专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种测量装置及缺陷检测设备-CN202011390083.1有效
  • 兰艳平 - 上海御微半导体技术有限公司
  • 2020-12-01 - 2023-07-07 - G01N21/88
  • 本发明提供一种测量装置及缺陷检测设备,包括:测光源、测标记版、光学组件、成像单元、补偿结构和控制单元;测光源用于提供斜入射的第一照明光束,测标记版包括至少一组测图形,每组测图形包括至少3个子标记,第一照明光束投射至测标记版,测图形被投射至测试样件表面上并产生反射光束;补偿结构位于成像单元的成像一侧,用于改变反射光束的传输路径,以使反射光束经光学组件汇聚的成像位于成像单元的接收本发明实现了测焦点和缺陷检测点同轴测量,提高了测量的精度。
  • 一种测量装置缺陷检测设备
  • [发明专利]一种曝光镜头调试方法-CN202210776144.0在审
  • 蔡志国;周宇 - 深圳凯世光研股份有限公司
  • 2022-07-04 - 2022-11-04 - G02B7/04
  • 本发明涉及一种曝光镜头调试方法,解决现有曝光镜头调试工序繁琐不便,效率低的问题。包括有如下步骤:A:制作用于曝光镜头固定的镜头法兰盘;B:初步识别每个镜头的大致;C:确定镜头的为基准;D:将最大面的那个镜头使用顶丝调整至一致;E:用相同的调试方法逐个调校其它镜头;F:在设备调校时,根据几个镜头面的差异选定目标,通过调整法兰上各方位的顶丝深度达到轻松调整各个镜头的以及单个镜头均匀一致的目的,并且此种方式不会像使用垫片一样每个镜头的面呈阶梯状差异,可最大化的实现统一
  • 一种曝光镜头调试方法

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