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- [发明专利]三轴集成硅微谐振式加速度计-CN201410129981.X有效
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董景新;赵淑明;刘云峰
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清华大学
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2014-04-02
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2014-07-09
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G01P15/097
- 本发明提供一种三轴集成硅微谐振式加速度计，主要包括：一玻璃基底；一双轴硅微谐振式检测结构及一单轴硅微谐振式检测结构设置于所述玻璃基底的表面；所述双轴硅微谐振式检测结构包括一质量块及四个硅微机械结构单元，所述四个硅微机械结构单元围绕所述质量块的中心呈中心对称分布；所述单轴硅微谐振式检测结构包括一第一质量块、一第二质量块呈镜像对称设置；一第一振梁及一第二振梁平行设置于所述第一质量块与第二质量块之间，且所述第一振梁及第二振梁在垂直于玻璃基底表面的方向上即Z轴方向上具有不同的高度。
- 集成谐振加速度计
- [发明专利]可实现声源定向的硅微麦克风组合体-CN200410098803.1无效
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伍晓明;任天令;刘理天
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清华大学
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2004-12-17
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2005-06-22
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H04R1/40
- 可实现声源定向的硅微麦克风组合体的特征在于：它含有六面体支架、三个心形指向硅微麦克风和一个全指向硅微麦克风。上述三个心形指向硅微麦克风沿着垂直于原点位于上述六面体支架中心的直角坐标轴的方向，固定在上述六面体支架的正面、侧面和顶面支架上；全指向硅微麦克风，上述全指向硅微麦克风固定在上述六面体支架的底面支架上，六面体支架的第五个面安装PCB接口板用于硅微麦克风组合体的信号输出，最后一个面装有防尘膜。上述硅微麦克风组合体经过仿真试验证明具有很好的声源定向性，即计算得到的声源方向与实际方向符合得很好，声源采样频率越高则符合得越好。
- 实现声源定向麦克风组合
- [发明专利]三轴硅微加速度计-CN201710372866.9在审
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刘云峰;陶永康;夏澎波
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清华大学
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2017-05-24
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2017-08-11
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G01P15/125
- 本发明涉及一种三轴硅微加速度计，包括第一敏感组件与第二敏感组件；所述第一敏感组件包括第一敏感单元与第二敏感单元，所述第一敏感单元的敏感方向与所述第二敏感单元的敏感方向正交设置；所述第二敏感组件包括第三敏感单元与第四敏感单元，所述第三敏感单元的敏感方向与第四敏感单元的敏感方向正交设置；所述第一敏感组件与所述第二敏感组件垂直正交设置，敏感X、Y、Z方向加速度。本发明提供的三轴硅微加速度计能够敏感多方向的加速度值，抗过载能力强。
- 三轴硅微加速度计
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