[发明专利]一种条状透明电极的制备方法无效
| 申请号: | 96122380.4 | 申请日: | 1996-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN1185016A | 公开(公告)日: | 1998-06-17 |
| 发明(设计)人: | 邴秀华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春物理研究所 |
| 主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01L21/28;H01L21/768;C23F1/02;G09F9/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130021*** | 国省代码: | 吉林;22 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本发明涉及一种条状电极的制备技术。本发明提供了一种条状透明电极的制备方法,该方法可制出具有平滑边缘的条状透明电极,解决了条状电极的边缘击穿问题。采用的技术方案是采用分步刻法,先用快速腐蚀进行不彻底刻蚀,而后用慢速腐蚀液完成全部刻蚀。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 条状 透明 电极 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种条状透明电极的制备方法,其特征在于采用分步刻法,先用快速腐蚀进行不彻底刻蚀,而后用慢速腐蚀液完成全部刻蚀。
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