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- [发明专利]光模块及其制造方法-CN201280023910.0有效
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藁科祯久;铃木智史;笠森浩平
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浜松光子学株式会社
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2012-04-04
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2014-01-29
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B81B3/00
- 光模块具备具有通过蚀刻硅区域(11)而形成的光透过性光学部件(12)的第1板状构件(10)、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件(12)的光的光反射性光学部件(镜(21~24))的第2板状构件(20),第1和第2板状构件(10,20)相互接合,透过光透过性光学部件(12)的光的光路沿着第1板状构件(10)的部件形成面和第2板状构件(20)的主面。由此,实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。
- 模块及其制造方法
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