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[发明专利]声表面波器件及其制备方法-CN201410036354.1有效
发明人：钟海舰;樊英民;刘争晖;许耿钊;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2014-01-26 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明提供一种声表面波器件，包括压电基底、声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面接收器相对设置在压电基底上，所述声表面波发生器用于产生声表面波，所述声表面波接收器用于接收声表面波发生器产生的声表面波，所述声表面波发生器及声表面波接收器的材料为石墨烯。本发明的优点在于：在不改变现有的声表面波器件工作模式的前提下，能够适应高频、大功率声表面波器件，具有更强的功率承受力和机械承受力；能够减少对声波阻抗的影响，获得更高的灵敏度，可适应高频滤波的需求；增强声表面波器件的散热性能，延长声表面波器件的使用寿命，提高器件的工作稳定性；声表面波器件更容易进行刻蚀和加工。
表面波器件及其制备方法

[发明专利]高隔离度声表面波双工器及多工器-CN202310052615.8在审
发明人：许志斌;王为标;陆增天;韦鹏;刘平 -专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H03H9/72 文献下载
摘要：本申请关于一种高隔离度声表面波双工器及多工器，涉及声表面波器件领域。该高隔离度声表面波双工器/高隔离度声表面波多工器，通过将声表面波梯形滤波器的反射器电极与接地端子电性连接，减少了电磁干扰，从而提升了声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度；另外，与接地端子电性连接的反射器电极与导电细长条图形电性连接的设置，可以进一步减少电磁干扰，提升声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度；实现了能够在不改变声表面波双工器/声表面波多工器芯片中某一谐振器的叉指换能器周期、孔径和指条数，也不改变声表面波双工器/声表面波多工器封装基板的情况下，使声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度得到提升。
隔离表面波双工器多工器

[发明专利]一种双面滤波器、制备方法以及射频模组、电子设备-CN202210311965.7在审
发明人：吴小娟 -专利权人：象朵创芯微电子（苏州）有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：该双面滤波器包括：第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器；第一声表面波滤波器的正面设置有第一声表面波芯片；第二声表面波滤波器通过粘结支撑结构位于第一声表面波滤波器之上，第二声表面波滤波器的正面设置有第二声表面波芯片，且第一声表面波滤波器的正面与第二声表面波滤波器的正面相对设置；第一声表面波滤波器、第二声表面波滤波器和粘结支撑结构围成共用空腔结构，第一声表面波芯片与第二声表面波芯片均位于共用空腔结构内。
一种双面滤波器制备方法以及射频模组电子设备

[发明专利]声表面波器件以及使用该声表面波器件的双工机和通信器件-CN200810090204.3有效
发明人：船见雅之;竹之下健;横田裕子 -专利权人：京都陶瓷株式会社
申请日： 2008-03-28 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： H03H9/00 文献下载
摘要：一种声表面波器件以及使用该声表面波器件的双工机和通信器件，该声表面波器件包括：形成梯形滤波器电路的第一声表面波滤波器；以及通带所在的频率比所述第一声表面波滤波器的通带高的第二声表面波滤波器。这里，所述第一声表面波滤波器包括：至少一个具有IDT电极的串联臂声表面波谐振器，其连接到所述梯形滤波器电路的串联臂；具有IDT电极的并联臂声表面波谐振器，其连接到所述梯形滤波器电路的并联臂；以及具有IDT电极的附加的声表面波谐振器，其与所述串联臂声表面波谐振器并联连接并且谐振频率比所述第二声表面波滤波器的通带的频率高。
表面波器件以及使用双工通信

[发明专利]一种道岔区域钢轨组件的断裂监测装置-CN201910230557.7在审
发明人：陈付明;徐凤生;薛旭龙;任明远;沈斌;白洋;刘丰;王智博;栾长文;郭平 -专利权人：上海同玺电子科技有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声表面波的道岔区域钢轨组件的断裂监测装置，由至少两组设置于道岔区域钢轨组件处配套使用的断裂检测单元组成；其中，每组断裂检测单元包括：一用于发射声表面波的声表面波发生器；一用于接收每组断裂检测单元上的声表面波发生器发射的声表面波的声表面波接收器；以及一分别连接声表面波发生器和声表面波接收器的控制器，其用于控制声表面波发生器发射声表面波，并根据声表面波接收器采集的声表面波的强弱判断道岔区域钢轨组件是否断裂。
声表面波钢轨道岔区域接收器断裂检测发生器断裂监测装置表面波发射声断裂表面波发生器和声表面波监测装置强弱判断实时监测控制器控制声灵敏度体积小重量轻防断两组粘贴采集发射

[发明专利]单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法-CN201310235423.7有效
发明人：陈磊;赵成;石竹南;胡经国 -专利权人：扬州大学
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明提供一种单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合的隔离方法，在同一压电单晶基片上集成制作多个平行排布的声表面波滤波器，各声表面波滤波器输入信号电极和输出信号电极均独立设置并由各声表面波滤波器的地电极隔开，各声表面波滤波器地电极并联接地，在压电单晶基片表面各声表面波滤波器之间制作声电隔离结构。声电隔离结构为制作在压电单晶基片表面各个声表面波滤波器之间的纵向沟槽，其上覆盖金属膜并与声表面波滤波器地电极相连；所述声电隔离结构或者为制作在压电单晶基片表面各个声表面波滤波器之间的重质金属膜电极，并与声表面波滤波器地电极相连采用本发明的单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合隔离度高，结构简单，制作方便。
单片集成多个声表面波滤波器间声电耦合隔离方法

[发明专利]基于复合膜的频率可调声表面波陀螺-CN200910226759.0有效
发明人：吴学忠;董培涛;肖定邦;刘庆辉;崔红娟;陶溢;张旭;邱华诚 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于复合膜的频率可调声表面波陀螺，包括磁致伸缩基底、压电薄膜、声表面波谐振器、声表面波检测器、金属点阵、移相网络以及射频放大器，所述压电薄膜覆盖于磁致伸缩基底上，所述声表面波谐振器、声表面波检测器和金属点阵设于压电薄膜的表面上，所述声表面波谐振器与移相网络和射频放大器一并构成声表面波振荡器，所述声表面波谐振器、声表面波检测器呈相互垂直交叉布置，所述声表面波谐振器与声表面波检测器交叉处的压电薄膜表面形成空白处，所述金属点阵位于所述空白处本发明具有结构简单紧凑、成本低廉、操作简便等优点，可在一定范围内调节声表面波陀螺的工作频率，并可实现振荡器和检测器工作频率的匹配，有效提高声表面波陀螺的灵敏度和准确度。
基于复合频率可调表面波陀螺

[发明专利]声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器-CN201780076576.8有效
发明人：永浜亮 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：声表面波谐振器包括第1声表面波谐振器(21)、与第1声表面波谐振器(21)串联连接的第2声表面波谐振器(22)、和与第2声表面波谐振器(22)串联连接的第3声表面波谐振器(23)。第1至第3声表面波谐振器各自具有配置为彼此的电极指分别彼此相邻的一对梳齿电极(1)。第2声表面波谐振器(22)与第1以及第3声表面波谐振器(21、23)相比，所述电极指的宽度相对于电极指的间距的比例小。
表面波谐振器滤波器以及双工器

[发明专利]基于声光作用的全光纤高速相位调制器-CN202210071040.X在审
发明人：黄礼刚;刘顺溧;郑博文;朱涛 -专利权人：重庆大学
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G02F1/11 文献下载
摘要：本发明提供一种基于声光作用的全光纤高速相位调制器，包括声表面波产生装置和光纤，声表面波产生装置用于产生声表面波带，光纤垂直于所述声表面波带的传播方向，布线在存在声表面波带的区域内，声表面波带与光纤耦合，本发明通过将光纤垂直于声表面波带的传播方向，固定在存在声表面波带的位置处，使光纤内部折射率发生变化，由于声表面波带是带状，光纤整段都可以固定在存在声表面波带的位置处，即声表面波带可以同时对光纤整段进行相位调制，因而本发明调制效率较高，且本发明只需要采用声表面波产生装置一个装置，就可以实现光纤相位调制，结构更加简单。
基于声光作用光纤高速相位调制器

[发明专利]一种超大带宽声表面波滤波器-CN201611203355.6有效
发明人：王为标;毛宏庆;韦鹏;陆增天;李壮;孙昭苏 -专利权人：无锡市好达电子有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种超大带宽声表面波滤波器，包括连接成为梯形结构的第一声表面波谐振器组和第二声表面波谐振器组，所述第一声表面波谐振器组中各个声表面波谐振器的膜厚相同；所述第二声表面波谐振器组中各个声表面波谐振器的膜厚相同；所述第一声表面波谐振器组中各个声表面波谐振器的膜厚与所述第二声表面波谐振器组的中各个声表面波谐振器的膜厚相同或者不同。本发明所述的声表面波滤波器可以实现带内无寄生模式响应，带宽可达到中心频率的6～20％，插入损耗小于2dB的高性能、超大带宽滤波器，且本发明尺寸小，成本低，在军、民通讯设备领域有着广泛的应用前景。
一种超大带宽表面波滤波器

[发明专利]一种声表面波无损检测系统-CN201910177356.5有效
发明人：肖夏;戚海洋 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种声表面波无损检测系统，用以测量测试样片的薄膜特性，包括波形发生器、多个声表面波叉指换能器、压电传感器和计算机。由多个声表面波叉指换能器构成可生成不同频率声表面波的声表面波叉指换能器组，一个声表面波叉指换能器包括一个叉指电极，用以在待测样片上产生单频声表面波；压电传感器用以在待测样片上拾取声表面波的信号，通过对采集到的信号进行处理，从而获得相应频率下声表面波的波速，更换可产生不同频率的声表面波叉指换能器，即可获得该待测样片的声表面波频散曲线，通过将实验频散曲线和理论频散曲线进行匹配即可完成对薄膜特性的无损检测。
一种表面波无损检测系统

[发明专利]基于声表面波的高压断路器灭弧室压力测量方法-CN201410095021.6无效
发明人：满玉岩;张东斐;唐庆华;郗晓光;张弛 -专利权人：国家电网公司;国网天津市电力公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01H33/53 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于声表面波的高压断路器灭弧室压力测量方法，步骤包括：（1）在灭弧室内放置声表面波传感器标签；（2）启动声表面波接收器，使声表面波接收器向声表面波传感器标签方向发射电磁脉冲信号；（3）声表面波传感器标签接收电磁脉冲信号后，通过叉指换能器转化为声表面波，声表面波遇到反射条后形成回波，回波通过叉指换能器转化为电磁波通过天线发射出去；（4）声表面波接收器接收天线发射出的信号；（5）对比声表面波接收器发射和接收到的电磁脉冲信号
基于表面波高压断路器灭弧室压力测量方法

[实用新型]高屏蔽性声表面波滤波器-CN201520235244.8有效
发明人：梁玉成;马春荣;韩军献;贺春晖;王伟泽;侯月芹;李辉;易先堂;杨小云;张安康;关永强 -专利权人：梁玉成
申请日： 2015-04-17 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高屏蔽性声表面波滤波器，所述高屏蔽性声表面波滤波器包括第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器集成于压电晶体基片上；本实用新型通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
屏蔽表面波滤波器

[发明专利]声表面波延迟线表面的气敏传感薄膜的制备方法和装置-CN202310280965.X在审
发明人：罗传胜;毛学飞;李春雷;唐小峰;周洪立;胡炜;苏毅;唐彬;孔令毅;陈冲;卢幸;苏郑予希;崔林丽;杨晓燕;何金梅;陈芃;姚峥;黄霖;周闯 -专利权人：广西电网有限责任公司南宁供电局
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明涉及声表面波延迟线表面的气敏传感薄膜的制备方法和装置，方法包括步骤：A、声表面波发生器与内置有纳米气敏液体的微型气压发生装置连接；B、声表面波发生器中的叉指电极在DDS信号源的作用下产生声表面波；C、微型气压发生装置在声表面波形成的微型气压作用下向声表面波气体传感器中的声表面波延迟线输出纳米气敏液体，并在声表面波的作用下均匀布置声表面波延迟线上形成气敏传感薄膜。本发明制备气敏传感薄膜的方式更加简单、经济，并且精准度更高，便于声表面波气体传感器的产品标准化，同时设备安装的运行环境要求低，非常适合中小批量的声表面波气体传感器的气敏传感薄膜制备。
表面波延迟线表面传感薄膜制备方法装置

[实用新型]基于声表面波原理的激发式无源气体传感器-CN201420709190.X有效
发明人：章义军;金国亮;高久国;丁海华;郑城;周俊杰;何锋;何寅 -专利权人：国家电网公司;国网浙江省电力公司湖州供电公司;国网浙江安吉县供电公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于声表面波原理的激发式无源气体传感器，包括声表面波发生装置、声表面波激发装置、探测光束发射装置以及光束强度检测装置，所述声表面波发生装置包括金属靶材和设于金属靶材表面的气体选择性吸附膜，所述声表面波激发装置向声表面波发生装置发射激光并在声表面波发生装置中激发出各种波型，所述探测光束发射装置向声表面波发生装置发射探测光束，所述光束强度检测装置接收探测光束的反射光并检测探测光束的强度。本实用新型改变了传统声表面波传感器一些固有的缺点。
基于表面波原理激发无源气体传感器

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