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- [发明专利]狭缝式涂布模具及其制造方法-CN200710009230.4有效
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黄向明;陈伯陵;吴炳基
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泉州新日成热熔胶设备有限公司
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2007-07-16
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2009-01-21
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B05C1/04
- 狭缝式涂布模具及其制造方法,模具包括模块、以及沿模块长度方向间隔设置的多个分配器和多个加热装置。每个分配器具有由液体通道连通的液体入口和液体出口、以及可操作地开/闭液体通道的阀组件。在模块中具有沿长度方向延伸且开口于模块前端的狭缝,在狭缝内形成有多个均流槽。在模块内形成有至少一个进液管道、沿长度方向水平延伸且与进液管道连通的蓄液腔、以及与多个分配器对应的多个第一液体歧管和多个第二液体歧管,每个第一液体歧管连通蓄液腔与对应的分配器的液体入口、每个第二液体歧管连通狭缝内的均流槽与对应的分配器的液体出口其制造方法包括在模拟工作状态下磨削狭缝开口端面使其平面度达到要求的精度。
- 狭缝式涂布模具及其制造方法
- [实用新型]全波长刻蚀工艺终点控制仪-CN201620704919.3有效
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睢智峰
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上海陛通半导体能源科技股份有限公司
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2016-07-06
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2017-04-12
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H01L21/06
- 全波长刻蚀工艺终点控制仪,它由光纤、入射狭缝、垂直滑块、水平滑块、全息凹面光栅以及光栅固定盘、CCD光电探测器和盒体组成。入射光线由光纤导入并照射在入射狭缝上,光纤接口和入射狭缝都固定在可以上下滑动或左右滑动的滑块上,通过入射狭缝的光照射在固定在光栅圆盘处的平面谱全息凹面光栅上,不同波长的光经光栅衍射,照射在CCD探测器上所述的垂直滑块和水平滑块上有光纤入口和入射狭缝,两块滑块可在水平和垂直方向上独立滑动;所述的光栅圆盘用于固定平面谱全息凹面光栅。本实新型优点是不采用马达传动装置,只采用一块光栅,提高设备的稳定性、便捷性,在光线入口和光栅位置设置可调性,使设备易于调试。
- 波长刻蚀工艺终点控制
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