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- [发明专利]对向靶材式溅镀装置-CN200580016686.2无效
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门仓贞夫;安福久直
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F·T·S·股份有限公司
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2005-12-13
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2007-05-02
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C23C14/34
- 本发明提供一种对向靶材式溅镀装置，不需使用大型靶材可在实质上实现大型靶材的功能，为可成膜于大面积的基板上，将长方体状框体71的6个侧面71a～71f中的1个71f作为开口的开口侧面；将具备有靶材和设置于其周围、形成垂直于靶材面方向的对向模式磁场，及平行于靶材面方向的磁控模式磁场的永久磁铁的磁场产生装置的一对靶材单元100a及100b，装设于与靶材单元相邻接的开口侧面的两侧对向的侧面；将以遮蔽板72c～72e(71c、72c于正前方未图示)遮蔽其它侧面71c～71e的箱型对向式溅镀部70，在开口侧面安装于真空容器10上；将开口侧面的开口部面对真空容器内，于各靶材单元100a、100b各配置有多个多片的靶材110a
- 靶材式溅镀装置
- [发明专利]滴胶管内壁表面的处理方法-CN202011579364.1在审
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黄平尧
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东莞新科技术研究开发有限公司
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2020-12-28
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2022-07-01
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C23C14/35
- 本发明涉及粘接工具技术领域，公开了一种滴胶管内壁表面的处理方法，包括：将滴胶管放置在磁控溅射装置的反应腔室中；对反应腔室抽真空；向反应腔室内通入惰性气体；通过第一电源向Cr靶施加电力，并对Cr靶进行溅射，以在滴胶管的内壁上形成Cr层；通过第二电源向C靶施加电力，并同时对Cr靶和C靶进行溅射，以在滴胶管的内壁的Cr层上形成CrC层；对反应腔室抽真空；向反应腔室内通入氮气；通过第三电源向Ti靶施加电力，并同时对Ti靶、Cr靶和C靶进行溅射，以在滴胶管的内壁的CrC层上形成由Cr、Ti和DLC组成的复合物层。采用本发明实施例，能够对滴胶管的内壁进行镀膜处理，从而避免粘接过程中胶水在滴胶管的内壁附着。
- 胶管内壁表面处理方法
- [发明专利]靶坯及靶材组件的制造方法-CN201610679308.2有效
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姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;陈勇军
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宁波江丰电子材料股份有限公司
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2016-08-16
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2020-06-16
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C23C14/34
- 本发明提供一种靶坯及靶材组件的制造方法，所述靶坯的制造方法包括：提供AlSc合金锭；对AlSc合金锭进行塑性变形加工，形成初始靶坯；以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理，形成靶坯。本发明以阶梯升温的方式，对初始靶坯进行热处理。由于在升温过程中，难以保证初始靶坯的受热均一性良好，因此通过分多个阶段来进行热处理，在每一次升温后进行保温，使已达到预设温度的部分区域初始靶坯进行保温，使未达到预设温度的部分区域初始靶坯继续进行升温直至达到预设温度，因此完成每一阶段的热处理后，均可以使初始靶坯受热均匀，即可以提高初始靶坯的受热均一性，从而使热处理后靶坯的晶向200含量增加，且所述靶坯的晶向均匀、晶粒细小。
- 组件制造方法
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