[发明专利]液滴沉积装置有效

专利信息
申请号: 99812540.7 申请日: 1999-10-22
公开(公告)号: CN1165429C 公开(公告)日: 2004-09-08
发明(设计)人: P·R·德鲁里;S·坦普尔;R·A·哈维;J·M·扎巴;S·奥默;H·J·曼宁 申请(专利权)人: 萨尔技术有限公司
主分类号: B41J2/155 分类号: B41J2/155;B41J29/377
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 郑建晖
地址: 英国*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 发明涉及一种液滴沉积装置,所述液滴沉积装置包括:一个流体腔室,所述流体腔室具有一个驱动装置,所述驱动装置能够被电信号驱动以将液滴从所述流体腔室中排出;一个用于提供所述电信号的驱动电路装置;以及一个用于将所述液滴流体输送到所述流体腔室中的导管装置,所述驱动电路装置与所述导管装置大面积热接触以便将产生在所述驱动电路中的大部分热量传递给所述液滴流体。
搜索关键词: 沉积 装置
【主权项】:
1.一种液滴沉积装置,包括:一个流体腔室,所述流体腔室具有驱动装置,所述驱动装置能够被电信号驱动以将液滴从所述流体腔室中排出;用于将所述电信号提供给所述驱动装置的驱动电路装置;以及用于将所述液滴流体输送到所述流体腔室中和从所述流体腔室输送出所述液滴流体的导管装置,所述驱动电路装置与所述导管装置大面积热接触以便将产生在所述驱动电路装置中的大部分热量传递给所述液滴流体。
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