[发明专利]回收化学和机械平整化所用水与浆料研磨剂的方法和设备

权利要求书

1.一种用于从浆料废水流中回收用于化学机械平整化的液体和研磨剂材料颗粒的方法，浆料废水流的液体中研磨剂材料颗粒的密度不规则变化，该方法包括的步骤有：测量浆料废水流中的研磨剂颗粒密度；比较浆料废水流中的研磨剂颗粒密度和含水浆料密度的极限值；当浆料废水流中研磨剂颗粒的密度低于所述含水浆料流密度的极限值时，根据密度测量值转移浆料废水流到至少一个回用收集槽；和当浆料废水流中的研磨剂颗粒密度大于或等于所述含水浆料的密度极限值时，根据密度测量值将浆料废水流转移；以分离研磨剂颗粒与废水流的液体而提供废固体流。

2.按权利要求1所述的方法，其中所述使研磨剂颗粒与废水流的液体分离的步骤还包括使所述研磨剂颗粒与废水流的液体通过超滤分离。

3.按权利要求1所述的方法，进一步包括再循环所述废固体流的步骤以进一步浓缩所述废固体流中的研磨剂颗粒和进一步除去所述废固体流中的清彻液体。

4.按权利要求3所述的方法，进一步包括的步骤有：测量所述废固体流中的研磨剂颗粒密度；比较所述废固体流中的研磨剂的密度与废固体流密度极限值；和当所述废固体流中的研磨剂颗粒密度大于或等于所述废固体流密度极限值时转移所述废固体流。

5.一种从浆料废水流中回收用于化学机械平面化的液体和研磨材料颗粒用的设备，浆料废水流的液体中的研磨剂材料颗粒的密度不规则的变化，该设备包含：供测量浆料废水流中的研磨剂颗粒密度用的装置；用于比较浆料废水流中研磨剂颗粒密度与含水浆料密度极限值的装置；当浆料废水流中研磨剂颗粒密度低于所述含水浆料密度极限值时，用于根据密度测量值转移浆料废水流到至少一个回用收集槽的装置；和当浆料废水流中的研磨剂颗粒密度大于或等于所述含水浆料密度极限值时，用于根据密度测量值转移浆料废水流至使研磨剂颗粒与废水流的液体分离的装置中的装置。

6.按权利要求5所述的设备，其中用于分离研磨剂颗粒与废水流中的液体的装置包括超滤装置。

7.按权利要求5所述的设备，进一步包括再循环所述废固体流以进一步浓缩所述废固体流中的研磨剂颗粒和进一步除去所述废固体流中的清彻液体用的装置。

8.按权利要求7所述的设备，进一步包括：测量所述废固体流中的研磨剂颗粒密度用的装置；比较所述废固体流中的研磨剂颗粒密度与废固体流密度极限值用的装置；当所述废固体流中的研磨剂颗粒密度大于或等于所述废固体流密度极限值时，转移所述废固体流用的装置。

9.一种从浆料废水流中回收用于化学机械平面化的液体和研磨材料颗粒用的设备，浆料废水流的液体中研磨材料颗粒的密度不规则变化，该设备包括；接受含有液体和研磨材料颗粒的浆料废水流的检测器，用于测量浆料废水流中研磨剂颗粒的密度；用于比较浆料废水流中研磨剂颗粒密度与含水浆料密度极限值的比值器；和当浆料废水流中的研磨剂颗粒的密度低于所述含水浆料密度极限值时，根据密度测量值转移浆料废水流到至少一个回用收集槽用的阀，以及当浆料废水流中研磨剂颗粒的密度大于或等于所述含水浆料密度极限值时，根据密度测量值转移浆料废水流至超滤装置，以分离研磨剂颗粒与废水流中的液体用的阀。

10.按权利要求9所述的设备，进一步包括再循环所述废固体流用的阀，以便进一步浓缩所述废固体流中的研磨剂颗粒和进一步去除所述废固体流中的清彻液体。

11.按权利要求10所述的设备，进一步包括：测量所述废固体流中所述研磨剂颗粒密度用的检测器；比较所述废固体流中所述研磨剂颗粒密度与废固体极限值用的比值器；和当所述废固体流中所述研磨剂颗粒密度大于或等于所述废固体极限值时用于转移所述废固体流的阀。