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- [发明专利]临界入射干涉仪-CN201010265566.9有效
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栗山丰;大峠怜也
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株式会社三丰
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2010-08-05
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2011-03-30
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G01B9/02
- 本发明涉及一种临界入射干涉仪，其包括：光束分离部分，被构造成将来自光束源部分的光束分离为出射到测量表面的测量光束和作为测量参考的参考光束，并且被构造为使得测量光束倾斜地出射到测量表面；光束组合部分，被构造成组合参考光束和在测量表面反射的测量光束，以获得组合光束；探测部分，被构造成基于组合光束产生的干涉条纹探测测量表面轮廓；以及图像反转元件，被构造成反转测量光束或参考光束的波阵面取向，图像反转元件被设置在从光束分离部分到光束组合部分的测量光束或参考光束的光路中
- 临界入射干涉仪
- [发明专利]投影装置-CN201510317804.9有效
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钟文杰;林孟萱
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中强光电股份有限公司
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2015-06-11
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2017-12-01
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G03B21/20
- 一种投影装置包含至少一光源、合光组合、至少一光形调整元件、照明组合以及成像组合。光源用以发射至少一光束。合光组合设置于光束的行进路径上用以将光束转换成照明光束。光形调整元件设置于合光组合内且位于光束的行进路径上用以调整光束的光形，其中光束的光形经由光形调整元件调整后呈现椭圆形。照明组合设置于照明光束的行进路径上用以将照明光束转换成影像光束。成像组合设置于影像光束的行进路径上用以投射出影像光束。光形调整元件将光束的光形调整为椭圆形，使照明光束的光形也成为椭圆形，避免无效的影像光束所投射的区域与有效的影像光束所投射的区域部分重叠，造成部分无效的影像光束被投影至投影镜头而形成杂散光并影响出光效率。
- 投影装置
- [发明专利]光源装置-CN202010521727.X在审
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出岛范宏;大森雅树
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日亚化学工业株式会社
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2020-06-10
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2020-12-11
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H01S5/14
- 一种光源装置，进一步提高了通过波长光束组合而组合的激光束的输出和功率密度。具有：多个外部谐振器型激光模组(24)，其分别射出峰值波长不同的多个激光束，并且至少包含第一激光模组(24a)和第二激光模组(24b)；光束组合器(26)，其将多个激光束(B)同轴地重叠而生成波长组合光束激光模组分别具有利特罗型配置的准直激光光源和选择特定波长的光的衍射光栅，以使多个激光束以不同的角度射入光束组合器的同一区域的方式排列。从第一激光模组到光束组合器的第一距离(La)与从第二激光模组到光束组合器的第二距离(Lb)不同。
- 光源装置
- [发明专利]光学器件-CN201280026121.2有效
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N.阿贝勒;L.基彻尔
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雷模特斯有限公司
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2012-04-03
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2014-02-05
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H04N9/31
- 根据本发明，提供一种光学器件，该光学器件包括：多个光源，每个光源可操作以提供光束；至少一个光束组合器，光束组合器可操作以将来自多个光源的光束组合以提供组合光束；光束分光器，光束分光器布置成接收组合光束并且将组合光束分成主光束和辅助光束，其中辅助光束的一个或多个特性表征主光束的一个或多个特性，其中光束分光器包括第一表面和第二表面，主光束穿过第一表面从光束分光器发出，辅助光束穿过第二表面从光束分光器发出；反射镜部件，反射镜部件包括反射镜，其中反射镜部件布置成使得反射镜可以反射穿过光束分光器的第一表面发出的主光束，并且其中反射镜可以围绕至少一个振荡轴振荡以扫描主光束；其中，光学器件还包括光电二极管，光电二极管构造成接收辅助光束并且检测辅助光束的一个或多个特性，其中光电二极管构造成从与光束分光器的第一表面或第二表面中的至少一个平行偏离，以减少被引导至反射镜的杂散光的量。
- 光学器件
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