[发明专利]模制树脂以密封电子元件的方法及设备无效
申请号: | 94104041.0 | 申请日: | 1994-04-22 |
公开(公告)号: | CN1032781C | 公开(公告)日: | 1996-09-11 |
发明(设计)人: | 长田道男;川本佳久;松尾真;荒木晃一 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B29C45/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 郑立 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在一种模制树脂以密封电子元件的方法中,当上、下半模部分(1)和(2)闭合时,一至少由诸熔埚(9)、诸部分(25)、诸树脂通道和诸型腔组成的内模空间部分(38)与外界隔开以通过一真空源(40)和一瞬时抽空机构(45)来完成抽空和瞬时抽空。根据这种方法,通过抽空和瞬时抽空的综合作用将空气和潮气从内模空间(38)高效而可靠地排到外部,从而提高了内模空间(38)的真空度。因此,就可以防止在树脂成型件中形成空洞。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 电子元件 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.一种模制树脂以密封电子元件的方法,该方法包括:一将诸树脂片R置于模具(1,2)上诸多熔埚(9)内的加树脂片的步骤,该用于树脂模制的模具包括一上半模部分(1)和一下半模部分(2);一将诸引线架27上的电子元件(27a)置于所述模具(1,2)上诸型腔(10,20)内的预定位置的加引线架的步骤;一加热分别装在所述模具(1,2)的所述诸熔埚(9)中的诸树脂片R的加热树脂片的步骤;一闭合所述上半模部分(1)和所述下半模部分(2)以将装在所述诸引线架(27)上的诸电子元件(27a)配合于所述诸型腔(10,20)预定位置内的模具闭合步骤;一将由所述模具闭合步骤形成的一内模空间部分(25,26)与外部隔开的外部空气隔绝步骤,所述内模空间部分由所述模具(1,2)闭合步骤形成,该内模空间部分至少包括所述诸熔埚(9)、所述诸型腔(10,20)及使所述诸熔埚(9)与所述诸型腔(10,20)连通的诸树脂通道(25,26);一在外部空气隔绝步骤中,强制地将存在于所述内模空间部分(25,26)的空气和/或潮气、在所述树脂片加热步骤中加热和膨胀而从所述树脂片R中流出并进入所述内模空间部分(25,26)的空气和/潮气、所述加热产生的气体吸入/排放到所述内模空间的外部的抽空步骤;一在所述外部空气隔绝步骤中,在一短时间内强制地将存在于内模空间部分(25,26)的空气和/或潮气、在所述树脂片加热步骤中加热和膨胀而从所述树脂片R中流出并进入所述内模空间部分(25,26)的空气和/或潮气、所述加热产生的气体吸出/排放到所述内模空间的外部的瞬时抽空步骤,由此在所述内模空间部分(25,26)中迅速提高真空度;一加压所述模具(1,2)的所述诸熔埚(9)中的树脂片R,以使在所述诸熔埚(9)中加热和熔化的熔融树脂材料经由所述树脂通道(25,26)注入所述诸熔埚(9)旁边的所述诸型腔(10,20)的树脂模制步骤,由此用树脂密封置于所述诸型腔(10,20)中的所述诸引线架(27)上的所述诸电子元件(27a)。
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