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- [发明专利]一种含胍基苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法-CN202110059146.3在审
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邓万菁
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邓万菁
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2021-01-18
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2021-06-04
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C23F11/00
- 本发明公开了一种含胍基苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法，包括：(1)3,5‑双(溴甲基)苯甲酸与N‑甲基‑1,2‑苯二胺进行酰化、环化反应，得到2‑(3,5‑双(溴甲基)苯基)‑1‑甲基‑苯并咪唑；(2)2‑(3,5‑双(溴甲基)苯基)‑1‑甲基‑苯并咪唑与四甲基胍反应制备1‑(1‑甲基‑苯并咪唑‑2‑基)‑3,5‑双(四甲基胍基亚甲基)苯，即含胍基苯并咪唑缓蚀剂；进一步地，1‑(1‑甲基‑苯并咪唑‑2‑基)‑3,5‑双(四甲基胍基亚甲基)苯季铵化后制备得到一种含胍盐多阳离子缓蚀剂；本发明提供的两种缓蚀剂分子中N原子的孤对电子离域共轭，具有很强的稳定性，在金属表面有很强的吸附力，并且具有低毒、无刺激性气味
- 一种含胍基苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法
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