[发明专利]硅片的制造装置

摘要

在本发明中，把切片后的硅片插入托盘14的圆孔15中，把硅片夹持在上磨具13与下磨具12之间，并分别使上磨具13及下磨具12以规定速度转动。由此而同时对硅片两面进行磨削。此时上磨具13以规定荷重压在硅片上，同时下降例如100μm。向上磨具13的开口部13B供给磨削液，把硅片温度控制为一定值。所供给的磨削液在上、下磨具13、12离心力作用下通过各磨具13、12磨削面的槽而不断地供给到硅片两面的整个范围中。

主权项

1.一种硅片制造装置，它设有在把硅片夹持在板状上磨具与下磨具之间的状态下同时磨削硅片表里面的两面磨削装置，以及控制在进行磨削时硅片表里面温度的温度控制装置，上述温度控制装置是在两面磨削装置中通过对磨削中的硅片表里面的整个范围供给磨削液而控制其温度的，其特征在于，上述温度控制装置是包括上述上磨具与上述下磨具的各内周面构成的液腔(W)，在上述上磨具与上述下磨具上分别形成的供应磨削液至上述上磨具和上述下磨具的每一上述磨削面用的多个磨削液通道(20，21，22，23)，以及向上述液腔与上述磨削液通道供应磨削液的磨削液供给装置构成的。