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- [发明专利]一种晶圆片光刻工艺-CN201810534838.7有效
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侯玉闯;薛鹏
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徐州诚凯知识产权服务有限公司
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2018-05-29
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2020-11-13
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H01L21/027
- 本发明属于晶圆片光刻技术领域,具体说是一种晶圆片光刻工艺,该工艺采用的光刻机用晶圆片匀胶装置包括固定框、基座、水平调节装置、固定支架、旋转装置、真空吸盘、真空发生器、可调节弹簧和感应装置;所述基座位于固定框上部;所述水平调节装置固定在固定框内;所述固定支架安装在基座上方;所述旋转装置安装在固定支架上;所属真空吸盘位于旋转装置上方;所述真空发生器位于真空吸盘右下方,真空发生器与真空吸盘相连通;所述可调节弹簧数量为三,可调节弹簧之间呈120°分布,可调节弹簧位于基座与固定框之间;所述感应装置位于固定框上方;本装置可以有效保证晶圆片水平固定在真空吸盘上,从而保证晶圆片表面涂覆胶的厚度均匀。
- 一种晶圆片光刻工艺
- [发明专利]一种光刻机用晶圆片匀胶装置-CN201810534084.5有效
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侯玉闯;薛鹏
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江西维易尔半导体设备有限公司
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2018-05-29
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2021-06-08
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G03F7/16
- 本发明涉及晶圆片光刻技术领域,尤其涉及一种光刻机用晶圆片匀胶装置,所述匀胶装置包括固定框、基座、水平调节装置、固定支架、旋转装置、真空吸盘、真空发生器、可调节弹簧和感应装置;所述基座位于固定框上部;所述水平调节装置固定在固定框内;所述固定支架安装在基座上方;所述旋转装置安装在固定支架上;所属真空吸盘位于旋转装置上方;所述真空发生器位于真空吸盘右下方,真空发生器与真空吸盘相连通;所述可调节弹簧数量为三,可调节弹簧之间呈120°分布,可调节弹簧位于基座与固定框之间;所述感应装置位于固定框上方;本装置可以有效保证晶圆片水平固定在真空吸盘上,从而保证晶圆片表面涂覆胶的厚度均匀。
- 一种光刻机用晶圆片匀胶装置
- [实用新型]一种可调平衡的吸盘安装板-CN202320910082.8有效
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万琪
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苏州万集机械有限公司
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2023-04-21
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2023-10-27
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B66C1/02
- 本实用新型公开了吸盘技术领域的一种可调平衡的吸盘安装板,包括吊接梁,吊接梁的上表面安装有两组连接支架,两组连接支架的底部连接有U型框,且U型框内设有调节单元,调节单元包括两组螺纹套,两组螺纹套的底部均安装有联动件,吊接梁的两侧外壁均设有吸盘安装板,两组吸盘安装板内均开设有与联动件相适配的开槽,联动件的底部安装有机盒,机盒的底部设有两组滑动连接的连接板,且连接板的下表面设有多组吸盘本体,可调节相邻机盒底部吸盘的左右位置,可通过改变吸盘的位置来使吊接物保持平衡,避免吸盘安装板出现倾斜而导致吊接物掉落;且可调节前后相邻吸盘之间的位置,吸盘可与不同尺寸的吊接物连接,使用局限性小。
- 一种可调平衡吸盘安装
- [实用新型]一种可调节半径的吸盘式画圆器-CN201120040275.X无效
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章则雷
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章则雷
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2011-02-11
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2011-09-14
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B43L9/04
- 本实用新型涉及一种可调节半径的吸盘式画圆器。所述可调节半径的吸盘式画圆器包括画圆器本体,所述画圆器本体的一端设有转轴,所述转轴上连接有吸盘,所述画圆器本体上具有通孔和刻度值,所述画圆器本体上穿设有半径调节部,所述半径调节部位于画圆器本体上方的部分具有读数孔和粉笔固定孔使用本实用新型可调节半径的吸盘式画圆器画圆时,根据所要画圆的半径大小,将半径调节部沿画圆器本体刻度值的方向作左右移动,再将粉笔放于粉笔固定孔内,通过吸盘将画圆器固定在黑板上,并通过转轴旋转画圆器本体,通过粉笔固定孔内的粉笔即可画出具有相应半径的圆
- 一种调节半径吸盘式画圆器
- [实用新型]一种抓取机构-CN201420182821.7有效
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吕绍林;杨愉强;吴小平;孙高
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苏州博众精工科技有限公司
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2014-04-16
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2014-09-03
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B25J15/06
- 本实用新型涉及一种抓取机构,其连接板的两侧分别安装有一个气缸固定板,气缸固定板上安装有伸缩气缸机构;伸缩气缸机构的升降板的下端连接有两组吸取机构;吸取机构包括导向铁、吸盘固定架、调节螺丝、导向销和吸盘,导向铁安装在升降板下方,导向铁上左右两侧分别通过调节螺丝安装有一个吸盘固定架,且每个吸盘固定架与导向铁之间分别通过导向销导向,调节螺丝松动或者拧紧,可调节吸盘固定架的宽度位置;吸盘固定架上设有一槽孔,吸盘安装在槽孔处,且吸盘的位置可调节,吸盘下端吸附产品;本实用新型工作效率高,可根据不同的产品调节吸盘的吸附位置,同时能够适应不同高度的产品,达到吸附产品稳定、牢靠。
- 一种抓取机构
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