专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]不同焦点平面-CN202111522644.3在审
  • B.塔尔纳;B.波瓦扎伊 - EV集团E·索尔纳有限责任公司
  • 2016-12-20 - 2022-03-11 - G03F7/20
  • 本发明关于用于曝光一光敏层之一方法,该光敏层具有一光学系统,在各情况中,至少一光线由至少一光源产生且一曝光图案之像素由至少一微镜装置照明,该至少一微镜装置具有在各情况中具有一镜强度分布的多个微镜,其特征在于为得到曝光图案之一图案强度分布而重迭相邻微镜之镜强度分布发生为曝光图案之各经照明像素之镜强度分布之一总和此外,本发明关于使用一光学系统来曝光一光敏层之一装置,该光学系统具有:至少一光源,至少一微镜装置,其具有多个微镜,其中光学系统依一方式建构,使得为形成曝光图案之一图案强度分布而重迭相邻微镜之镜强度分布发生为曝光图案之各经照明像素之镜强度分布之一总和
  • 不同焦点平面

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