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- [发明专利]基板夹持装置-CN202210319272.2在审
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李相旿
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亚威科股份有限公司
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2022-03-29
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2022-10-18
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H01L21/687
- 本发明涉及一种基板夹持装置，其包括：固定部，结合于用于输送基板的输送框架；夹持部，以能够以第一转动轴为中心转动的方式结合于固定部，并以第一转动轴为中心在将基板固定于输送框架的夹持位置与从夹持位置隔开的解除位置之间转动；限制部，以能够以从第一转动轴隔开的第二转动轴为中心转动的方式结合于夹持部，并以第二转动轴为中心在被固定部支撑的转动限制位置与从固定部隔开的转动允许位置之间转动，其中，当限制部位于转动限制位置时，被固定部支撑，从而阻止夹持部以第一转动轴中心从夹持位置向解除位置转动，而当限制部位于转动允许位置时，从固定部隔开，从而允许夹持部以第一转动轴为中心从夹持位置向解除位置转动。
- 夹持装置
- [发明专利]基板夹持机构-CN200910041511.7无效
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杨明生;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇
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东莞宏威数码机械有限公司
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2009-07-29
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2010-02-24
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H01L21/687
- 本发明的基板夹持机构，包括驱动装置、夹紧装置和固定导向装置，驱动装置包括动力源、设有两个弧形导槽的凸轮及一端连接动力源、另一端连接凸轮的传动轴；夹紧装置包括上、下压板及上、下压条，上、下压板的相应侧面上各安装有安装于两个弧形导槽内的呈圆形的滚子从动件，上压板与下压板之间形成夹持区域，上压条安装于上压板上及下压条安装于下压板上且上、下压条正对设置且分别伸入所述夹持区域内；固定导向装置包括导轨、滑块及安装板，安装板设置于夹持区域外，导轨与滑块可滑动的卡合连接且连接于安装板与上压板和下压板之间基板夹持机构具有传送和翻转基板时操作稳定、结构简单、操作方便等优点。
- 夹持机构
- [实用新型]基板夹持装置-CN200920050424.3无效
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王子彦
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深超光电(深圳)有限公司
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2009-01-19
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2010-07-07
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C03C17/06
- 本实用新型提供一种基板夹持装置，其包括一本体，本体的一端延伸一弧部。一爪部的一端与弧部连接，挡板则位于本体上，另外爪部的上表面设有粗糙部。本实用新型通过上述结构的基板夹持装置，有效延长保养周期(PM Cycle)、减轻制程工程师检测机台的负担以提升工作效率、节省洗净机台的费用以及更换零件的成本、能避免玻璃基板因异常放电(Arcing)造成报废的情况、避免玻璃基板因异常放电(Aring)而提前进行保养(PM)，有效降低制造成本。
- 夹持装置
- [实用新型]夹持翻转装置-CN200920274203.4无效
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杨明生;刘惠森;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇
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东莞宏威数码机械有限公司
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2009-12-01
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2010-09-22
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H01L21/687
- 本实用新型提供了一种夹持翻转装置，所述夹持翻转装置包括夹持驱动机构、翻转驱动机构及基板夹持机构，所述夹持驱动机构和所述翻转驱动机构分别与所述基板夹持机构连接，所述基板夹持机构具有夹紧和松开基板的结构，所述夹持驱动机构用于驱动所述基板夹持机构对放置于所述基板夹持机构中的基板进行夹紧和松开操作，所述翻转驱动机构用于驱动所述基板夹持机构翻转运动，从而使放置于所述基板夹持机构中的基板翻转运动。因此，所述夹持翻转装置可实现对基板的全方位的夹持、传送和翻转，并在基板的翻转过程中能够保持基板的稳定，且结构简单、对基板的保护性能好。
- 夹持翻转装置
- [实用新型]弯曲测试治具-CN202020443321.X有效
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胡正彩
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上海和辉光电股份有限公司
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2020-03-31
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2020-12-01
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G01N3/20
- 本实用新型公开了一种弯曲测试治具，包括：移动下夹持机构，柔性待测产品的第一非弯折区固定在移动下夹持机构上，在移动下夹持机构带动下作直线运动；固定上夹持机构，固定上夹持机构包括夹持区和位于夹持区一侧的固定区，固定上夹持机构包括固定基板和夹持基板，固定基板位于夹持基板远离移动下夹持机构的一侧，固定基板和夹持基板从夹持区延伸到固定区；固定区设置有第一紧固件，第一紧固件穿过固定基板和夹持基板上的第一定位孔，将夹持基板和固定基板固定连接，柔性待测产品的第二非弯折区位于夹持区内的夹持基板和固定基板之间。
- 弯曲测试
- [发明专利]基板夹持对位装置-CN201810050445.9有效
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彭浪
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武汉华星光电技术有限公司
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2018-01-18
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2021-03-02
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G02F1/13
- 本发明提供了一种基板夹持对位装置。所述基板夹持对位装置包括：分布于基板四周的多个夹持头，每一个夹持头均包括：基座、夹持部、弹性部及力传感器；所述基座的一侧表面形成有容置槽，所述容置槽的槽底设有力传感器，所述夹持部设于所述容置槽内，所述弹性部位于所述夹持部和力传感器之间且与夹持部和力传感器接触；夹持对位时，所述夹持部远离所述槽底的一侧表面与所述基板接触，利用基座与夹持部之间的弹性部进行减震，能够减少夹持对位时夹持头对基板的冲击力，防止基板在夹持对位出现破裂，利用力传感器采集夹持对位时的基板所受的压力，对所述夹持对位时基板上压力进行管控，能够提升夹持对位的准确性。
- 夹持对位装置
- [实用新型]基板夹持承载台-CN202120485717.5有效
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郑云龙;张伟业
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2021-03-08
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2021-10-22
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B25H1/08
- 本实用新型涉及半导体行业基板湿法处理领域的一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向分别安装有活动pin及固定pin，活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，活动pin的柱体转动安装在承载台上或相对平移地与承载台连接，活动pin和固定pin的夹持块均设置在柱体顶部，活动pin的底部安装有活动磁铁；固定座上安装有升降机构，升降机构的输出端连接有升降磁铁，升降磁铁通过磁力带动活动pin转动或平移，进而夹紧或放开基板；升降磁铁与活动磁铁之间的磁力大小通过升降机构驱动升降磁铁升降进行调节本实用新型通过控制升降机构带动升降磁铁升降，实现活动pin对基板的夹紧与放开，结构简单，控制方便。
- 夹持承载
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