[发明专利]液滴沉积装置及其制造方法无效
| 申请号： | 99805674.X | 申请日： | 1999-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1158181C | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | A·D·帕顿;A·康迪;S·特姆普勒 | 申请（专利权）人： | 萨尔技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;H01L41/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军;章社杲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 用于液滴沉积装置的单片压电致动器元件部分的极化方法，其中，该元件具有第一(46)和第二部分(48)，该方法步骤包括：所述元件的第一部分(46)设置为等电位，并横跨所述第一部分(46)与另一导电层之间的第二部分(48)产生极化电场。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.液滴沉积装置中所用的单片压电致动器元件部分的极化方法，该元件具有第一和第二部分，该方法的步骤包括：设置与元件的第一部分接触的第一导电层，并将所述元件的第一部分设置为等电位，和于横跨所述第一部分与另一导电层之间的第二部分上产生极化电场。
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