[发明专利]一种条状透明电极的制备方法无效

专利信息
申请号: 96122380.4 申请日: 1996-12-10
公开(公告)号: CN1185016A 公开(公告)日: 1998-06-17
发明(设计)人: 邴秀华 申请(专利权)人: 中国科学院长春物理研究所
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;H01L21/28;H01L21/768;C23F1/02;G09F9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130021*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种条状电极的制备技术。本发明提供了一种条状透明电极的制备方法,该方法可制出具有平滑边缘的条状透明电极,解决了条状电极的边缘击穿问题。采用的技术方案是采用分步刻法,先用快速腐蚀进行不彻底刻蚀,而后用慢速腐蚀液完成全部刻蚀。
搜索关键词: 一种 条状 透明 电极 制备 方法
【主权项】:
1、一种条状透明电极的制备方法,其特征在于采用分步刻法,先用快速腐蚀进行不彻底刻蚀,而后用慢速腐蚀液完成全部刻蚀。
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