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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]钼靶材焊接方法-CN201010526640.8无效
  • 姚力军;潘杰;王学泽;李响 - 宁波江丰电子材料有限公司
  • 2010-10-29 - 2011-04-13 - B23K1/00
  • 一种钼靶材焊接方法，包括：提供钼或钼合金靶材、背板和焊料；对钼或钼合金靶材的结合面进行镀镍处理；对所述钼或钼合金靶材进行预热，使焊料分布在所述钼或钼合金靶材的结合面；对所述背板进行预热，使焊料分布在所述背板的结合面；使所述钼或钼合金靶材的结合面与所述背板的结合面贴合并进行焊接，形成靶材组件；冷却靶材组件。根据本发明的钼靶材焊接方法，可以使钼或钼合金靶材与背板、尤其是铜背板以较高的强度结合在一起，满足溅射工艺的高强度要求；而且。即使在靶材面积较大的情况下，也能够有效地抑制靶材组件、特别是钼或钼合金靶材发生较大的变形、翘曲等。
  • 钼靶材焊接方法
  • [发明专利]一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法-CN202310089613.6在审
  • 姚力军;潘杰;廖培君;陈石;周友平 - 宁波江丰电子材料股份有限公司
  • 2023-02-09 - 2023-05-02 - B23K1/20
  • 本发明涉及一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钛铝合金靶材的焊接面依次经喷砂处理与镀镍处理，得到预处理钛铝合金靶材；(2)将净化铝合金背板与步骤(1)所得预处理钛铝合金靶材分别独立地进行浸润处理，得到浸润铝合金背板与浸润钛铝合金靶材；(3)将步骤(2)所得浸润钛铝合金靶材与浸润铝合金背板扣合，在加压条件下冷却后得到钛铝合金靶材组件。本发明通过对钛铝合金靶材的焊接面进行预处理，搭配合理的浸润工艺参数与冷却方式，所得钛铝合金靶材组件的焊接结合率与结合强度较高，可以满足作为溅射材料的高品质要求。
  • 一种铝合金背板钎焊方法
  • [发明专利]一种高铬铝合金靶材及制备方法-CN202210092184.3有效
  • 王新锋;刘李旭;向长淑;陈斌科;姚甜;孙恒超;肖成桥;苏腾飞;郭栋 - 西安赛隆金属材料有限责任公司
  • 2022-01-26 - 2022-05-03 - B22F3/15
  • 本公开实施例是关于一种高铬铝合金靶材及制备方法。该方法包括：根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围；根据铬铝合金靶材的性能参数的数值范围确定制备铬铝合金靶材的工艺方法；利用工艺方法进行铬铝合金靶材的制备；其中，两相结构由铬相和铬铝合金相组成，且相互穿插均匀分布，铬铝合金靶材的性能参数数值范围为：铬相的面积占比为10%～35%，铬铝合金相的面积占比为65%～90%。本公开实施例通过根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围，利用制备工艺制备出符合具有两相结构的铬铝合金靶材，提高了镀膜的均匀性及机械加工性能。
  • 一种铝合金制备方法
  • [发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法-CN202011231607.2在审
  • 黄永香 - 湖南七点钟文化科技有限公司
  • 2020-11-06 - 2022-05-24 - C23C14/35
  • 本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钛粉和铝粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备钛铝合金靶材生坯，将所述钛铝合金靶材生坯进行热压烧结，得到钛铝合金靶材粗品；C)将所述钛铝合金靶材粗品进行退火，得到钛铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的钛铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
  • 一种铝合金制备方法
  • [发明专利]一种铟锡合金靶材的制备方法-CN202011233264.3在审
  • 黄永香 - 湖南七点钟文化科技有限公司
  • 2020-11-06 - 2022-05-24 - C23C14/35
  • 本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将铟粉和锡粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备铟锡合金靶材生坯，将所述铟锡合金靶材生坯进行热压烧结，得到铟锡合金靶材粗品；C)将所述铟锡合金靶材粗品进行退火，得到铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
  • 一种合金制备方法
  • [发明专利]吸气剂磁控靶材-CN202110956500.2在审
  • 吴文一 - 安徽益东惠电子科技有限公司
  • 2021-08-19 - 2021-11-16 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种吸气剂磁控靶材，其为吸气剂溅射镀膜设备中要装载的主要材料，吸气剂磁控靶材包括吸气剂合金靶材和紫铜背板，紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面；吸气剂磁控靶材的制作工艺具体包括以下步骤：S1、将锆、钴和铼三种金属粉末混料后装入包套模具中，采用热等静压工艺，向包套各方向施加同等压力，同时施以高温，使混料合金得以烧结和致密化，制得吸气剂合金靶材的半成品；S2、将热等静压后的吸气剂合金靶材的半成品切割成矩形，制得吸气剂合金靶材成品；S3、将紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面即可。本发明紫铜背板焊接于吸气剂合金靶材的背面，紫铜背板起到为吸气剂合金靶材的散热和导磁的作用。
  • 吸气剂磁控靶材
  • [发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201010002332.5无效
  • 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 - 宁波江丰电子材料有限公司
  • 2010-01-07 - 2010-06-23 - B23K1/00
  • 一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬或铬合金靶材坯料、背板和焊料；用焊料覆盖铬或铬合金靶材坯料的结合面，在真空环境下对所述铬或铬合金靶材坯料预热并实施保温，使得焊料与铬或铬合金靶材坯料的结合面充分融合，去除多余的焊料；对所述背板的结合面进行打磨处理，用焊料覆盖背板的结合面，在真空环境下预热并实施保温；对铬或铬合金靶材坯料和背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够增强铬或铬合金靶材坯料与背板在钎焊后的结合强度，并避免焊接过程中背板等发生氧化，确保靶材组件的性能稳定，符合产品品质要求。
  • 组件焊接方法
  • [发明专利]一种氧化锌铝合金靶材的制备方法-CN202011232513.7在审
  • 黄永香 - 湖南七点钟文化科技有限公司
  • 2020-11-06 - 2022-05-06 - C04B35/453
  • 本发明提供了一种氧化锌铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化锌和氧化铝置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化锌铝合金靶材粗品；D)将所述氧化锌铝合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化锌铝合金靶材粗品表面，得到氧化锌铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化锌铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
  • 一种氧化锌铝合金制备方法
  • [发明专利]一种氧化铟锡合金靶材的制备方法-CN202011233273.2在审
  • 黄永香 - 湖南七点钟文化科技有限公司
  • 2020-11-06 - 2022-05-06 - C04B35/457
  • 本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化铟和氧化锡置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化铟锡合金靶材粗品；D)将所述氧化铟锡合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化铟锡合金靶材粗品表面，得到氧化铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
  • 一种氧化合金制备方法
  • [发明专利]镀膜方法-CN201310076464.6有效
  • 李一凡;陈正言;孙圣渊 - 新世纪光电股份有限公司
  • 2013-03-11 - 2016-10-12 - C23C14/14
  • 提供一共晶合金靶材，且共晶合金靶材至少包括一第一金属与一第二金属。提供一纯金属靶材。混合共晶合金靶材以及纯金属靶材并通过一物理镀膜处理以在一元件上形成一合金薄膜。合金薄膜中至少包括一第三金属与一第四金属，其中分别以合金薄膜与共晶合金靶材的总重量为基准，合金薄膜中第三金属的重量百分比约等于共晶合金靶材中第一金属的重量百分比，合金薄膜中第四金属的重量百分比约等于共晶合金靶材中第二金属的重量百分比
  • 镀膜方法
  • [发明专利]一种银合金靶材加工方法-CN202310271732.3在审
  • 黄振;颜文明 - 苏州东宸先瑞新材料科技有限公司
  • 2023-03-20 - 2023-07-07 - B24B29/02
  • 本发明公开了一种银合金靶材加工方法，涉及银合金靶材技术领域；而本发明包括银合金靶材，将车削后的银合金靶材胚料逐一的放置在抛光装置上，并固定设置，银合金靶材柱安装于卡筒内，间歇盘转动一次时，使两个银合金靶材柱移动至抛光区域，通过齿条与齿圈啮合连接，使银合金靶材柱能旋转，同时转柱传动两个推杆移动，使两个抛光轴移动至银合金靶材柱外表面，从而实现加工的联动性，抛光效率高；设置两个不同粗糙度的抛光轴能同步对两个银合金靶材柱进行粗加工和细加工，然后随着安装盘的间歇性旋转，从而能快速完成对多个银合金靶材柱外表面进行抛光处理，提高抛光效率。
  • 一种合金加工方法
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