[发明专利]集合式干法制绒装置及生产线

摘要

本发明提供了一种集合式干法制绒装置，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；前清洗机构与自动化上下料机构的进料端连接；后清洗机构与自动化上下料机构的出料端连接；RIE干法制绒机与自动化上下料机构连接。本发明将前清洗，干法制绒，后清洗整合到一台设备上，中间用自动化硅片上下料和传输，实现自动化，降低生产成本。在此基础上，本发明还提供了一种采用该集合式干法制绒装置的生产线。

主权项

1.一种集合式干法制绒装置，其特征在于，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；所述前清洗机构与所述自动化上下料机构的进料端连接；所述后清洗机构与所述自动化上下料机构的出料端连接；所述RIE干法制绒机与所述自动化上下料机构连接；所述前清洗机构包括依次连接的插片上料机、花篮自动回转机构、自动化清洗机和花篮翻转机械臂，所述花篮翻转机械臂与所述自动化上下料机构的进料端连接；所述后清洗机构包括依次连接的花篮翻转机械臂、自动化清洗机、自动叠片机和花篮自动回转机构，所述花篮翻转机械臂与所述自动化上下料机构的出料端连接；所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度；所述自动化上下料机构包括上料花篮进出模组、上料花篮升降模组、上料晶片进给模组、上料移载模组、上料载板定位输送模组、升降模组、下料晶片进给模组、下料移载模组和下料载板定位输送模组；所述上料花篮进出模组用于将盛满硅片的花篮放入上料花篮升降模组并将空花篮移出；所述上料花篮升降模组用于将盛满硅片的花篮移动到进花篮位置，满花篮进入，将取走硅片的空花篮移动到出花篮位置，空花篮流出；所述上料晶片进给模组将硅片移动到载板空位对应的位置并导正；所述上料移载模组将硅片移动到载板位置，放硅片；所述上料载板定位输送模组，对载板进行夹紧定位，输送到升降模组；所述升降模组将放好硅片的载板传输到RIE干法制绒机；所述下料载板定位输送模组对RIE干法制绒机制绒后的载板进行夹紧定位，输送载板到所述下料移载模组；所述下料移载模组将载板上的硅片放置到晶片进给流水线上；所述下料晶片进给模组将流水线上的硅片输送到打包流水线上。