专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]聚合及正型抗蚀剂组合-CN201680009428.X在审
  • 星野学 - 日本瑞翁株式会社
  • 2016-02-15 - 2017-09-26 - C08F212/06
  • 本发明的目的在于提供可良好地用作低照射量时的减膜率低、且γ值和灵敏度高的正型抗蚀剂的聚合、以及可高效地形成高分辨率的图案的正型抗蚀剂组合。本发明的聚合含有α‑甲基苯乙烯单元和α‑氯丙烯酸甲酯单元,分子量分布(Mw/Mn)小于1.48,分子量小于6000的成分的比例为0.5%以下,而且分子量超过80000的成分的比例为6.0%以下。此外,本发明的正型抗蚀剂组合包含上述的聚合和溶剂。
  • 聚合物正型抗蚀剂组合

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