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- [发明专利]一种强微腔器件叠层阳极的制备方法-CN202110636299.X有效
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曹贺;刘晓佳;吕迅;刘胜芳;赵铮涛;潘倩倩
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安徽熙泰智能科技有限公司
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2021-06-08
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2023-04-07
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H10K71/60
- 本发明提供一种应用于强微腔器件技术领域的强微腔器件叠层阳极的制备方法,所述的强微腔器件叠层阳极的制备方法的步骤为:S1.金属反射层及B阳极成膜;S2.B‑HM制备;B‑HM制备时,对完成B阳极工艺的wafer进行PECVD成膜工艺,选择SiO或SiN膜层,膜层厚度选择3000A~4000A;S3.G‑阳极制备;S4.G‑HM制备;S5.R‑阳极制备;S6.HM去除,完成叠层阳极制备。本发明所述的强微腔器件叠层阳极的制备方法,通过改变制备工艺,通过错位光刻,减少光刻次数,在确保较少的光刻次数条件下,在制备过程中,对每个子像素阳极均进行了保护,确保阳极制程的良率,通过硬掩膜保护,避免在制备过程中对像素阳极的损伤,从而完成对叠层阳极的制备。
- 一种强微腔器件阳极制备方法
- [实用新型]一种电子元器件用的银浆制备装置-CN202223554469.9有效
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薛海龙
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扬州虹运电子材料有限公司
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2022-12-29
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2023-06-02
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H01B13/00
- 本实用新型属于电子元器技术领域,尤其涉及一种电子元器件用的银浆制备装置,包括固定件和支撑柱,所述固定件内壁固定安装有制备罐,所述制备罐底端固定连接有出料管,所述制备罐内部设置有搅拌装置,所述固定件外壁设置有冲洗装置,所述制备罐外壁上方设置有制备装置。该电子元器件用的银浆制备装置,通过设置冲洗装置,可以在银浆制备完成后,可以将制备罐内部残留的物料进行冲洗,避免残留物影响之后银浆的制备,进而提升了银浆的质量,通过设置制备装置,可以将制备银浆的不同的物料分别存放,进而避免了过多物料混在一起从而导致银浆质量降低的情况,通过设置搅拌装置,将制备银浆的物料进行充分混合,进一步地提升了银浆的质量。
- 一种电子元器件制备装置
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