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- [实用新型]一种明暗场兼容光源及检测装置-CN202223290056.4有效
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周杰
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广东奥普特科技股份有限公司
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2022-12-08
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2023-05-09
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G03B15/02
- 本实用新型公开了一种明暗场兼容光源及检测装置,明暗场兼容光源,其特征在于,包括发光单元和半透半反单元,半透半反单元的一侧设置有明场光斑工位,半透半反单元的另一侧设置有暗场光斑工位;发光单元发出的光线射入半透半反单元,半透半反单元包括射向明场光斑工位的明场光轴和射向暗场光斑工位的暗场光轴;明场光轴与竖直方向的夹角小于暗场光轴与竖直方向的夹角。通过上述设置,使得发光单元发出的一部分光线能以高角度形成明场光斑,另一部分光线能以低角度形成暗场光斑;由此,本实用新型的明暗场兼容光源,能够同时发出暗场光斑与明场光斑,并且仅需使用一个发光单元,节省了物料成本
- 一种明暗兼容光源检测装置
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