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- [发明专利]基板处理装置和基板温度校正方法-CN202210146084.4在审
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伊深怜;五十岚大;加藤裕贵
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东京毅力科创株式会社
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2022-02-17
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2022-08-30
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H01J37/32
- 本发明提供一种基板处理装置和基板温度校正方法，能够抑制由温度调整介质的温度变化的影响引起的基板的温度变化。基板处理装置的载置台形成有用于载置基板的载置面，在载置台的内部形成有用于流通温度调整介质的流路，在载置面形成有用于喷出传热气体的喷出口。气体供给部供给从喷出口喷出的传热气体。测量部测量在流路中流通的温度调整介质的温度。在由测量部测量的温度调整介质的温度变化了规定温度以上的情况下，在从该变化的定时起经过规定时间后，控制部控制从气体供给部供给的传热气体的压力，以消除由温度调整介质的温度变化引起的基板的温度变化，所述规定时间是载置于载置面的基板由于温度调整介质的温度变化而发生温度变化的时间
- 处理装置温度校正方法
- [发明专利]控制机床部件温度的数控精密车床-CN200310105277.2无效
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汪金山
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汪金山
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2003-12-05
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2005-06-08
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B23B7/00
- 一种具有控制机床部件温度的数控精密车床，主要包括有床身、控制温度的连接基座、控制温度的主轴箱、控制温的导轨座，其特点是在床身上面安装控制温度的连接基座，连接基座是由铸铁构成，设计成空心、全封闭、并带有介质出入口，介质通过连接基座，控制介质的温度和流量，控制连接基座的温度，使连接基座不受床身的温度变化影响。连接基座上面安装可控制温度的主轴箱，主轴箱是由铸铁构成，设计成空心、全封闭、并带有介质出入口，使介质通过轴箱，控制介质的温度和流量，控制主轴箱的温度，使主轴箱不受轴承的温度变化影响。在连接基座上面安装可控制温度的导轨座，导轨座是由铸铁构成，设计成空心、全封闭、并带有介质出入口，介质通过导轨座，控制介质的温度和流量，控制导轨座的温度，使导轨座不受温度的变化影响，与现有技术相比，本发明具有不受温度的变化影响
- 控制机床部件温度数控精密车床
- [发明专利]基于微带天线的温度传感器及系统-CN202010777102.X在审
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不公告发明人
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中山科立特光电科技有限公司
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2020-08-05
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2020-11-06
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G01K7/16
- 本发明涉及基于微带天线的温度传感器及系统，具体而言，涉及温度检测领域。该温度传感器的介质基片设置在接地板的一侧，辐射贴片设置在介质基片远离接地板的一侧；辐射贴片和接地板的材料为金属良导体材料，介质基片的材料为热膨胀材料。由微带天线的工作原理可知，天线谐振频率对接地板和辐射贴片之间的距离异常敏感，即介质基片的厚度影响该天线谐振频率；由于该介质基片的材料为热膨胀材料，当外界温度变化时，介质基片受热发生膨胀,导致接地板和辐射贴片之间的距离发生变化，引发辐射贴片与接地板之间的谐振频率发生变化，从而导致天线谐振频率发生偏移，通过天线谐振频率偏移量的变化与温度的对应关系，可以准确完成对外界环境温度的传感。
- 基于微带天线温度传感器系统
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