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[实用新型]谐振器、滤波器及电子设备-CN202221993415.X有效
发明人：李天年;杜波;王华磊;倪建兴 -专利权人：锐石创芯（重庆）科技有限公司
申请日： 2022-07-30 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种谐振器、滤波器及电子设备，谐振器包括压电基片、叉指换能器与反射结构，叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指和多个第二电极指。第一电极指与第一汇流条连接并朝向第二汇流条延伸，第二电极指与第二汇流条连接并朝向第一汇流条延伸。叉指换能器包括位于至少部分第一电极指上的至少一个活塞结构以及位于至少部分第二电极指上的至少一个活塞结构，位于第一电极指上的活塞结构中的至少一个包括厚度不同的两个金属层，位于第二电极指上的活塞结构中的至少一个包括厚度不同的两个金属层
谐振器滤波器电子设备

[发明专利]电容式压力传感器及压力测量电路-CN201710428611.X在审
发明人：霍红颖;湛邵斌;胡涛;卢鑫;陈三风 -专利权人：深圳信息职业技术学院;湛邵斌
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明适用于传感器技术领域，提供了一种电容式压力传感器及压力测量电路，电容式压力传感器包括：设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接；叉指电容包括固定电极和可动电极，固定电极设置在衬底上，可动电极设置可动薄膜上，固定电极与可动电极交叉且位于同一平面上。由于叉指电容的可动电极直接设置在可动薄膜上，当可动薄膜受到外界压力发生形变时，会使得可动电极的发生较大的形变量，造成可动电极相对于固定电极发生较大的位移，导致叉指电容的电容值发生较大变化，能够有效提高电容式压力传感器的测量灵敏度
可动电极可动薄膜电容式压力传感器叉指电容固定电极衬底压力测量电路传感器技术领域外界压力直接设置灵敏度电容形变大变化形变量一空腔空腔测量

[发明专利]一种MOM电容器及电容调整方法-CN201510237651.7有效
发明人：鞠韶复 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明涉及电容器领域，尤其涉及一种MOM电容器及电容调整方法，在每层金属层的第一电极和第二电极连接一电压开关装置，通过控制电压开关装置施加到每层金属层的第一电极和第二电极上的电压的正负极性，改变连接在所述第一电极一侧的第一电极叉指和连接在所述第二电极一侧的第二电极叉指的正负极性，以实现行方向上各电极叉指的正负极性交替间隔排列，列方向上各电极叉指的正负极性混合排列，来精细调整MOM电容器的电容。
一种 mom 电容器电容调整方法

[实用新型]电容式压力传感器及压力测量电路-CN201720666871.6有效
发明人：霍红颖;湛邵斌;胡涛;卢鑫;陈三风 -专利权人：深圳信息职业技术学院;湛邵斌
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型适用于传感器技术领域，提供了一种电容式压力传感器及压力测量电路，电容式压力传感器包括设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接；叉指电容包括固定电极和可动电极，固定电极设置在衬底上，可动电极设置可动薄膜上，固定电极与可动电极交叉且位于同一平面上。由于叉指电容的可动电极直接设置在可动薄膜上，当可动薄膜受到外界压力发生形变时，会使得可动电极的发生较大的形变量，造成可动电极相对于固定电极发生较大的位移，导致叉指电容的电容值发生较大变化，能够有效提高电容式压力传感器的测量灵敏度
电容压力传感器压力测量电路

[发明专利]一种自驱动式氧锌镁紫外探测器及其制备方法-CN201410120262.1无效
发明人：陈洪宇;刘可为;张振中;姜明明;谢修华;申德振 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种自驱动式氧锌镁紫外探测器及其制备方法，属于紫外探测技术领域，该制备方法包括：采用金属有机化学气相沉积法在衬底上制备氧锌镁薄膜层；在步骤一得到的氧锌镁薄膜层上通过真空热蒸发的方法制备出Au电极层；通过湿法刻蚀所述Au膜层制备出多对叉指电极,即如图所示连接有至少一个第一叉指电极的第一电极和连接有至少一个第二叉指电极的第二电极；所述第一叉指电极与所述第二叉指电极像张开的双手一样相互插在一起。
一种驱动式氧锌镁紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种周向声表面波加热元件-CN202010490419.5在审
发明人：李廷华;李寿波;巩效伟;朱东来;洪鎏;韩熠;吴俊;张霞;赵伟;吕茜 -专利权人：云南中烟工业有限责任公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种周向声表面波加热元件，其主要包括：压电基底(11)、叉指电极结构和保护底座(3)；所述压电基底(11)为筒状，其一端的筒内壁上有多个叉指电极结构；所述保护底座(3)的上端套在所述压电基底(11)有叉指电极结构端的筒内，所述保护底座(3)的上端外壁与所述压电基底(11)的筒内壁之间为叉指电极结构。
一种表面波加热元件

[发明专利]一种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极及其制备方法-CN202011251512.7在审
发明人：奚亚男;崔皓博;傅仁利;张鑫垚 -专利权人：惠州市钰芯电子材料有限公司;南京航空航天大学
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： C23C2/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极及其制备方法。本发明采用磁控溅射的方法在陶瓷表面溅射金属层，并通过光刻的方式在金属层上形成叉指形状，采用热镀的方法将金属锡镀到电极表面，然后用钝化剂对锡层进行钝化。这种带有热镀锡钝化保护膜的叉指电极可以使用在较为复杂的工作环境中，相比于无保护层的叉指电极，其在高温高湿或含盐量较高的环境中具有更长的寿命，同时本发明操作简单、成本低且性能优异，适合大面积推广。
一种带有镀锡钝化保护膜电极及其制备方法

[发明专利]一种基于声表面波的多液滴操作装置-CN202211343734.0在审
发明人：张耀东;杨颖 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B01J19/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声表面波的多液滴操作装置，包含铌酸锂基板、N个叉指电极、操作板、吸振胶和控制模块；操作板设置在铌酸锂基板中心，N个叉指电极绕操作板周向均匀设置；操作板上设有用于液滴驱动和液滴反应的规划路径；控制模块和N个叉指电极电气相连，用于控制所述N个叉指电极发出相应的声表面波驱动操作板上的液滴在规划路径上运动。
一种基于表面波多液滴操作装置

[发明专利]声表面滤波器、声表面滤波器的加工方法和通信设备-CN201510992142.5有效
发明人：叶扬韬 -专利权人：宇龙计算机通信科技(深圳)有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明提供了一种声表面滤波器、声表面滤波器的加工方法和通信设备，其中，声表面滤波器包括：具有压电效应的基底；输入叉指电极和输出叉指电极，设置于基底的指定区域；双共振复合结构，设置于输入叉指电极和输出叉指电极之间的基底的预留区域
表面滤波器加工方法通信设备

[实用新型]一种周向声表面波加热元件-CN202020983491.7有效
发明人：李廷华;李寿波;巩效伟;朱东来;洪鎏;韩熠;吴俊;张霞;赵伟;吕茜 -专利权人：云南中烟工业有限责任公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种周向声表面波加热元件，其主要包括：压电基底(11)、叉指电极结构和保护底座(3)；所述压电基底(11)为筒状，其一端的筒内壁上有多个叉指电极结构；所述保护底座(3)的上端套在所述压电基底(11)有叉指电极结构端的筒内，所述保护底座(3)的上端外壁与所述压电基底(11)的筒内壁之间为叉指电极结构。
一种表面波加热元件

[发明专利]一种动态气体浓度测试装置-CN202111304339.7在审
发明人：李龙;邓保家;唐炬;姚强;张施令;李柯;苗玉龙;肖淞 -专利权人：国网重庆市电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司;武汉大学
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：所述测试腔体的侧壁上开设有热电偶导线孔、进出气孔和传感器信号线孔，所述进出气孔用于连通所需测试气体；所述测试腔体的内底部设有基底加热板，所述基底加热板与测试腔体的内底部之间设有隔热层，防止腔体整体过热；所述基底加热板的上方设有气体传感叉指电极固定结构，所述气体传感叉指电极固定结构上固定连接有叉指电极，所述叉指电极的信号通过气体传感叉指电极固定结构的电极传输至外部信号接受侧；其有益效果在于：本发明的测试装置设有四个气敏传感器，能够满足一次检测多种气体的需求
一种动态气体浓度测试装置

[发明专利]谐振器、谐振器的制造方法及滤波器-CN202310189686.2在审
发明人：张汪根;樊永辉;许明伟;樊晓兵 -专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振器、谐振器的制造方法及滤波器，其中，谐振器包括高机电耦合压电层、叉指换能器和高声波速压电层，其中，叉指换能器设置在高机电耦合压电层的顶部，叉指换能器的两端分别安装有输入电极和输出电极；高声波速压电层层叠设置在高机电耦合压电层的顶部，高声波速压电层的底部对应叉指换能器的位置形成有多个开口朝下的凹槽，高声波速压电层的顶部对应各凹槽的位置形成向上凸出的凸起，高声波速压电层对应输入电极和输出电极的位置分别开设有两个通孔，输入电极和输出电极均穿过对应的通孔。本发明通过将叉指换能器夹在高机电耦合压电层和高声波速压电层之间，使得该谐振器同时具有压电损耗低，频率高和声速高的优点。
谐振器制造方法滤波器

[发明专利]一种光充电电池结构二维化的构建与3D打印制备方法及应用-CN202310524087.1在审
发明人：王要兵;焦磊;张祥;周恩博 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所;闽都创新实验室
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01M14/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种光充电电池结构二维化的构建与3D打印制备方法，所述方法包括以下步骤：(1)将3D打印电极材料注射到二维叉指化电极基底上，固化，得到含有电极材料的二维叉指化电极基底；(2)在含有电极材料的二维叉指化电极基底涂覆电解质，得到二维叉指化光充电电池。本申请的二维叉指化光充电电池具备较高可光照面积、光捕获性能，同时具备短离子传输距离，实现较低的电池内阻。
一种充电电池结构二维构建打印制备方法应用

[发明专利]一种声表面波滤波器中叉指换能器的电极图纹制造方法-CN202211179959.7在审
发明人：李其凡;史晓华;袁国华;徐明金 -专利权人：南昌光澜半导体有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开一种声表面波滤波器中叉指换能器的电极图纹制造方法，包括以下步骤：在压电基材上镀制电极薄膜；涂布压印胶；压印间隔排列的台阶，该台阶形貌与后续叉指电极图纹相同；进行蚀刻，完成叉指换能器的制造；或，包括以下步骤：在压电基材上涂布压印胶，再压印间隔排列的台阶，该台阶形貌与后续叉指电极图形相互补；在所述台阶上进行刻蚀、镀制电极薄膜；再以浸泡、剥离方式，将台阶上电极薄膜剥离，完成叉指换能器的制造。
一种表面波滤波器中叉指换能器电极制造方法

[发明专利]背板增强型叉指电极金刚石紫外探测器的制备方法-CN201811063616.8有效
发明人：代兵;刘本建;朱嘉琦;刘康;杨磊;韩杰才 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：背板增强型叉指电极金刚石紫外探测器的制备方法，本发明属于高能射线及粒子探测领域，它为了解决现有金刚石叉指电极紫外探测器无法有效收集金刚石体内载流子而导致探测效率低的问题。制备方法：一、对金刚石进行预处理及清洗；二、通过磁控溅射或电子束蒸发在清洗后的金刚石的下表面制备背板电极；三、通过磁控溅射或电子束蒸发在金刚石的上表面制备叉指结构电极；四、通过导线将金刚石上表面的其中1个叉指电极与背板电极连接。本发明的探测器为背板增强叉指型结构，能够有效收集金刚石体内紫外光激发的载流子，提高探测效率，在230nm的紫外光照、200V偏压下，背板增强型探测器较传统探测器探测效率提高230％以上。
背板增强型叉指电极金刚石紫外探测器制备方法