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[发明专利]基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及N×N阵列-CN202211240829.X在审
发明人：戴道锌;胡寅鹏;李欢 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及阵列。包括基底以及置于基底上的光学结构和机械结构；其中光学结构包括固定波导反射镜和可移动波导反射镜，固定波导反射镜固定于基底布置，可移动波导反射镜悬空于基底布置；固定波导反射镜和可移动波导反射镜之间通过一对半折叠弹簧连接，固定波导反射镜和可移动波导反射镜上均设置有亚波长反射面。本发明实现了光路切换的效果，具有带宽范围大、插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。
基于移动波导反射 mems 开关阵列

[发明专利]用于将基点光源与反射镜结构对准的装置及方法-CN200580008544.1无效
发明人：安东尼·麦格利卡 -专利权人：麦格设备有限公司
申请日： 2005-03-08 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： F21L4/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种组合，用于将基点光源相对于反射镜轴线进行对准。该组合包括反射镜、具有基点光源的光源、以及可移动光源保持件。可移动保持件可以利用驱动件而移动。反射镜具有：第一开口端部，用于发射光束；第二端部；轴线，在第一和第二反射镜端部之间延伸。光源固定到可移动保持件上，并设置在反射镜的第二端部附近。驱动件在驱动接口上可操作地耦合至可移动保持件，用于相对于反射镜的轴线来移动基点光源，并将基点光源与反射镜轴线和反射镜焦点对准。提供了采用该组合的手电筒。
用于基点光源反射结构对准装置方法

[发明专利]反射镜自清洁装置及太阳能光热发电系统-CN201710607675.6有效
发明人：兰宝胜 -专利权人：龙岩智康太阳能科技有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明属于反射镜清洁技术领域，尤其涉及一种反射镜自清洁装置及太阳能光热发电系统，其反射镜自清洁装置用于清洁可摆动的反射镜，包括两组移动组件和清洁组件，清洁组件的两侧分别与两移动组件连接，两移动组件均包括固定板和可转动地设于固定板上的滚轮组，两固定板分别位于反射镜的相对两侧，且两滚轮组均与反射镜表面接触；当反射镜摆动时，两滚轮组分别沿反射镜的表面来回滚动，且两固定板带动清洁组件贴附于反射镜的上表面以对反射镜的上表面进行清洁。转动架转动以追踪太阳，两移动组件则利用反射镜两端的高度变化，使两移动组件分别沿反射镜两侧边缘在两端之间来回移动，进而带动清洁组件清洁在反射镜，无需耗电驱动清洗，发电效率高。
反射清洁装置太阳能光热发电系统

[实用新型]反射镜自清洁装置及太阳能光热发电系统-CN201720906149.5有效
发明人：兰宝胜 -专利权人：深圳市智康新能科技有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型属于反射镜清洁技术领域，尤其涉及一种反射镜自清洁装置及太阳能光热发电系统，其反射镜自清洁装置用于清洁可摆动的反射镜，包括两组移动组件和清洁组件，清洁组件的两侧分别与两移动组件连接，两移动组件均包括固定板和可转动地设于固定板上的滚轮组，两固定板分别位于反射镜的相对两侧，且两滚轮组均与反射镜表面接触；当反射镜摆动时，两滚轮组分别沿反射镜的表面来回滚动，且两固定板带动清洁组件贴附于反射镜的上表面以对反射镜的上表面进行清洁。转动架转动以追踪太阳，两移动组件则利用反射镜两端的高度变化，使两移动组件分别沿反射镜两侧边缘在两端之间来回移动，进而带动清洁组件清洁在反射镜，无需耗电驱动清洗，发电效率高。
反射清洁装置太阳能光热发电系统

[发明专利]微波段高分辨迈克尔逊干涉测量系统-CN201510955887.4在审
发明人：石中兵;丁玄同 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： G01R23/16 文献下载
摘要：本发明属于微波频谱测量技术领域，具体公开一种微波段高分辨迈克尔逊干涉测量系统，包括微波分束光栅、固定反射镜、可动反射镜、可动反射镜运动系统、微波探测系统和第二固定反射镜；可动反射镜为由多个反射镜连接而成的组合体，可动反射镜的左侧设有第二固定反射镜，第二固定反射镜与可动反射镜配合将入射光路经过多次反射后沿原光路返回回去。本发明通过设置可动反射镜和第二固定反射镜的组合，使可动反射镜在移动相同距离的条件下，增加了微波由可动反射系统引起的程差，提高迈克尔逊干涉系统的空间分辨率。
微波分辨迈克干涉测量系统

[实用新型]微波段高分辨迈克尔逊干涉测量系统-CN201521065945.8有效
发明人：石中兵;丁玄同 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： G01R23/16 文献下载
摘要：本实用新型属于微波频谱测量技术领域，具体公开一种微波段高分辨迈克尔逊干涉测量系统，包括微波分束光栅、固定反射镜、可动反射镜、可动反射镜运动系统、微波探测系统和第二固定反射镜；可动反射镜为由多个反射镜连接而成的组合体，可动反射镜的左侧设有第二固定反射镜，第二固定反射镜与可动反射镜配合将入射光路经过多次反射后沿原光路返回回去。本实用新型通过设置可动反射镜和第二固定反射镜的组合，使可动反射镜在移动相同距离的条件下，增加了微波由可动反射系统引起的程差，提高迈克尔逊干涉系统的空间分辨率。
微波分辨迈克干涉测量系统

[发明专利]傅里叶变换光谱仪和傅里叶变换光谱方法-CN202180047113.5在审
发明人： N·温苏里;T·埃希特迈尔 -专利权人：曼彻斯特大学
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01J3/26 文献下载
摘要：一种傅里叶变换光谱仪100，包括干涉仪10，所述干涉仪包括固定反射镜11、可移动反射镜12和检测器101，其中：所述反射镜11、12彼此平行定位并且形成光腔；所述可移动反射镜12能够操作以相对于所述固定反射镜11移动以改变所述光腔的大小；所述反射镜中的第一反射镜被定位成使得所接收的来自样品的光14穿过所述第一反射镜的背面进入所述光腔；所述检测器101被定位并且能够操作以检测已经穿过所述反射镜中的第二反射镜的背面离开所述光腔的光并且输出干涉图；并且所述反射镜11、12彼此相距一定距离，使得所述可移动反射镜处于或能够移动到其中在所述干涉仪内反射的所接收的光14去往所述检测器101的至少两条路径16、31具有相等长度的位置。
傅里叶变换光谱仪光谱方法

[发明专利]一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪的使用方法-CN201510143547.1有效
发明人：张白;康学亮;毛建东 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪的使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面，微动角反射镜连接在微动平台上；该微动平台优选为压电陶瓷。该改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动角反射镜发生位移，配合测量角反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高该激光干涉仪的测量精度
一种移动补偿反射激光干涉仪使用方法

[发明专利]用于干涉仪的反射镜轴承-CN201880046167.8有效
发明人： J·M·科芬 -专利权人：热电科学仪器有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本公开内容的方面针对用于干涉仪的反射镜轴承。示例反射镜轴承包括固定不动的安装构件和可移动反射镜组件，可移动反射镜组件被构造成能沿其纵向轴线相对于安装构件滑动地移动。可移动反射镜组件包括管，该管被构造成在管的一个端部处接收安装构件的端部。可移动反射镜组件还包括耦接到管的相反端部的反射镜。驱动磁体设置在管内，并被构造成在反射镜轴承处于组装构造时被接收在安装构件的镗孔内。
用于干涉仪反射轴承

[发明专利]光开关及其制造方法和具有光开关的光路切换装置-CN02157510.X无效
发明人：牧尾论 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2002-09-18 - 公布日： 2003-05-14 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：一种光开关，包括1根输入用光纤、2根输出用光纤、反射来自输入用光纤的光束并使之入射到一个输出用光纤的固定式反射镜、来往在来自输入用光纤的光束的光路上的可移动反射镜、和驱动可移动反射镜的装置，当由驱动装置将可移动反射镜驱动到遮住光路的位置时，来自输入用光纤的光束由可移动反射镜反射，入射到另一输出用光纤上。
开关及其制造方法有光切换装置

[发明专利]大口径连续可调空心角锥反射镜装置和调整方法-CN202011483710.6有效
发明人：王利娟;孙建锋;侯培培;鲁伟;栾竹 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：一种大口径连续可调空心角锥反射镜装置和调整方法，装置包括空心角锥反射镜及其调整装置，所述的空心角锥反射镜是由一块平面反射镜和一块直角反射镜组成，所述的调整装置包括用于调整平面反射镜的角度调节装置，用于固定平面反射镜的固定装置和直角反射镜的固定装置，以及用来移动所述的平面反射镜或是直角反射镜的移动装置，所述的平面反射镜通过平面反射镜角度调节装置和固定装置置于所述的移动装置的一端，所述的直角反射镜是由两块平面反射镜胶合而成，通过直角反射镜的固定装置置于所述的移动装置的另一端本发明易于制作加工，可连续改变空心角锥反射镜的光学口径，从而满足对不同口径光学元器件或光学设备的测量需求。
口径连续可调空心反射装置调整方法

[发明专利]反射镜倾斜致动-CN201480051999.0有效
发明人： N·Y·陈;R·J·拓普利斯;S·韦伯斯特 -专利权人：苹果公司
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G03B17/17 文献下载
摘要：一些实施例包括图像传感器和变焦镜头组件，该变焦镜头组件包括被布置成独立于彼此移动的多个可移动镜头元件。在一些实施例中，多个可移动镜头元件共享光轴。一些实施例包括用于将光接纳到微型相机的镜头和反射镜组件。镜头和反射镜组件包括折叠光学器件布置，使得光通过第一镜头进入镜头和反射镜组件，其中第一镜头的光轴与多个可移动镜头元件正交。镜头和反射镜组件包括用于使光路从第一镜头的光轴折叠到多个可移动镜头元件的光轴的反射镜，并且镜头和反射镜组件还包括用于使反射镜倾斜的致动器。
反射倾斜

[发明专利]一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法-CN201510144017.9有效
发明人：张白;潘俊涛;康学亮 -专利权人：北方民族大学
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上，微动平台优选为压电陶瓷该新型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动平面反射镜发生位移，配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高激光干涉仪的测量精度
平面反射镜激光干涉仪微动平台测量微动光电探测器激光干涉移动补偿分光镜激光源可移动新型平面压电陶瓷小数反射镜优选干涉配合

[发明专利]光刻设备以及器件制造方法-CN201080051846.8有效
发明人： J·范斯库特;克恩·万英根谢诺;G·德维里斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2010-09-08 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在光刻设备中，使用场反射镜设置照射模式，场反射镜包括多个可移动琢面以引导辐射至光瞳琢面反射镜上的可选定位置。在一场琢面反射镜有缺陷且不能被设置到期望位置的情形中，可移动琢面反射镜中的另一个被设置到与其期望位置不同的校正位置，以便至少部分地缓解有缺陷的琢面反射镜的有害影响。
光刻设备以及器件制造方法

[发明专利]分光特性测量装置以及分光特性测量方法-CN201380011702.3有效
发明人：石丸伊知郎 -专利权人：国立大学法人香川大学
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： G01J3/453 文献下载
摘要：本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱
分光特性测量装置以及测量方法

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