[发明专利]回收化学和机械平整化所用水与浆料研磨剂的方法和设备无效
| 申请号： | 99807438.1 | 申请日： | 1999-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1305393A | 公开（公告）日： | 2001-07-25 |
| 发明（设计）人： | 加里·L·科利特;小爱德华·T·费里;J·托宾·吉茨 | 申请（专利权）人： | 卢西德处理系统公司 |
| 主分类号： | B01D37/04 | 分类号： | B01D37/04;C02F1/44 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 范明娥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种从含有粉碎的、悬浮固体的含水浆料中回收液体和研磨剂的方法,该法包含至少一个过滤步骤,该步骤用烧结金属膜和/或陶瓷膜并和测量比重或密度方法相连结、物理地浓缩和使研磨剂颗粒从可通过标准工业废物系统处置的液流中分离或回用上清液流的方法。该方法还用于回收固体以回用于其它的、严格性差些的用途中,由此减少或消除抛光工艺的无用的副产物。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 化学 机械 平整 所用 浆料 研磨剂 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于从浆料废水流中回收用于化学机械平整化的液体和研磨剂材料颗粒的方法，浆料废水流的液体中研磨剂材料颗粒的密度不规则变化，该方法包括的步骤有：测量浆料废水流中的研磨剂颗粒密度；比较浆料废水流中的研磨剂颗粒密度和含水浆料密度的极限值；当浆料废水流中研磨剂颗粒的密度低于所述含水浆料流密度的极限值时，根据密度测量值转移浆料废水流到至少一个回用收集槽；和当浆料废水流中的研磨剂颗粒密度大于或等于所述含水浆料的密度极限值时，根据密度测量值将浆料废水流转移；以分离研磨剂颗粒与废水流的液体而提供废固体流。
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