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[发明专利]一种柱形三维矢量水听器-CN201910404751.2在审
发明人：杨艺欣;张志敏;刘雨皓;彭军;钟奕辰 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种柱形三维矢量水听器，包括四梁纤毛式圆形结构和设置在四梁纤毛式圆形结构底部的圆柱结构，所述圆柱结构包括顶面与所述四梁纤毛式圆形结构的底面连接的空心圆柱支撑体、两端支撑在空心圆柱支撑体内壁上的纤毛二、设置在空心圆柱支撑体内且两端分别与纤毛二及四梁纤毛式圆形结构连接的支撑杆、设置在空心圆柱支撑体内壁且对称设置在纤毛二一端的两侧的压敏传感器Ⅱ和设置在空心圆柱支撑体内壁且对称设置在纤毛二另一端的两侧的定值电阻本发明可通过四梁纤毛式圆形结构与圆柱结构的相互组合而测得三维空间内的信号。
四梁纤毛式空心圆柱圆形结构纤毛圆柱结构体内三维矢量水听器支撑对称设置柱形三维空间压敏传感器定值电阻两端支撑支撑杆支撑体底面顶面

[实用新型]一种圆形开合式水听器-CN201920820381.6有效
发明人：杨艺欣;张志敏;钟奕辰;刘雨皓;彭军 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2019-06-03 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种圆形开合式水听器，包括两个四梁纤毛式圆形结构和连接两个四梁纤毛式圆形结构的转轴，所述四梁纤毛式圆形结构包括圆形衬底、设置在圆形衬底中部的十字型悬臂梁、垂直设置在十字型悬臂梁中心上表面的纤毛以及均布在十字型悬臂梁四梁上的八个压敏传感器，所述转轴与两个所述圆形衬底的外壁连接，所述两个四梁纤毛式圆形结构可绕所述转轴旋转一定的角度。本实用新型可使其中一个四梁纤毛式圆形结构测得二维平面内的信号，同时通过与之成一定角度的另一个四梁纤毛式圆形结构相互组合后就可测得三维空间内的信号，该信号可通过现有的信号传输处理技术，最终可以获得三维空间的精确定位
四梁纤毛式圆形结构十字型悬臂梁三维空间衬底本实用新型转轴信号传输处理压敏传感器垂直设置二维平面转轴旋转开合式上表面水听器均布外壁纤毛

[发明专利]一种二维仿生矢量水听器-CN201910687817.3在审
发明人：陈德源;罗宁宁;张志敏;白家兴;曾祥飞 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01V1/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种二维仿生矢量水听器，包括一个纤毛‑悬臂梁微结构，所述纤毛‑悬臂梁微结构包括一个正方形衬底、四根悬臂梁和一根纤毛；所述衬底的中心位置设有质量块，四个所述悬臂梁一端与所述质量块连接，另一端与所述衬底内壁垂直连接，相邻两个所述悬臂梁之间呈垂直结构；所述纤毛一端与所述质量块连接，所述纤毛与所述悬臂梁之间呈垂直结构；四根所述悬臂梁上分别刻有非均匀周期反射光栅。
悬臂梁纤毛质量块衬底仿生矢量水听器垂直结构反射光栅非均匀微结构二维检测耐腐蚀材料垂直连接封装保护水听器透声膜有效地硅油内壁全光

[发明专利]一种仿生纤毛微流量传感器、其制备方法及制备装置-CN202210588669.1在审
发明人：廖晓波;李俊忠;杨九林;周军;廖璇;蔡勇;吴文麟 -专利权人：西南科技大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01F1/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生纤毛微流量传感器、其制备方法及制备装置，目的在于解决现有仿生纤毛研发的MEMS流量传感器大多采用传统的微加工技术，操作较为繁琐的问题，其包括电阻应变片、金属基板、金属仿生纤毛；金属基板呈金属箔片状，金属基板的一端固定并形成悬臂梁结构；金属基板上固定的一端为金属基板的固定端，金属基板的另一端为金属基板的自由端。结合本申请提出的MCED制备大规模，高长径比金属纤毛（铜线）的独特优势，发明人提出一种采用电阻应变式悬臂梁结构的仿生纤毛阵列微流量传感器。本申请提出使用MCED方法制作大规模与高长径比的纤毛阵列，纤毛阵列与基底一体化成型，并基于电阻应变原理和悬臂梁结构，制备了仿生纤毛式微流量传感器。
一种仿生纤毛流量传感器制备方法装置

[发明专利]一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法-CN202210798068.3在审
发明人：杨斌;吴亚东;欧阳华 -专利权人：上海智能制造功能平台有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明提供一种测量正压力和剪切力的压电传感器及其制备方法，包括：支撑部，为一个框体，所述框体内设置连接梁和连接台，所述连接梁由四个梁构成十字形分布，所述连接台位于所述十字形的中间，所述连接梁分别连接到所述连接台的侧面，所述框体的长度尺寸大于宽度；设置于所述支撑部上方的压电陶瓷薄膜传感单元，所述压电陶瓷薄膜传感单元有四个，对应分布于所述连接梁的四个梁上；设置于所述支撑部上方的纤毛，所述纤毛设置于所述连接台的中间，且位于四个所述压电陶瓷薄膜传感单元的中间本发明基于压电机制，通过纤毛和传感单元的结构设置，可以测试XY轴的剪切应力、Y轴的剪切应力以及来自Z方向的正向压力。
一种测量压力剪切压电传感器及其制备方法

[发明专利]单片集成复合量程矢量水听器-CN201110334236.5无效
发明人：张文栋;张国军;熊继军;薛晨阳;刘林仙;葛晓洋 -专利权人：中北大学
申请日： 2011-10-29 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明包括田字形支架，弹性梁以及通过弹性梁分别支悬于田字形支架的四个小框体中部的质量块，每个质量块的四边分别通过一根弹性梁与田字形支架固定，每根弹性梁的端部和根部分别集成有一个阻值相等的压敏电阻，四个质量块中部分别垂直设有一根直径相同的纤毛柱体，四根纤毛柱体长短不一。本发明可通过其上的四根不同长度的纤毛柱体，检测到不同量程范围内的声信号，可用于变频率值的测定，拓宽了其有效工作频带。
单片集成复合量程矢量水听器

[发明专利]多重应力集中式MEMS仿生水听器-CN201610058544.2有效
发明人：焦新泉;张国军;刘梦然;张文栋 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明水听器包括由底层硅、氧化层和顶层硅，在顶层硅上均布四组四梁纤毛式声电换能结构，四组四梁纤毛式声电换能结构底部为空腔，其中悬臂梁的两端设有沉降槽及内缩的豁口；氧化层上均布有四个空腔，顶层硅及底层硅上正对每个空腔的位置溅射有上、下电极，顶层硅上围绕每个上电极均布四个注油孔。
多重应力集中 mems 生水

[发明专利]基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法-CN202011131772.0在审
发明人：王任鑫;刘骁;朱晓航;张国军;张文栋 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法，涉及MEMS在助听方面的应用技术领域，压电式仿生耳蜗纤毛感受器，包括基底和聚丙烯纤毛，基底包括金属铜上电极、聚偏氟乙烯薄膜与金属铝下电极，聚偏氟乙烯薄膜位于金属铜上电极与金属铝下电极之间，三者固定连接且外围呈方框状，外围的方框内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛固定梁，聚丙烯纤毛垂直固定于纤毛固定梁的中心处。
基于 mems 压电仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法

[发明专利]一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器-CN202210813261.X在审
发明人：崔丹凤;薛晨阳;臧俊斌;张志东;段潇雅;李鹏璐;范正;巫春生 -专利权人：苏州恒朝科技有限责任公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明属于防生水听器技术领域，具体为一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器，解决了背景技术中的技术问题，其包括蘑菇云型仿生纤毛、硅基底器件层、套筒形硅材衬底和四个感应模块，硅基底器件层覆盖至套筒形硅材衬底的上端口，且套筒形硅材衬底和硅基底器件层之间通过埋氧层相连，硅基底器件层中间镂空形成正交十字梁，蘑菇云型仿生纤毛刚性连接至正交十字梁的中心，四个感应模块分别固定至正交十字梁的四根粱臂上，感应模块从上至下依次包括上电极层蘑菇云型仿生纤毛的摆动会引起该正交方向上十字梁的形变而基本不会造成另一正交方向上梁的形变，可有效降低交叉灵敏度的干扰。
一种蘑菇云 mems 仿生压电矢量水听器

[发明专利]一种MEMS尾流探测传感器-CN202210357558.X在审
发明人：王任鑫;张文栋;乔庆宇;孔祥正;武淑峰;刘国昌;杨沙沙;张国军;杨玉华;何常德;崔建功 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明属于尾流探测技术领域，具体为一种MEMS尾流探测传感器，解决了背景技术中的技术问题，其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体；仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接；仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔；保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体，保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合，组合成了能够测量湍流尾流的传感器，仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率，同时降低了海水冲击的影响，提高了传感器探测尾流信号的准确性
一种 mems 探测传感器

[实用新型]一种新型三维仿生水听器阵列-CN202120805612.3有效
发明人：彭超;严红光;张光旻 -专利权人：东莞理工学院;广东思威特智能科技股份有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型三维仿生水听器阵列，包括基底，基底的中间设置有重力球，重力球固定在四个弹性柱的另一侧端；基底外一角的三个侧面上分别固定有十字梁，十字梁的中间固定有支撑块，支撑块的外侧垂直固定有传感器的纤毛结构，本实用新型通过将传感器的纤毛结构设置为由上纤毛和下纤毛相互固定组成的形式，形成上细下粗的双敏感纤毛结构，能实现在相同纤毛质量情况下提高水听器灵敏度的作用，通过在基底中间通过弹性柱连接有重力球，使得重力球和弹性柱的组成在水听器阵列中能达到阻尼器的作用
一种新型三维生水阵列

[发明专利]复合式MEMS仿生水听器-CN201610058566.9有效
发明人：张国军;刘梦然;张文栋 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明水听器包括由底层硅、氧化绝缘层和顶层硅，在顶层硅上均布四组四梁纤毛式声电换能结构，四组四梁纤毛式声电换能结构正下方的氧化绝缘层被刻蚀掉；氧化绝缘层上均布有四个空腔，顶层硅及底层硅上正对每个空腔的位置溅射有上、下电极，顶层硅上围绕每个上电极均布四个与空腔相通的注油孔。
复合 mems 生水

[发明专利]MEMS仿生矢量水听器的桔瓣式封装结构-CN201210089010.8无效
发明人：张国军;何常德;刘林仙;张慧;李振;熊继军;薛晨阳;张文栋 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本发明为一种MEMS仿生矢量水听器的桔瓣式封装结构，该结构可进一步提高水听器的各性能指标。，支撑管顶部设有缩颈细管，缩颈细管的顶部设有支撑盘，支撑盘边缘开设环形卡槽，环形卡槽内固接有透声帽，支撑管底部管口设有堵头和锁紧螺母，其中，透声帽内还设有固定在支撑盘上的支撑台、支撑台上螺纹连接有桔瓣式金属支架，支撑台和桔瓣式金属支架之间卡接有置放四梁-纤毛式敏感体的软支架，透声帽、桔瓣式金属支架、四梁-纤毛式敏感体、软支架、支撑台之间紧密结合且无缝隙。
mems 仿生矢量水听器桔瓣式封装结构

[实用新型]一种高可靠性的MEMS纤毛-十字梁湍流敏感结构-CN202123325139.8有效
发明人：张增星;刘丹;薛晨阳;张文君;高瑞;廖志伟;景俊民 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01C13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及海洋湍流探测技术领域，具体涉及一种高可靠性的MEMS纤毛‑十字梁湍流敏感结构，包括信号接收板、设置在信号接收板上的梁根部加固型十字梁芯片、以及集成设置在梁根部加固型十字梁芯片上的仿生纤毛，梁根部加固型十字梁芯片与信号接收板上的焊盘材料均为金，并通过金丝引线键合技术将两者相对应的焊点相连。本实用新型可有效解决纤毛十字梁结构在实际应用过程出现的各种损坏问题，大幅度提高了其可靠性，为纤毛‑十字梁结构的工程应用奠定了坚实的基础。
一种可靠性 mems 纤毛十字湍流敏感结构

[发明专利]差分电容式纤毛水听器及其制造方法-CN202210525262.4在审
发明人：王任鑫;张文栋;李照东;张国军;何常德;杨玉华;崔建功 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-05-15 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种差分电容式纤毛水听器及其制造方法，属于水下声纳传感器制造技术领域。本发明差分电容式纤毛水听器结构包括纤毛体、连接梁、中心连接体、上电极、钝化层、介质层、下电极、基底层等；制备方法，使用COMS‑MEMS单片集成工艺，在COMS工艺的后端层设置器件的结构，电路信号处理电子层在器件结构下方集成由COMS‑MEMS单片集成工艺制备的差分电容式纤毛水听器具有一致性好、集成化、频带宽、灵敏度高、易封装、可批量生产等优点。
电容纤毛水听器及其制造方法

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