，并决定寻优策略；步骤5：求解分析矩阵和分析列向量得到寻优方向；步骤6，求解新的关键点,更新测点坐标集和量规的位置，进入下一次循环步骤；步骤7，计算基准平面的平面度；步骤8：比较平面度误差t与给定公差值TD，判断是否合格；步骤9：若平面度合格，计算被测平面的平行度误差值；步骤10：比较平行度误差t’与给定公差值T
一种相对于基准面平面平行快速评定方法

[发明专利]移动操作机的视觉定位方法-CN201510586215.0在审
发明人：王伟;肖伟;李晓琪;邢春龙 -专利权人：中国科学院自动化研究所
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B25J9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种移动操作机的视觉定位方法，该方法至少包括：采用相机进行平面视觉定位，其中，所述平面视觉定位包括两个平移自由度定位和一个旋转自由度定位；采用柔性机构进行深度视觉定位补偿，其中，所述深度视觉定位包括平移自由度定位优选地，所述平面视觉定位包括：通过模板匹配的方式，获取平移自由度误差和旋转自由度误差。通过本发明，至少解决了如何提高移动操作机鲁棒性能的技术问题。
移动操作视觉定位方法

[发明专利]一种基于机器学习的平面运动直线度误差补偿系统及方法-CN201911310623.8有效
发明人：赵荣丽;刘强;严都喜;冷杰武 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于机器学习的平面运动直线度误差补偿系统及方法，直线电机运动控制器用于控制宏动平台沿导轨的方向滑动；驱动器控制电源用于驱动微动台驱动器，微动平台产生与导轨的方向相互垂直的微位移；检测模块用于采集运动平台在导轨上运动的特征值，并将特征值发送到上位机；上位机具有数字化模型，数字化模型为运动平台的数字孪生平台；上位机通过机器学习方法建立误差补偿模型，利用误差补偿模型预测样本补偿数据，然后误差补偿值向驱动器控制电源发出控制指令。本发明通过机器学习来建立误差补偿模型，以对运动平台的直线度误差进行预判，从而对运动平台的平面运动直线度进行补偿，以提高运动平台的平面运动精度。
一种基于机器学习平面运动直线误差补偿系统方法

[发明专利]一种基于8条位移线测量的直线轴几何误差的快速辨识方法-CN202011453330.8有效
发明人：郭俊康;李勰;南凯刚;刘志刚;洪军;贾康 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B23Q17/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于8条位移线测量的直线轴几何误差的快速辨识方法，包括测量沿3条轴线方向的定位误差，沿5条面对角线方向的定位误差。在三个坐标平面内分别进行不同起始顺序的6种测量路径的分步面对角线测量，可以解出直线轴的直线度误差。将直线度误差代入各直线轴的运动误差模型，可以获得俯仰和偏摆误差。在两个坐标平面内进行2种测量路径的分步面对角线测量，可以解出滚转误差。通过在5个平面内进行不同起始顺序的分步面对角线测量，结合沿3条轴线方向的定位误差，辨识出直线轴的其他几何误差，既考虑了转角误差对面对角线误差的影响，同时只需测量沿各光路的定位误差，降低了操作难度，提高了测量效率
一种基于位移测量线轴几何误差快速辨识方法

[发明专利]平面度检测装置-CN201210406709.2无效
发明人：王兴 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2012-10-23 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：一种平面度检测装置，用于检测待测薄片因翘曲变形产生的平面度误差是否超过预设的极限值。所述平面度检测装置包括载物台和滑动设置于载物台上的检测件。所述载物台上设有第一基准平面以承载待测薄片，所述检测件上设有与第一基准平面平行的第二基准平面。所述待测薄片可以选择性地位于第二基准平面远离第一基准平面的一侧和靠近第一基准平面的一侧。所述第二基准平面和第一基准平面之间的距离根据所述极限值、以及待测薄片和第二基准平面之间的位置关系设置，以使待测薄片的平面度误差超过所述极限值时，待测薄片可以随着检测件的移动而被第二基准平面推动。
平面检测装置

[发明专利]一种大尺寸平面度的在位测量方法-CN201410249777.1有效
发明人：李杰;吴时彬;曹学东;朱文;杨杰 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸平面度的在位测量方法，包括步骤如下在被测平面附近布置两站激光跟踪仪，且两站激光跟踪仪之间相对被测平面具有一高度差；对两站激光跟踪仪的系统误差进行自校准；将两站激光跟踪仪位于被测平面附近不同的两位置，并分别测量被测平面上相同被测点的坐标，分别得到两站激光跟踪仪的第一位置坐标数据和第二位置坐标数据；使用第一位置坐标数据对第二位置坐标数据进行误差补偿，得到补偿后的坐标数据；对补偿后的坐标数据进行计算，获得被测平面的平面度。本方法使用一站对另外一站测量数据误差补偿，提升平面度测量精度。本发明测量简单高效且易于实现，尤其对加工过程中大尺寸平面度的在位检测有重要的应用价值。
一种尺寸平面在位测量方法