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- [发明专利]半导体工艺腔室-CN202210869435.4有效
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赵万辉
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-07-22
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2023-08-18
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C30B25/08
- 本发明提供一种半导体工艺腔室，包括腔室本体、承载部件和调节组件；其中，承载部件设置在腔室本体内，用于承载晶圆；腔室本体包括环结构、顶结构和底结构，环结构在其轴向上设置在顶结构和底结构之间，且环绕在承载部件的周围，顶结构、环结构和承载部件之间形成用于进行工艺反应的反应腔；调节组件与顶结构连接，用于调节顶结构的高度位置，以调节反应腔的容积。本发明提供的半导体工艺腔室，能够调节反应腔的容积，从而能够调节生长速率，进而能够提高适用性及使用灵活性。
- 半导体工艺
- [实用新型]一种多功能反应釜-CN202021900051.7有效
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李建方
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苏州市腾中钛设备制造有限公司
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2020-09-03
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2021-05-28
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B01J19/24
- 本实用新型涉及反应设备技术领域，具体为一种多功能反应釜，包括外壳，所述外壳内部底侧固定连接有反应室一，所述反应室一顶部固定连接有隔板一，所述隔板一顶部固定连接有隔板二，所述隔板一与隔板二之间开设有反应室二，述反应室一外部顶侧固定连接有出料管一，所述出料管一贯穿外壳侧壁，所述反应室二外部靠近隔板二的一端固定连接有出料管二，所述出料管二贯穿外壳侧壁，所述出料管一与出料管二外部远离外壳的一端开设有螺纹圈一。本实用新型通过设置反应室一和反应室二，可以产生不同温度或者压强条件的两个反应室对同一反应物进行反应，使得本装置的使用功能效果多样化。
- 一种多功能反应
- [发明专利]一种电解二氧化碳用三室反应器-CN202210133544.X在审
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曹耀镱;张贤文;张学飞;罗楚文
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安徽伏碳科技有限公司
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2022-02-14
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2022-04-22
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C25B9/21
- 本发明公开了一种电解二氧化碳用三室反应器，本发明使用时，电解二氧化碳三室反应器组件的一侧通过顶压固定组件顶压安插有阳离子交换膜组件和惰性微孔膜组件，且电解二氧化碳三室反应器内部被阳离子交换膜组件和惰性微孔膜组件分隔成电解二氧化碳中间室、电解二氧化碳阴极室和电解二氧化碳阳极室，电解二氧化碳三室反应器组件的一端通过顶压固定组件顶压安插有阳极电解片组件，且电解二氧化碳三室反应器组件的另一端通过顶压固定组件顶压安插有阴极电解片组件，通过顶压端板、衔接转动轴板和摁压转动轴板在顶压固定轴耳板上的转动配合，实现顶压顶紧接触头的端部下压，通过摁压转动轴板的抬起和下方，实现顶压顶紧接触头的下压固定和解除下压。
- 一种电解二氧化碳用三室反应器
- [发明专利]大反应体积比的便携式圆筒状无膜燃料电池-CN202011408220.X在审
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李俊;王灿;邹亚男;谭锦珍;薛晓玲
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重庆大学
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2020-12-05
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2021-03-19
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H01M8/0271
- 本发明公开了一种大反应体积比的便携式圆筒状无膜燃料电池，包括阳极钛丝、上顶空盖、电池反应腔室、多孔薄塑料套筒、下顶空盖和阴极集流体；其特征在于：所述电池反应腔室由绕制成圆筒状的阴极碳布构成，且圆筒状的阴极碳布的一端向外延伸，形成阴极集流体；该阴极碳布集催化层、扩散层、疏水层、导电区于一体，且催化层位于电池反应腔室的内壁；所述电池反应腔室外套设有多孔薄塑料套筒；在电池反应腔室的上端面和下端面分别设置有上顶空盖和下顶空盖，所述上顶空盖设置有电解液注射口，电解液通过该电解液注射口进入电池反应腔室内；所述阳极钛丝的一端穿过上顶空盖，插入电池反应腔室内，该阳极钛丝表面修饰有催化剂；本发明可广泛应用在电子、能源等领域。
- 反应体积便携式圆筒状燃料电池
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