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- [实用新型]机械手臂-CN202022913314.4有效
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袁鹏华
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上海华力集成电路制造有限公司
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2020-12-08
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2021-08-10
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H01L21/677
- 一种机械手臂,用于取放晶圆,包含:伸出臂、位置感知部件、数据处理模块、手臂控制器。伸出臂用以承载待取放的晶圆,伸出臂设定有对准中心点,伸出臂由驱动机构带动运动。位置感知部件设置于伸出臂处,位置感知部件用以测量晶圆中心的位置。位置感知部件获得的晶圆中心的位置相关信号传输给数据处理模块,数据处理模块中存储有对准中心点的位置数据。手臂控制器包括执行器,执行器根据测量的晶圆中心的位置向驱动机构输出执行信号。据此,由于位置感知部件位于伸出臂处,所以,能够在晶圆位于伸出臂处时即可以感知晶圆中心位置,能够及时调整伸出臂的位置,且根据实际的晶圆中心位置来执行后续的伸出臂的运动。
- 机械手臂
- [发明专利]一种机械式传输按压生产模具结构-CN202210648787.7在审
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钟文兵
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钟文兵
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2022-06-09
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2022-09-06
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B29C33/20
- 本发明公开了一种机械式传输按压生产模具结构,包括第一按压结构、第一中心稳固架、第二中心稳固架、第二按压结构和限位板架,第一按压结构的中心位置处固定连接有第一中心稳固架,第一按压结构的中心侧端位置处固定连接有第二中心稳固架,第一中心稳固架、第二中心稳固架的底端位置与第二按压结构相固定连接,第一按压结构、第二按压结构的中心位置处固定连接有限位板架,第一按压结构包括协同按压部件和支撑调节部件,支撑调节部件设在第一按压结构的内端中心位置处,支撑调节部件的中心位置固定连接有协同按压部件。
- 一种机械式传输按压生产模具结构
- [实用新型]新型可调节通道机构-CN202221587646.0有效
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李浪
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华恒精密设备(天津)有限公司
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2022-06-22
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2022-12-13
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B25J15/00
- 本实用新型公开了新型可调节通道机构,包括调节位移架、第一夹爪、中心限位转架、定位连接架和第二夹爪,调节位移架的上端位置固定连接有中心限位转架,中心限位转架的侧端位置铰接有第一夹爪,中心限位转架的另一端位置铰接有第二夹爪,第一夹爪、第二夹爪的中心上部位置铰接有定位连接架,调节位移架的底部位置处固定连接有滑动配合块,滑动配合块的底部位置处滑动连接有连接底板,调节位移架的上部位置处开设有第一定位槽,调节位移架的下部位置处开设有第二活动槽,连接底板的横向顶部位置处开设有第一活动槽。本实用新型为可调节通道机构,通过调节位移架、第一夹爪、中心限位转架、定位连接架和第二夹爪的设置,实现内端组合调节的目的。
- 新型调节通道机构
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