[发明专利]钕铁硼制品的除锈方法及装置无效
申请号: | 90104216.1 | 申请日: | 1990-06-05 |
公开(公告)号: | CN1017166B | 公开(公告)日: | 1992-06-24 |
发明(设计)人: | 梁素珍;陈抗生 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | C23G5/00 | 分类号: | C23G5/00;C23C14/02 |
代理公司: | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人: | 连寿金 |
地址: | 3100*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种钕铁硼制品的除锈方法及装置,在设有上极板、下极板、加热器和充气器的真空室中产生氢等离子体,除净敏铁硼制品表面的锈斑,而不影响制品的精度,除锈装置可由真空镀膜机改装而成。本方案的积极效果是氢等离子体除锈时间为5~20分钟,合格率达到100%。 | ||
搜索关键词: | 钕铁硼 制品 除锈 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种钕铁硼制品的除锈方法,包括退磁,超声波清洗,在设有上极板、下极板、加热器和充气器的真空室中实施氢等离子体除锈,充磁,其特征在于:经退磁和清洗后待进行氢等离子体除锈的钕铁硼制品置于接地的下极板51上,抽真空至0.13Pa数量级,卤钨灯加热器54对工件6加热至90℃~200℃,保持恒温;由充气器2充入氢气,氢气压力为9.33Pa~133Pa,流量为0.5~5.0ml/sec;上极板31接射频功率源,其功率为80~200w,功率密度为0.12~0.32w/cm2。
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