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[发明专利]通过测量光性质来进行的闭环控制-CN201380078205.5在审
发明人： F·施纳朋伯格;A·赫尔米希 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：描述一种用于处理基板、特别是用于处理大面积基板的设备和方法。用于处理大面积基板的方法包括：以一传输速度传输处于基本上竖直地布置的状态的大面积基板通过用于处理大面积基板的设备的腔室布置；使用用于处理大面积基板的设备的处理装置来处理大面积基板；使用测量布置监测所述基本上竖直地布置的大面积基板的至少一个光学性质，其中所述基本上竖直地布置的大面积基板用漫射光来照射；以及基于所述大面积基板的所述监测到的至少一个光学性质来控制至少一个工艺参数。
通过测量性质进行闭环控制

[发明专利]大面积基板的干燥装置及方法-CN200710104734.4有效
发明人：赵允仙 -专利权人： K.C.科技股份有限公司
申请日： 2007-04-25 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： F26B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及大面积基板干燥装置及方法，本发明所提供的大面积基板干燥装置包含：通过喷射干燥空气对被移送的大面积基板进行干燥的风刀；薄雾清除部，以用于向大面积基板上均匀地垂直喷射与供应到所述风刀的干燥空气相同或具有更低露点的干燥空气，而且其喷射面积大于所述风刀的喷射面积。并且，本发明所提供的大面积基板干燥方法包含步骤：利用风刀所喷射的干燥空气对需要进行干燥的大面积基板进行一次干燥；在比所述风刀喷射面积更大的面积上均匀地垂直喷射干燥空气而清除大面积基板的薄雾。本发明所提供的大面积基板干燥装置及方法，即使不使用超干燥空气，通过增加干燥空气与基板的接触面积和接触时间也可以从基板清除薄雾。
大面积干燥装置方法

[发明专利]用于处理大面积基板的设备和方法-CN201380078080.6在审
发明人： A·赫尔米希;F·施纳彭伯格;J·施罗德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：描述了一种用于处理大面积基板(120)的设备(100)以及一种用于测量基本上竖直地布置的大面积基板的至少一个光学性质的方法。用于处理大面积基板的设备包括：腔室布置(110)，用于以竖直地布置的状态来传输大面积基板通过所述腔室布置(110)，其中，腔室布置包括至少一个腔室、处理装置和出口端口(112)，处理装置用于处理竖直地布置的大面积基板，出口端口(112)用于竖直地布置的大面积基板；传输系统，用于传输基板通过腔室布置；以及测量布置(210)，包括光学测量装置。光学测量装置包括发光装置(211)和光检测装置，发光装置用于将漫射光发射到竖直地布置的大面积基板上，光检测装置用于测量竖直地布置的大面积基板的至少一个光学性质。
用于处理大面积设备方法

[发明专利]用于TFT-LCD测试的微探测器-CN200780019710.7有效
发明人： B·M·约翰斯通;S·克里希纳斯瓦米;H·T·恩古耶;M·布鲁纳;刘永 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-05-10 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：在此揭示一种用于测试大面积基板的装置和方法。大面积基板包括显示器的图案和在大面积基板上电性连接到显示器上的接触点。该装置包括相对于大面积基板和/或接触点可移动的探针组件，并配置成可测试各大面积基板上的显示器图案和接触点。探针组件更配置成可测试该大面积基板上的部分区段。
用于 tft lcd 测试探测器

[发明专利]用于测试大面积基板上电子器件的探针-CN200710105270.9有效
发明人：本杰明·M·约翰逊;斯瑞拉姆·克里什纳斯瓦米;亨·T·古因;马斯亚斯·布吕纳;刘永;威廉·比顿;路德威格·里德尔;拉尔夫·舒米德 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-05-28 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于测试大面积基板的装置和方法。大面积基板包括显示器的图案和在大面积基板上电性连接到显示器上的接触点。该装置包括相对于大面积基板和/或接触点可移动的探针组件，并配置以测试在各种大面积基板上的显示器图案和接触点。探针组件还配置以测试设置在测试台上的部分大面积基板，并且可配置探针组件在不必从测试台去除探针组件的情况下测试不同的显示器和接触点图案。
用于测试大面积基板上电子器件探针

[发明专利]一种增大LTCC基板上金属化层厚度的方法-CN201611098431.1在审
发明人：李建辉;王伟;李章林;王青;肖金华 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十三研究所
申请日： 2016-12-03 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种增大LTCC基板上金属化层厚度的方法，包括LTCC基板本体表面预设印制网版，再进行导体浆料印刷形成大面积导体膜层，印制网版和LTCC基板本体之间均布有支撑。本发明所印制大面积导体膜层厚度增加，通过采用在大面积导体中增加细线条支撑的印制网版，所印制的大面积导体膜层厚度比普通大面积导体厚度明显增加；所印制大面积导体膜层厚度均匀，通过在大面积导体中设计增加均匀平行细线条，所印制的大面积导体膜层边缘厚度与中部膜层厚度相近，不会出现目前普通大面积导体边缘膜层厚而中部膜层厚度薄的现象。
一种增大 ltcc 基板上金属化厚度方法

[实用新型]一种大面积UVLED阵列用的高效散热装置-CN201720293002.3有效
发明人：江家麟 -专利权人：深圳市奇普仕科技有限公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大面积UVLED阵列用的高效散热装置，包括出入水口、盖板、隔水胶片、流体通道、铜冷排、大面积铜基板、紫外发光二极管和凹槽，其特征在于所述盖板与隔水胶片相连，所述盖板上设有出入水口，所述铜冷排上设有流体通道面和散热面，所述流体通道面上设有流体通道，所述散热面上设有凹槽，所述铜冷排与大面积铜基板相连，所述大面积铜基板的底部设有紫外发光二极管。该大面积UVLED阵列用的高效散热装置，有效的解决了大面积UVLED阵列的散热问题，而且散热高效且均匀，大大提高了大面积UVLED阵列的使用寿命。
一种大面积 uvled 阵列高效散热装置

[发明专利]大面积基板用水平型原子层层积装置-CN201811485964.4有效
发明人：申雄澈;崔圭政;白敏;杨澈勋 -专利权人： NCD有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种对于适宜制造显示器元件等的大面积基板将大面积基板以配置型装载的状态下，能够维持优秀的生产量，并能够执行稳定性的原子层沉积工艺的大面积基板用水平型原子层层积装置。
大面积基板用水平原子层积装置

[实用新型]LED路灯-CN200620122474.4无效
发明人：毛建亮 -专利权人：毛建亮
申请日： 2006-07-28 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED路灯，它包含有外壳、玻璃罩、反光罩和LED组发光板，反光罩和LED组发光板位于外壳和玻璃罩组成的空腔内，反光罩在LED组发光板上方，LED组发光板包含有基板和安装于基板之上的LED组，LED组发光板为大面积铝质基板；大面积铝质基板上LED组的背面安装有散热片；大面积铝质基板上设有白油涂层。本实用新型的LED路灯采用大面积铝质基板作为LED组的承载板，增加了散热面积和散热速度，并且在大面积铝质基板上LED组的背面安装有散热片，进一步加强了散热效果，使大功率LED在使用时产生的热量迅速的散出，增加了LED的使用寿命，同时在大面积铝质基板上设有白油涂层，增加了LED灯光的反射强度，提高了LED的发光效率。
led 路灯

[发明专利]真空设备的基座定位支撑装置-CN200810109809.2有效
发明人：杜陈忠;梁沐旺;吴庆辉;江铭通 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：一种应用于真空设备腔体内升降承载基板的基座定位支撑装置，利用一侧向定位支撑机构自基座侧面进行夹持定位，可以避免基座在真空设备腔体内的位置偏斜情形，该侧向定位支撑机构并与基座形成简支梁支撑结构，以改善大面积基座边缘的荷重悬垂变形，使大面积基板置于基座上得以进行维持平坦性与或调整水平性的效益，于大面积基板镀膜应用时，可以显著提升大面积基板薄膜沉积厚度的均匀性。
真空设备基座定位支撑装置

[发明专利]液晶屏的制造方法-CN96191325.8无效
发明人：小寺琢己;行田幸三;小幡文雄;村田雅也 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 1996-11-05 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：通过密封材料(16)在大面积基板(1，4)之间形成多个液晶充填区(17)。在各液晶充填区(17)设有液晶注入口(16a)，部分地除去大面积基板(1，4)中任一方，以便使液晶注入口(16a)露出，然后按照各个液晶屏来分离大面积基板(1，4)。
液晶屏制造方法

[发明专利]阵列基板、显示面板以及显示装置-CN201810209206.3在审
发明人：衣志光 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：本发明提供一种GOA阵列基板，所述GOA阵列基板上设置有用于传输测试信号的大面积双层金属走线，所述大面积双层金属走线上覆盖色阻作为保护层。与相关技术相比较，本发明提供的GOA阵列基板，其通过在大面积双层金属走线上覆盖一层色阻作为静电保护层，从而在后续绝缘保护层的CVD/PH等制程中，大面积双层金属走线内的金属不与等离子体清洗和PH清洗时的水汽接触，保护线路不进行电荷累积，这样，有效消除了大面积双层金属走线与跨线连接处的静电释放风险。
双层金属走线阵列基板传输测试信号等离子体清洗静电保护层绝缘保护层保护线路电荷累积静电释放水汽接触显示面板显示装置保护层覆盖色跨线色阻制程清洗金属覆盖

[发明专利]一种大面积亲水性聚合物刷涂层及其制备方法与应用-CN202210694466.0有效
发明人：张涛;殷小东;伍大恒;夏一夫 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C09D133/14 文献下载
摘要：本发明揭示了一种大面积亲水性聚合物刷涂层及其制备方法与应用。所述大面积亲水性聚合物刷涂层的制备方法，包括：提供面积为1‑2000cm2的平面基底和金属基板；将凝胶引发剂施加于大面积平面基底的表面，得到修饰有可控自由基聚合引发剂的大面积平面基底；在金属基板的表面形成零价纳米金属层，得到负载有零价纳米金属层的金属基板；使聚合溶液填充于金属基板上的零价纳米金属层与大面积平面基底上的可控自由基聚合引发剂之间，使聚合溶液中的丙烯酸类单体进行自由基聚合，获得大面积亲水性聚合物刷涂层。
一种大面积亲水性聚合物涂层及其制备方法应用

[发明专利]淀积氧化硅于大面积基板上的方法及设备-CN200810092685.1有效
发明人：桑贾伊·D·亚达夫;上泉元;温德尔·T·布伦尼格 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2004-04-05 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明揭示了淀积氧化硅于大面积基板上的方法及设备，本发明提供一种用来以至少每分钟3000埃()的速率将一电介质淀积到一至少约0.35平方米的大面积基板上的方法及设备。在一实施例中，该电介质为氧化硅。也提供一种大面积基板，其具有一层电介质被淀积于其上，该电介质层是利用一可达到每分钟超过3000埃的淀积速率来进行淀积，也提供一种制造该大面积基板的反应腔。
氧化大面积基板上方法设备

[发明专利]一种大面积钙钛矿薄膜的结晶工艺与钙钛矿电池结构-CN202211436867.2在审
发明人：锁真阳;冯治华;常洲;邵君;王雪戈;于振瑞 -专利权人：无锡极电光能科技有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H10K71/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种大面积钙钛矿薄膜的结晶工艺与钙钛矿电池结构，所述结晶工艺包括如下步骤：配制钙钛矿溶液，涂布所述钙钛矿溶液于基板，得到钙钛矿湿膜；激光辅助结晶处理所述钙钛矿湿膜后进行退火，得到所述大面积钙钛矿薄膜本发明将钙钛矿溶液涂布于基板后进行激光辐射，基板吸收激光的能量升温，使得钙钛矿溶液快速蒸发结晶，实现了对大面积钙钛矿薄膜的结晶过程进行有效的控制，改善了大面积钙钛矿的结晶质量，有效提高了钙钛矿太阳能电池的稳定性以及提高了大面积组件的效率
一种大面积钙钛矿薄膜结晶工艺电池结构

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