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- [实用新型]用于晶圆划片的双光路激光加工装置-CN201920921581.0有效
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邵西河;卢巍
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浙江圣石激光科技股份有限公司
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2019-06-19
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2020-04-10
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B23K26/362
- 本实用新型涉及一种用于晶圆划片的双光路激光加工装置,包括激光器及双光路组件,双光路组件包括光闸A、光闸B以及扩束镜,偏光分光镜,二分之一波长板;激光器产生的激光形成光路A、光路B;光路A通过光路A反射镜反射后进入扩束镜,扩束镜对光束进行扩束后再经过一个光路A反射镜后进入偏光分光镜;光路B通过光路B反射镜反射后到达二分之一波长板调整后再经过一个光路B反射镜后进入偏光分光镜;偏光分光镜射出的激光聚焦在待加工的晶圆上;本实用新型光路A偏转后的光束可通过扩束镜可以动态的调整激光光斑,满足复杂的加工需求;光路B偏转后的光束经1/2波长板后可以动态的调整激光器的能量,从而保证加工效果。
- 用于划片双光路激光加工装置
- [发明专利]一种具有全保偏功能的干涉光路结构-CN201110440840.6有效
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肖倩;贾波;洪广伟;章骅
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复旦大学
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2011-12-26
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2012-07-11
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G01D5/26
- 本发明的干涉光路包括:保偏耦合器、偏振分束器、单模光纤、法拉第旋转镜,其中,保偏耦合器的尾纤、偏振分束器的分波尾纤为保偏光纤,单模光纤连接在偏振分束器的合波尾纤和法拉第旋转镜的尾纤之间;当输入光为线偏振光,沿着保偏光纤的轴注入干涉结构,可获得两路偏振状态一致的干涉光。本发明利用偏振分束器,配合法拉第旋转镜,消除光路中背向返回的光,提高干涉光路中的相干光成分,提高条纹清晰度。本发明适用于长距离分布式光纤传感,利用光纤通信常用的单模光纤即可实现传感,避免了完全使用保偏光纤及保偏器件的全保偏光路中存在的成本高,难以推广等问题。
- 一种具有全保偏功能干涉结构
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