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- [实用新型]一种晶圆目检机的手动检测装置-CN202222849251.X有效
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颜博
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苏州新尚思自动化设备有限公司
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2022-10-27
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2023-02-14
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H01L21/66
- 本实用新型涉及晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件，夹持部件自由架设在目检台上，并具有绕着定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部。本实用新型一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍
- 一种晶圆目检机手动检测装置
- [实用新型]防结晶的多层腔体-CN201120299963.8有效
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吴良辉
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2011-08-17
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2012-04-25
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C23F1/08
- 本实用新型公开了一种防结晶的多层腔体，包括壳体、若干分隔盘、带有喷嘴的供液管和用于支撑晶圆的载片台，所述分割盘和所述载片台位于壳体内，所述分割盘由上至下设置于壳体内并将壳体内的空间分成若干腔室，所述供液管位于所述载片台的上方，所述分割盘分别开有供所述载片台上下穿越的通孔，所述防结晶的多层腔体还包括一大小和所述通孔相匹配的密封板，所述密封板和所述载片台的距离和相邻分隔盘的间隔距离相同，所述密封板连接于所述供液管的上方，且从下方起第二个以上的分割盘分别开有供所述供气管穿越的缺口通过该密封板和载片台可以将当前反应腔室和相邻的腔室相分隔，防止不同腔室内的挥发气体混合反应后凝结到腔室，提高晶圆良率。
- 结晶多层
- [实用新型]一种防护服用裁剪验片装置-CN202020274816.4有效
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高尚荣
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四川友邦企业有限公司
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2020-03-09
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2020-08-18
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G01B11/00
- 本实用新型提供了一种防护服用裁剪验片装置,目的是解决现有防护服生产中裁剪验片过程中人员劳动强度大、检验效率低等技术问题。该装置包括通过机架固定、由上至下、彼此平行的光源、样片载台和验片载台，其中，样片载台具有透光平面，光源形成的平行光线能够透射该透光平面至验片载台处。本实用新型通过光源形成的平行光线对样片载台的透射，在验片载台处可形成样片的等尺寸背光投影。检验人员在验片载台处利用该背光投影，将待检裁片与之对比、测量，即可完成裁片检验。由于样片固定，因此仅需在验片载台处铺放裁片，有利于形成线程工作模式，从而降低人员劳动强度、提高检验效率。
- 一种防护服用裁剪装置
- [实用新型]一种有色玻璃色差检测设备-CN202023091056.2有效
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张宗红;刘庭亮
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苏州富加林自动化科技有限公司
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2020-12-21
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2021-09-21
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B07C5/342
- 本实用新型公开一种有色玻璃色差检测设备，包括机台、色差测量仪、龙门架、两轴伺服滑台、检片平台、玻片载具输送线、机械手、上料线、良品线、次品线，所述机台上设置一安装有色差测量仪的龙门架，所述龙门架下方接入两轴伺服滑台，所述两轴伺服滑台上设置有检片平台，所述检片平台的行程沿线布置有一条玻片载具输送线和两台机械手，所述玻片载具输送线一端上接一条上料线，另一端下接良品线和次品线。通过上述方式，本实用新型提供一种有色玻璃色差检测设备，在输送线、机械手、定位机构、色差测量仪的自动化协同配合下，实现有色玻璃治具取放料、有色玻璃片取放料、玻璃片色差检测等自动化功能，代替人工作业，从而极大提高生产效率
- 一种有色玻璃色差检测设备
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