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[发明专利]一种光束整形器件-CN201110134130.0无效
发明人：林妩媚;廖志杰;邱传凯;刘银辉;邢廷文;张海波 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明是光束整形器件，其包含阵列式分布的光束整形单元，每个整形单元含有多个位相子单元，每个整形单元均能够独立实现光束整形。整形器件根据光束远场的光强分布要求利用位相反演算法获得器件位相分布数据，采用刻蚀或压印的方法在器件上形成获得的位相分布形式，从而构造出可以实现任意形状或满足不同光强分布要求的光束整形器件，尤其是可以获得光强均匀分布的光束整形器件本发明可以用于热光源、固体激光器、准分子激光器和半导体激光器等光源出射光束的变换和整形。
一种光束整形器件

[实用新型]一种激光投射模组及深度相机-CN202220888168.0有效
发明人：吴俐权;王家麒;黄泽铗;郑德金 -专利权人：奥比中光科技集团股份有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01S13/89 文献下载
摘要：激光投射模组包括外壳、光源和光整形器件；光源和光整形器件均设置在外壳内，光源与光整形器件相互间隔，光整形器件位于光源的光路上；光源用于发射入射光束；光整形器件用于对入射光束进行整形以投射到像面形成相应的出射光场；其中，光整形器件采用不同的特征参数使得出射光场的视场角大小不同。本申请可以通过调整光整形器件的特征参数的方式，实现对出射光束的视场角大小的调节；由此，如果我们想要获得出射光束的超广角视场，那么仅需对光整形器件的特征参数进行相应调整即可，从而能够很容易地使得出射光束达到超广角视场的效果
一种激光投射模组深度相机

[实用新型]微米晶气相生长装置-CN202020790915.8有效
发明人：蒋毅坚;廖逸民;闫胤洲;王强;涂冶 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：微米晶气相生长装置包括：反应腔，反应腔内设置有原料棒；光束整形元器件，每个光束整形元器件上安装有激光输出头，多个光束整形元器件围绕反应腔设置并朝向原料棒定位；其中，原料棒的顶端位于经由多个光束整形元器件调整后汇聚形成的激光聚焦光斑处本实用新型实施例提供的微米晶气相生长装置，通过设置光束整形元器件实现了光强分布的精确调控，同时将分散的光束调整成准直光束，通过多个光束整形元器件的光束聚焦，实现了聚焦光斑形状；通过设置激光输出头，将热源改为激光
微米相生装置

[实用新型]一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置-CN202020323889.8有效
发明人：刘阳;张勇飞;林杰;金岸;金鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-03-16 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量技术领域；在该装置中，光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上，环形标尺光栅固定在光束整形器件上方，斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方，光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方，电子信号处理部件位于光电转换部件上方，光源位于光束整形器件工作面的径向，准直扩束系统位于光源与光束整形器件之间；光束整形器件与被测主轴轴线重合，环形标尺光栅与光束整形器件轴线重合，斜纹指示光栅与环形标尺光栅轴线重合，光电转换部件与斜纹指示光栅轴线重合；通过将合作目标光栅与光电转换器件组合，大大减少了装置制作成本，提高测量精度。
一种基于合作目标光栅主轴径向回转误差测量装置

[发明专利]一种基于导模共振亚波长光栅编码的光束近场整形方法-CN202010050997.7有效
发明人：曾发;代万俊;张晓璐;薛峤;李森;田晓琳;宗兆玉;龙蛟;梁樾;赵军普;张君 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于导模共振亚波长光栅编码的光束近场整形方法，属于光束近场整形技术领域，在光束的传输光路中离轴放置光栅编码器件，根据整形光束的期望输出，对光栅编码器件进行编码，光束经光栅编码器件透射后分束为0级衍射光束和－1级衍射光束，所述光束为线偏振光，所述0级衍射光束经过光学滤波系统滤除高频分量，实现对光束的近场整形，本发明通过在光路中放置导模共振亚波长光栅编码器件，在空域上调控光场在不同衍射级次上的能量分配比例，光栅编码器件可采用光栅刻蚀角度编码或光栅刻蚀面积编码方式，通过后续联接光学滤波系统，仅保留0级衍射光束的低频分量，实现对线偏振光束的近场整形。
一种基于共振波长光栅编码光束近场整形方法

[实用新型]一种用于半导体晶圆的激光加工装置-CN201922386693.3有效
发明人：薛建雄;翟瑞;林小波;乔磊 -专利权人：深圳中科光子科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体晶圆的激光加工装置，包括：激光组件，所述激光组件用于发射高斯光束；整形器件，所述整形器件用于将所述高斯光束转变为平顶光束；加工组件，所述加工组件用于对晶圆进行加工；载物台，所述载物台用于放置晶圆；其中，所述激光组件发射的高斯光束经反射镜射向整形器件，所述整形器件发射的平顶光束经反射镜射向加工组件。
一种用于半导体激光加工装置

[实用新型]一种用于超导量子芯片的激光退火系统-CN202220231456.9有效
发明人：杨晖;金贤胜;张福 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于超导量子芯片的激光退火系统，包括：激光光源、光学整形器件、物镜、承载器件；所述激光光源，用于生成并输出高斯光束；所述承载器件，用于承载一超导量子芯片；所述光学整形器件，用于对所述高斯光束整形以输出平顶光束；所述物镜，用于将所述光学整形器件输出的所述平顶光束传输至所述超导量子芯片以实现退火处理。
一种用于超导量子芯片激光退火系统

[发明专利]延伸激光工具-CN202080100216.9在审
发明人： S·I·巴塔尔塞 -专利权人：沙特阿拉伯石油公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23K26/142 文献下载
摘要：一种激光工具装置，包括：工具主体；设置在工具主体中的光纤缆线，该光纤缆线包括发射激光束的激光头；同轴地设置在光纤缆线下游的整形光学器件，该整形光学器件对从激光头发射的激光束进行整形；以及附接于整形光学器件的柔性缆线柔性缆线将激光束灵活地定向到钻孔内的期望角度。
延伸激光工具

[发明专利]一种环形激光限制等离子体尺寸的装置-CN202310518632.6在审
发明人：余霞;杨世超;师肇江 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种环形激光限制等离子体尺寸的装置，包括泵浦激光器、泵浦光整形光学器件、光束收集光学器件和气室。泵浦激光器出射的激光由泵浦光整形光学器件整形为环形光束，随后经过光束收集光学器件汇聚至气室中央，维持气室中央的等离子体并限制等离子体的尺寸。本发明将泵浦激光整形为环形激光光束，设计并利用环形激光光束汇聚点附近的低功率密度区域抑制了等离子体沿泵浦激光入射方向的生长，减小了等离子体的尺寸和长宽比。
一种环形激光限制等离子体尺寸装置

[发明专利]用于电子元器件的激光清洗设备及方法-CN201910995985.9有效
发明人：肖海兵;姜家吉;周泳全;陈树林 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于电子元器件的激光清洗设备，该用于电子元器件的激光清洗设备包括机座、可移动地设置在所述机座上的加工台、设置在所述加工台上方的激光清洗头和用于产生激光束的激光发生器，所述激光清洗设备还包括设置在所述激光束的传输光路上的第一光束整形单元和第二光束整形单元，所述第一光束整形单元用于将激光发生器产生的激光束耦合进光纤，所述第二光束整形单元用于调节从所述激光清洗头发射出的聚焦光斑的形状和能量分布。本发明用于电子元器件的激光清洗设备可增强对于微电子器件的清洗效果，保证微电子器件的产品性能，同时提高清洗效率。此外，本发明还公开一种用于电子元器件的用于电子元器件的激光清洗方法。
用于电子元器件激光清洗设备方法

[发明专利]一种用于激光显微检测的双光束合路方法与装置-CN202110664441.1在审
发明人：季凌飞;薛岩;郑锦灿 -专利权人：北京工业大学;北京琅东科技有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于激光显微检测的双光束合路方法与装置。所述方法包括：双路激光的并列布置设计和独立调节；双路激光光束的偏振状态调节、光束整形优化、偏转角度调节以及激光光束的合路与调节；并通过样品反射光分束至CCD，实现显微检测过程中的样品内部成像与观测。所述的装置包括：双光束合路单元外壳、盖板、固定螺钉、双路激光入口、偏振器件、光束整形器件、偏转镜、偏转调节器件、合束器件、合路激光调节器件、分光镜、CCD、合束激光出口等。通过实现双路激光的整形、偏转和调节，可支持激光显微检测系统对芯片等微结构微器件进行快速扫描、精确检测。
一种用于激光显微检测光束方法装置

[发明专利]一种投射多光点图像的装置及方法-CN201410153833.1无效
发明人：刘辉;费璟昊;曹斌 -专利权人：长沙中科院文化创意与科技产业研究院
申请日： 2014-04-17 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： G02B27/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种投射多光点图像的装置及方法，包括发光器件，用于产生入射光束；光整形器件，用于整形所述入射光束，以在主光轴上形成虚点光源；衍射分光器件，用于将整形后的光束分离成多个子光束，以在与所述主光轴上的虚点光源共平面处会聚形成多个子虚点光源；和投影器件，用于将所述多个子虚点光源所构成的光学图像投射至物体表面,在物体表面形成多光点图像；所述发光器件、光整形器件、衍射分光器件和投影器件依次位于同一主光轴上。本发明所提供的装置及方法，可以在保证图像高清晰质量的同时，装置内部器件间结构更加紧凑，装置整体更加小巧，并且，可选取测量的物体范围不受影响，应用领域广阔，适用性强。
一种投射多光点图像装置方法

[发明专利]用于刻蚀电控衍射光学器件的激光直写刻蚀系统及其方法-CN201210461048.3有效
发明人：张斌;潘雪丰;胡银灿;陶卫东;董建峰 -专利权人：宁波大学
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于刻蚀电控衍射光学器件的激光直写刻蚀系统及利用其制备电控衍射光学器件的方法，该系统包括用于发射单束激光束的激光器、用于固定刻蚀样品的可控载物台、激光倍频系统和光束整形系统，优点是通过激光倍频系统将激光器发射的单束激光束转换为紫外激光束，利用光束整形系统使从激光倍频系统输出的紫外激光束通过光束整形系统后形成为一聚焦光斑，使用时将刻蚀样品即聚合物分散液晶光开关放置于光束整形系统输出的聚焦光斑的焦平面上，这样光束整形系统输出的聚焦光斑照射于刻蚀样品上就完成了微米级的图案的刻蚀，不仅结构简单，而且操作方便；该方法能够在聚合物分散液晶光开关上刻蚀出各类一维、二维微结构及衍射光学器件。
用于刻蚀衍射光学器件激光系统及其方法

[发明专利]具有圆化光束的高亮度光纤耦合二极管激光器-CN202080071799.7在审
发明人：陈之纲;J·斯莫;M·坎斯卡 -专利权人：恩耐公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：装置包括多个激光二极管和光束整形光学器件，该多个激光二极管被配置为发射各自的激光二极管光束，该激光二极管光束具有垂直的快光束发散轴和慢光束发散轴，该快光束发散轴和慢光束发散轴互相垂直于各自的光束轴，该光束整形光学器件被配置为接收激光二极管光束并在合束耦合平面处圆化激光二极管光束的合束图像空间和在一些选定的实施例中，光束整形光学器件包括可变快轴望远镜，该可变快轴望远镜被配置为提供可变快轴放大倍数和光束位移。
具有光束亮度光纤耦合二极管激光器

[发明专利]借助轴锥镜的射束成形对工件进行激光焊接的方法以及光学设备-CN202080080209.7在审
发明人： D·弗拉姆 -专利权人：通快激光与系统工程有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：一种用于工件(14)的激光焊接的方法，其中：‑在激光束源(5)处提供激光束(4)，‑通过准直光学器件(6)使所提供的激光束(4)准直，‑通过整形光学器件(9)对经准直的激光束(8)整形，以及‑通过聚焦单元(11)使经整形的激光束(10)聚焦并引导到待焊接的工件(14)上，其特征在于，整形光学器件(9)具有至少一个部分区域(15)，在该至少一个部分区域中构造至少一个轴锥镜(17；25；31；34；40；42)的至少一部分(33；39)，并且其中，经准直的激光束(8)至少以其射束截面(30)的一部分(18)引导到整形光学器件(9)的所述部分区域(15)上。本发明提出了一种用于激光焊接的方法，该方法能够以很少的支出并成本有利地实现射束整形，尤其为了获得良好的焊缝质量。
借助轴锥镜成形工件进行激光焊接方法以及光学设备

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